VeTek سیمی کنڈکٹر الٹرا پیور سلکان کاربائیڈ کوٹنگ مصنوعات کی تیاری میں مہارت رکھتا ہے، ان کوٹنگز کو پیوریفائیڈ گریفائٹ، سیرامکس اور ریفریکٹری میٹل پرزوں پر لاگو کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
ہماری اعلیٰ طہارت کی کوٹنگز بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانکس کی صنعتوں میں استعمال کے لیے ہدف ہیں۔ وہ ویفر کیریئرز، سسپٹرز، اور حرارتی عناصر کے لیے حفاظتی پرت کے طور پر کام کرتے ہیں، انہیں MOCVD اور EPI جیسے عمل میں آنے والے سنکنرن اور رد عمل والے ماحول سے بچاتے ہیں۔ یہ عمل ویفر پروسیسنگ اور ڈیوائس مینوفیکچرنگ کے لیے لازمی ہیں۔ مزید برآں، ہماری کوٹنگز ویکیوم فرنس اور نمونہ حرارتی نظام میں ایپلی کیشنز کے لیے موزوں ہیں، جہاں زیادہ ویکیوم،
رد عمل، اور آکسیجن ماحول کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔
VeTek Semiconductor میں، ہم اپنی جدید مشین شاپ کی صلاحیتوں کے ساتھ ایک جامع حل پیش کرتے ہیں۔ یہ ہمیں گریفائٹ، سیرامکس، یا ریفریکٹری دھاتوں کا استعمال کرتے ہوئے بنیادی اجزاء تیار کرنے اور گھر میں SiC یا TaC سیرامک کوٹنگز لگانے کے قابل بناتا ہے۔ ہم مختلف ضروریات کو پورا کرنے کے لیے لچک کو یقینی بناتے ہوئے گاہک کے فراہم کردہ حصوں کے لیے کوٹنگ کی خدمات بھی فراہم کرتے ہیں۔
ہماری سلیکون کاربائیڈ کوٹنگ پروڈکٹس بڑے پیمانے پر Si epitaxy، SiC epitaxy، MOCVD سسٹم، RTP/RTA پروسیس، ایچنگ کے عمل، ICP/PSS ایچنگ کے عمل، مختلف ایل ای ڈی اقسام کے عمل میں استعمال ہوتے ہیں، بشمول نیلے اور سبز ایل ای ڈی، یووی ایل ای ڈی اور ڈیپ-یووی ایل ای ڈی وغیرہ، جو کہ اے پی ای، ایل پی ای، ایل ای ڈی، ایل ای ڈی، ایل ای ڈی وغیرہ کے مطابق ہیں۔ ASM، Annealsys، TSI اور اسی طرح.
ری ایکٹر کے پرزے جو ہم کر سکتے ہیں:
کلیدی خصوصیات
● انتہائی اعلی طہارت (99.99995%) گھنے β-فیز پولی کرسٹل لائن ڈھانچے کے ساتھ کم سے کم ذرہ پیدا کرنے کے لیے۔
● HCl، NH₃، H₂، SiH₄ اور دیگر سنکنرن عمل گیسوں کے لیے بہترین کیمیائی مزاحمت۔
● اعلی تھرمل چالکتا (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) اور تھرمل استحکام 2700 ° C کے سبلیمیشن درجہ حرارت تک۔
● اعلیٰ سختی (2500 ویکرز) اور گریفائٹ، سیرامکس اور ریفریکٹری دھاتوں سے مضبوط چپکنے والی۔
● پیچیدہ جیومیٹریوں کے لیے موزوں کنفارمل کوٹنگ کوریج بشمول susceptors، کیریئرز، شاور ہیڈز اور حرارتی عناصر۔
● بڑے آلات کے پلیٹ فارمز کے ساتھ ہم آہنگ: LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys، TSI اور مزید۔
سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کے کئی منفرد فوائد
مصنوعات کی وضاحتیں
VeTek سیمی کنڈکٹر سلکان کاربائیڈ کوٹنگ پیرامیٹر
| CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات |
| جائیداد |
عام قدر |
| کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β فیز پولی کرسٹل لائن، بنیادی طور پر (111) پر مبنی |
| SiC کوٹنگ کثافت |
3.21 گرام/cm³ |
| SiC کوٹنگ کی سختی |
2500 وکرز سختی (500 گرام لوڈ) |
| اناج کا سائز |
2~10μm |
| کیمیائی طہارت |
99.99995% |
| حرارت کی صلاحیت |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| Sublimation درجہ حرارت |
2700℃ |
| لچکدار طاقت |
415 MPa RT 4 پوائنٹ |
| ینگ کا ماڈیولس |
430 GPa 4pt موڑ، 1300℃ |
| تھرمل چالکتا |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| تھرمل توسیع (CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC فلم کرسٹل ڈھانچہ
درخواستیں
سیمی کنڈکٹر پروسیس کی متنوع ضروریات کو پورا کرنے کے لیے، VeTek سلیکون کاربائیڈ کوٹنگ پروڈکٹس کو ہدف بناتا ہے۔ مندرجہ ذیل جدول ان کی درجہ بندی بڑے ایپلیکیشن ایریاز کے لحاظ سے کرتا ہے، عام اجزاء اور قابل اطلاق عمل کی فہرست دیتا ہے:
| درخواست کا میدان |
عام مصنوعات |
درخواست کی تفصیل |
| سی ایپیٹیکسی |
CVD SiC لیپت گریفائٹ سسپٹر, SiC کوٹنگ ویفر کیریئر, Epi susceptor
|
سلکان ایپیٹیکسیل پروسیسز کے لیے موزوں ہے، درجہ حرارت کی یکساں تقسیم، کیمیائی مزاحمت اور اعلی معیار کی ایپی پرتوں کے لیے کم ذرہ پیدا کرنا۔ |
| ایس آئی سی ایپیٹیکسی |
CVD SiC لیپت پلینٹری سسپٹر, SiC لیپت ویفر سسیپٹر، گائیڈ کی انگوٹھی |
اعلی درجہ حرارت کے SiC ایپیٹیکسیل گروتھ (LPE وغیرہ) کے لیے، تھرمل استحکام اور صاف انٹرفیس فراہم کرنا تاکہ فلم کی یکسانیت اور عمل کی پیداوار کو یقینی بنایا جا سکے۔ |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
SiC لیپت سیٹلائٹ کور, شاور ہیڈ, سیٹلائٹ ڈسک، ماسکنگ انگوٹی |
Aixtron، Veeco MOCVD سسٹم کے ساتھ ہم آہنگ؛ H₂/NH₃ سنکنرن کے خلاف مزاحمت کرتا ہے، ذرات کی آلودگی کو کم کرتا ہے اور LED ایپی کی پیداوار کو بہتر بناتا ہے (نیلے، سبز، UV، گہری-UV)۔ |
| آر ٹی پی / آر ٹی اے عمل |
CVD SiC لیپت RTP Susceptor, RTP RTA کیریئر, حرارتی عناصر
|
تیزی سے تھرمل پروسیسنگ اور اینیلنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ بہترین تھرمل چالکتا اور جہتی استحکام کے ساتھ بار بار ہائی ٹمپریچر سائیکلنگ کو برداشت کرتا ہے۔ |
| Etching / ICP / PSS |
ٹھوس SiC فوکس رِنگز, اینچ چیمبرز کے لیے SiC لیپت اجزاء
|
اعلی سختی اور پلازما مزاحمت چیمبر کے حصوں کی حفاظت کرتی ہے، ایچ کی پروفائل کی یکسانیت کو یقینی بناتی ہے اور ہالوجن سے بھرپور ماحول میں سروس کی زندگی کو بڑھاتی ہے۔ |
| ہائی-ٹیمپ ہیٹنگ اور سپورٹ |
CVD SiC کوٹنگ حرارتی عنصر, ویفر کیریئرز, susceptors
|
انڈکشن/ مزاحمتی حرارتی اور ویکیوم فرنس ایپلی کیشنز کے لیے؛ اعلی سختی، تھرمل جھٹکا مزاحمت اور طویل جزو کی عمر پیش کرتا ہے. |
مزید تفصیلی عمل کے ملاپ کے حل کے لیے، براہ کرم ملاحظہ کریں۔سلیکن ایپیٹیکسیاورسلیکن کاربائیڈ ایپیٹیکسیمتعلقہ درخواست کے صفحات۔
چین میں ایک پیشہ ور سلیکن کاربائیڈ کوٹنگ بنانے والے اور سپلائر کے طور پر، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے علاقے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لیے حسب ضرورت خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں تیار کردہ جدید اور پائیدار سلیکون کاربائیڈ کوٹنگ خریدنا ہو، آپہمیں ایک پیغام چھوڑ دو.
