ٹھوس سلیکن کاربائیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر سالڈ سلکان کاربائیڈ پلازما اینچنگ کے سامان میں ایک اہم سیرامک جزو ہے، ٹھوس سلکان کاربائیڈ(سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ) اینچنگ کے سامان میں حصے شامل ہیں۔توجہ مرکوز کرنے والے حلقے، گیس شاور ہیڈ، ٹرے، کنارے کے حلقے وغیرہ۔ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) کی کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، یہ پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد ہے جو انگوٹھیوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ اجزاء

مثال کے طور پر، فوکس رِنگ ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہِ راست رابطے میں، انگوٹی میں وولٹیج لگا کر انگوٹھی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرتا ہے، اس طرح پلازما کو ویفر پر فوکس کرتا ہے تاکہ یکسانیت کو بہتر بنایا جا سکے۔ پروسیسنگ روایتی توجہ کی انگوٹی سلکان یا سے بنی ہے۔کوارٹج، conductive سلکان ایک عام توجہ کی انگوٹی مواد کے طور پر، یہ تقریبا سلکان wafers کی چالکتا کے قریب ہے، لیکن کمی فلورین پر مشتمل پلازما میں غریب اینچنگ مزاحمت ہے، اینچنگ مشین حصوں کے مواد کو اکثر وقت کی مدت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، وہاں سنگین ہو جائے گا. سنکنرن رجحان، سنجیدگی سے اس کی پیداوار کی کارکردگی کو کم کرنے.

Solid SiC فوکس رنگکام کرنے کا اصول：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ:

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم	اور	CVD SiC
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی (GPa)	11.4	24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت	غریب	بہترین

VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر کے آلات کے لیے SIC فوکسنگ رِنگز جیسے ایڈوانس ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) حصے پیش کرتا ہے۔ ہمارے ٹھوس سلکان کاربائیڈ فوکسنگ رِنگز روایتی سلکان کو مکینیکل طاقت، کیمیائی مزاحمت، تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی پائیداری، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں۔:

اینچنگ کی کم شرحوں کے لیے اعلی کثافت۔

اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ بہترین موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی، لباس مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت.

کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیک، ہماری SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی بڑھتی ہوئی مانگ کو پورا کرتی ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، خاص طور پرcapacitively کپلڈ پلازما (CCP)نظام

VeTek Semiconductor کے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور قابل اعتمادی فراہم کرتے ہیں۔ اعلیٰ معیار اور کارکردگی کے لیے ہمارے SiC اجزاء کا انتخاب کریں۔

View as

اعلی طہارت CVD SiC خام مال

CVD کی طرف سے تیار کردہ اعلیٰ طہارت کا CVD SiC خام مال جسمانی بخارات کی نقل و حمل کے ذریعے سلکان کاربائیڈ کرسٹل کی نشوونما کے لیے بہترین ذریعہ مواد ہے۔ VeTek سیمی کنڈکٹر کے ذریعہ فراہم کردہ ہائی پیوریٹی CVD SiC خام مال کی کثافت Si اور C پر مشتمل گیسوں کے خود بخود دہن سے بننے والے چھوٹے ذرات سے زیادہ ہے، اور اس کے لیے وقف شدہ sintering فرنس کی ضرورت نہیں ہے اور اس کی بخارات کی شرح تقریباً مستقل ہے۔ یہ انتہائی اعلیٰ معیار کے SiC سنگل کرسٹل کو بڑھا سکتا ہے۔ آپ کی انکوائری کے منتظر

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

ٹھوس سی سی ویفر کیریئر

VeTek سیمی کنڈکٹر کا ٹھوس SiC ویفر کیریئر سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسیل عمل میں اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن مزاحم ماحول کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے اور یہ اعلی طہارت کے تقاضوں کے ساتھ ہر قسم کے ویفر مینوفیکچرنگ کے عمل کے لیے موزوں ہے۔ VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ ویفر کیریئر سپلائر ہے اور سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں آپ کا طویل مدتی پارٹنر بننے کا منتظر ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

ٹھوس SiC ڈسک کے سائز کا شاور ہیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر چین میں سیمی کنڈکٹر کا ایک سرکردہ سازوسامان بنانے والا ہے اور سالڈ SiC ڈسک کے سائز کے شاور ہیڈ کا پیشہ ور صنعت کار اور فراہم کنندہ ہے۔ ہمارے ڈسک کی شکل کا شاور ہیڈ بڑے پیمانے پر پتلی فلم جمع کرنے کی تیاری میں استعمال ہوتا ہے جیسے کہ CVD پراسیس ری ایکشن گیس کی یکساں تقسیم کو یقینی بنانے کے لیے اور یہ CVD فرنس کے بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

SiC سگ ماہی حصہ

چین میں ایک اعلی درجے کی SiC سگ ماہی پارٹ پروڈکٹ کارخانہ دار اور فیکٹری کے طور پر۔ VeTek Semiconducto SiC سیلنگ پارٹ ایک اعلی کارکردگی کا سگ ماہی جزو ہے جو بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ اور دیگر انتہائی اعلی درجہ حرارت اور ہائی پریشر کے عمل میں استعمال ہوتا ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

سلیکن کاربائیڈ شاور ہیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر چین میں سلیکون کاربائیڈ شاور ہیڈ مصنوعات کا ایک معروف صنعت کار اور سپلائر ہے۔ SiC شاور ہیڈ میں بہترین اعلی درجہ حرارت برداشت، کیمیائی استحکام، تھرمل چالکتا اور گیس کی تقسیم کی اچھی کارکردگی ہے، جو یکساں گیس کی تقسیم اور فلم کے معیار کو بہتر بنا سکتی ہے۔ لہذا، یہ عام طور پر اعلی درجہ حرارت کے عمل میں استعمال ہوتا ہے جیسے کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) یا جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کے عمل۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

سلیکن کاربائیڈ سیل رنگ

چین میں ایک پیشہ ور سلکان کاربائیڈ سیل رنگ پروڈکٹ بنانے والے اور فیکٹری کے طور پر، VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring اپنی بہترین گرمی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، مکینیکل طاقت اور تھرمل چالکتا کی وجہ سے سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ آلات میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ خاص طور پر اعلی درجہ حرارت اور رد عمل والی گیسوں جیسے CVD، PVD اور پلازما ایچنگ کے عمل کے لیے موزوں ہے، اور یہ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ایک اہم مادی انتخاب ہے۔ آپ کی مزید پوچھ گچھ کا خیرمقدم ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائیڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔