مصنوعات

خشک پلازما اینچ چیمبر پلازما کی کثافت، گیس کے بہاؤ، اور الیکٹرک فیلڈ کی تقسیم کو مستحکم رکھنے کے لیے ویفر کے ارد گرد عین مطابق باؤنڈری کنٹرول پر انحصار کرتے ہیں۔ VeTek Semiconductor High Purity Quartz Etch Rings سیمی کنڈکٹر گریڈ کے چیمبر کے اجزاء ہیں جو dehydroxylated فیوزڈ کوارٹز سے بنے ہیں۔ وہ ویفر کے کنارے پر عمل کے زون کی وضاحت کرتے ہیں، پلازما کو محدود کرنے، گیس کے ہموار بہاؤ میں مدد کرتے ہیں، اور ویفر کے دائرے کی حفاظت کرتے ہیں — 2–12 انچ سلکان، SiC، GaN، اور سیفائر ویفرز میں زیادہ یکساں اینچ ریٹ اور کلینر پروفائلز کی حمایت کرتے ہیں۔

VeTek Semiconductor's High Purity Quartz Wafer Carriers اعلی درجہ حرارت کی تھرمل پروسیسنگ، پتلی فلم جمع کرنے، گیلے عملوں، اور ویکیوم ایپلی کیشنز میں مستحکم ویفر ہینڈلنگ کے لیے پریزین-انجینئرڈ سیمی کنڈکٹر-گریڈ فکسچر ہیں۔ سیمی کنڈکٹر گریڈ ڈی ہائیڈرو آکسیلیٹڈ فیوزڈ کوارٹز (JGS2 مساوی) سے تیار کردہ، یہ ویفر کیریئر انتہائی اعلیٰ طہارت، بہترین تھرمل جھٹکا مزاحمت، کیمیائی جڑنا، کم گیسنگ، اور زیادہ چپٹا پن فراہم کرتے ہیں۔ سبسٹریٹس

VeTek سیمی کنڈکٹر اگلی نسل کے الٹرا وائیڈ بینڈ گیپ سیمی کنڈکٹر آلات کے لیے اعلیٰ معیار کے ایلومینیم نائٹرائڈ (AlN) سنگل کرسٹل ویفرز اور سبسٹریٹس فراہم کرتا ہے۔ تقریباً 6.2 eV کے الٹرا وائیڈ بینڈ گیپ کے ساتھ، شاندار تھرمل چالکتا، غیر معمولی برقی موصلیت، اور GaN کے ساتھ بہترین جالی اور تھرمل-توسیع مماثلت کے ساتھ، AlN ویفرز ہائی پاور RF آلات، ہائی وولٹیج پاور الیکٹرانکس، اور ڈیپ الٹرا ویولیٹ (ڈیپ الٹرا ویولیٹ) کے لیے مثالی ہیں۔

VeTek سیمی کنڈکٹر کی ہائی پیوریٹی کوارٹج فرنس ٹیوبیں سیمی کنڈکٹر تھرمل پروسیسنگ کے آلات کے لیے بنیادی عمل چیمبر کے اجزاء ہیں۔ سیمی کنڈکٹر گریڈ ڈی ہائیڈروکسیلیٹڈ فیوزڈ کوارٹز سے تیار کردہ، یہ ٹیوبیں آکسیڈیشن فرنس، ڈفیوژن فرنس، اینیلنگ فرنس، اور ایل پی سی وی ڈی سسٹمز میں سیل شدہ رد عمل گہا کے طور پر کام کرتی ہیں۔ وہ 4/6/8/12 انچ ویفر پروسیسنگ کے لیے یکساں درجہ حرارت والے فیلڈز، مستحکم گیس کے بہاؤ، اور انتہائی کم آلودگی کو یقینی بناتے ہوئے غیر معمولی پاکیزگی، تھرمل استحکام، اور کیمیائی مزاحمت فراہم کرتے ہیں۔

Aixtron G10-SiC پلیٹ فارم کے لیے VeTek سیمی کنڈکٹر کے ٹھوس SiC لوازمات اعلیٰ پاکیزگی کے حامل، مکمل طور پر گھنے سلیکون کاربائیڈ پرزے ہیں جو SiC ایپیٹیکسیل گروتھ کے مطالبے کے تھرمل اور کیمیائی ماحول کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔ یہ پرزے شاندار اعلی درجہ حرارت استحکام، کیمیائی مزاحمت، اور انتہائی کم پارٹیکل جنریشن فراہم کرتے ہیں، جو پاور ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں استعمال ہونے والے ہائی تھرو پٹ 9×150 mm/6×200 mm سیارے کے ری ایکٹر کنفیگریشن کو سپورٹ کرتے ہیں۔

VETEK پروفیشنل کلیننگ سروس برائے CVD SiC Coated Graphite Parts ایک خصوصی تکنیکی خدمت ہے جو Aixtron / Veeco MOCVD آلات کے سسیپٹرز اور گریفٹ کے اجزاء کے لیے ڈیزائن کی گئی ہے جو GaN / AlN / AlGaN ایپیٹیکسیل پروسیس میں استعمال ہوتی ہے۔ ہمارا ملکیتی صفائی کا عمل سطح کی یادداشت کے اثر کو مکمل طور پر ختم کرتا ہے، ری ایکٹر میں گیس کے مستحکم بہاؤ کو بحال کرتا ہے، اور 100 µm CVD SiC کوٹنگ کو مکمل صفر موٹائی کے نقصان اور صفر دھات کی باقیات کے ساتھ سختی سے تحفظ فراہم کرتا ہے۔