خبریں

ASM کے لیے ایک SiC لیپت گریفائٹ سسپٹر ایپیٹیکسی سسٹم کے اندر صرف ایک متبادل حصہ نہیں ہے۔ یہ ایک عمل کے لحاظ سے اہم کیریئر ہے جو تھرمل یکسانیت، ویفر کی صفائی، کوٹنگ کی پائیداری، چیمبر کے استحکام، اور طویل مدتی پیداواری لاگت کو متاثر کرتا ہے۔

ایک CVD TaC کوٹنگ کور صرف ایک حفاظتی ڈھکن یا لیپت گریفائٹ جزو نہیں ہے۔ اعلی درجہ حرارت کے سیمی کنڈکٹر کے عمل میں، یہ چیمبر کی صفائی، تھرمل استحکام، جزوی زندگی، اور عمل کی مستقل مزاجی کو متاثر کر سکتا ہے۔

PECVD کی پیداوار میں، کوٹنگ اور جمع کرنے کے بہت سے مسائل پلازما پاور یا گیس کیمسٹری سے شروع نہیں ہوتے ہیں۔ وہ اس کیریئر سے شروع کرتے ہیں جو ویفرز رکھتا ہے۔