sic کوٹنگ sic epitaxial نمو کے لئے ایک اہم بنیادی مواد کیوں ہے؟

سی وی ڈی آلات میں ، سبسٹریٹ براہ راست دھات پر یا محض ایپیٹاکسیل جمع کرنے کے لئے کسی اڈے پر نہیں رکھا جاسکتا ہے ، کیونکہ اس میں مختلف عوامل شامل ہیں جیسے گیس کے بہاؤ کی سمت (افقی ، عمودی) ، درجہ حرارت ، دباؤ ، فکسشن اور گرنے والے آلودگی۔ لہذا ، ایک اڈے کی ضرورت ہے ، اور پھر ڈسک پر سبسٹریٹ رکھا جاتا ہے ، اور پھر سی وی ڈی ٹکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے سبسٹریٹ پر ایپیٹاکسیل جمع کیا جاتا ہے۔ یہ اڈہ ہےsic لیپت گریفائٹ بیس.

ایک بنیادی جزو کے طور پر ، گریفائٹ بیس میں اعلی مخصوص طاقت اور ماڈیولس ، اچھ thermal ی تھرمل جھٹکا مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت ہے ، لیکن پیداوار کے عمل کے دوران ، گریفائٹ کو بقیہ سنکنرن گیس اور دھات کے نامیاتی مادے کی وجہ سے خراب اور پاوڈر کیا جائے گا ، اور گرافائٹ بیس کی خدمت زندگی میں بہت کم ہوجائے گا۔ ایک ہی وقت میں ، گرے ہوئے گریفائٹ پاؤڈر چپ کو آلودگی کا سبب بنے گا۔ کے پیداواری عمل میںسلیکن کاربائڈ ایپیٹیکسیل ویفرز، گریفائٹ مواد کے ل people لوگوں کے بڑھتے ہوئے سخت استعمال کی ضروریات کو پورا کرنا مشکل ہے ، جو اس کی ترقی اور عملی اطلاق کو سنجیدگی سے محدود کرتا ہے۔ لہذا ، کوٹنگ ٹکنالوجی میں اضافہ ہونا شروع ہوا۔

سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں ایس آئی سی کوٹنگ کے فوائد

کوٹنگ کی جسمانی اور کیمیائی خصوصیات میں درجہ حرارت کی مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت کے لئے سخت ضروریات ہیں ، جو مصنوعات کی پیداوار اور زندگی کو براہ راست متاثر کرتی ہیں۔ ایس آئی سی مواد میں اعلی طاقت ، اعلی سختی ، کم تھرمل توسیع گتانک اور اچھی تھرمل چالکتا ہے۔ یہ ایک اہم اعلی درجہ حرارت کا ساختی مواد اور اعلی درجہ حرارت سیمیکمڈکٹر مواد ہے۔ اس کا اطلاق گریفائٹ بیس پر ہوتا ہے۔ اس کے فوائد یہ ہیں:

1) ایس آئی سی سنکنرن مزاحم ہے اور گریفائٹ اڈے کو مکمل طور پر لپیٹ سکتا ہے۔ اس میں اچھی کثافت ہے اور وہ سنکنرن گیس کے ذریعہ نقصان سے بچتا ہے۔

2) ایس آئی سی میں گریفائٹ بیس کے ساتھ اعلی تھرمل چالکتا اور اعلی تعلقات کی طاقت ہے ، اس بات کو یقینی بناتے ہوئے کہ کوٹنگ متعدد اعلی درجہ حرارت اور کم درجہ حرارت کے چکروں کے بعد گرنا آسان نہیں ہے۔

3) ایس آئی سی میں اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں کوٹنگ کی ناکامی سے بچنے کے لئے اچھی کیمیائی استحکام ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات

اس کے علاوہ ، مختلف مواد کی ایپیٹاکسیل فرنسوں کے لئے مختلف کارکردگی کے اشارے کے ساتھ گریفائٹ ٹرے کی ضرورت ہوتی ہے۔ گریفائٹ مواد کے تھرمل توسیع کے گتانک کے مماثلت کے لئے ایپیٹاکسیل فرنس کے نمو کے درجہ حرارت کے مطابق موافقت کی ضرورت ہوتی ہے۔ مثال کے طور پر ، درجہ حرارتسلیکن کاربائڈ ایپیٹیکسیزیادہ ہے ، اور اعلی تھرمل توسیع کے گتانک کے ساتھ ملاپ کے ساتھ ایک ٹرے کی ضرورت ہے۔ ایس آئی سی کا تھرمل توسیع گتانک گریفائٹ کے بہت قریب ہے ، جس سے یہ گریفائٹ بیس کی سطح کی کوٹنگ کے لئے ترجیحی مواد کے طور پر موزوں ہوتا ہے۔

ایس آئی سی مواد میں مختلف قسم کے کرسٹل فارم ہوتے ہیں۔ سب سے زیادہ عام 3C ، 4H اور 6H ہیں۔ مختلف کرسٹل شکلوں کے sic کے مختلف استعمال ہوتے ہیں۔ مثال کے طور پر ، 4H-sic کو اعلی طاقت والے آلات تیار کرنے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ 6H-SIC سب سے زیادہ مستحکم ہے اور آپٹ الیکٹرانک آلات تیار کرنے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ 3C-SIC GAN Epitaxial پرتوں کو تیار کرنے اور GAN سے ملتی جلتی ڈھانچے کی وجہ سے SIC-GAN RF آلات تیار کرنے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ 3C-SIC کو عام طور پر β-sic کے طور پر بھی جانا جاتا ہے۔ sic-sic کا ایک اہم استعمال ایک پتلی فلم اور کوٹنگ میٹریل کے طور پر ہے۔ لہذا ، فی الحال کوٹنگ کا بنیادی مواد ہے۔

کیمیائی ڈھانچہ-sic-sic

سیمیکمڈکٹر کی پیداوار میں ایک عام استعمال کے قابل ، ایس آئی سی کوٹنگ بنیادی طور پر سبسٹریٹس ، ایپیٹیکسی میں استعمال ہوتی ہے ،آکسیکرن بازی، اینچنگ اور آئن امپلانٹیشن۔ کوٹنگ کی جسمانی اور کیمیائی خصوصیات میں درجہ حرارت کی مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت کے لئے سخت ضروریات ہیں ، جو مصنوعات کی پیداوار اور زندگی کو براہ راست متاثر کرتی ہیں۔ لہذا ، ایس آئی سی کوٹنگ کی تیاری اہم ہے۔