QR کوڈ

ہمارے بارے میں
مصنوعات
ہم سے رابطہ کریں۔
فیکس
+86-579-87223657
ای میل
پتہ
وانگڈا روڈ ، زیانگ اسٹریٹ ، ووئی کاؤنٹی ، جنہوا سٹی ، صوبہ جیانگ ، چین ، چین
ویٹیک سیمیکمڈکٹر ٹھوس سلیکن کاربائڈ پلازما اینچنگ آلات ، ٹھوس سلیکن کاربائڈ (میں ایک اہم سیرامک جزو ہے (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) اینچنگ آلات کے حصوں میں شامل ہیںبجنے پر توجہ مرکوز کرنا، گیس شاور ہیڈ ، ٹرے ، کنارے کی انگوٹھی وغیرہ۔ کلورین - اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کے لئے ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے ، یہ پلازما اینچنگ آلات کے لئے ایک مثالی مواد ہے جس میں انگوٹھوں اور دیگر اجزاء پر توجہ دی جاتی ہے۔
مثال کے طور پر ، فوکس کی انگوٹھی ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر اور ویفر کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہے ، رنگ میں وولٹیج لگاتے ہوئے ، رنگ میں گزرنے والے پلازما کو مرکوز کرنے کے لئے ، اس طرح پروسیسنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لئے ویفر پر پلازما کو فوکس کرتا ہے۔ روایتی فوکس رنگ سلیکن سے بنی ہے یاکوارٹج، ایک مشترکہ فوکس رنگ مواد کے طور پر کنڈکٹو سلیکن ، یہ سلیکن ویفروں کی چالکتا کے قریب قریب ہے ، لیکن یہ قلت فلورین پر مشتمل پلازما میں ناقص اینچنگ مزاحمت ہے ، مشین کے پرزوں کے مواد کو اکثر وقتا فوقتا استعمال کیا جاتا ہے ، اس کی پیداوار کی کارکردگی کو سنجیدگی سے کم کیا جائے گا۔
Sاولڈ ایس آئی سی فوکس رنگکام کرنے کا اصول:
ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ : کا موازنہ
ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ | ||
آئٹم | اور | CVD sic |
کثافت (جی/سینٹی میٹر3) | 2.33 | 3.21 |
بینڈ گیپ (ای وی) | 1.12 | 2.3 |
تھرمل چالکتا (W/CM ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
لچکدار ماڈیولس (جی پی اے) | 150 | 440 |
سختی (جی پی اے) | 11.4 | 24.5 |
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت | غریب | عمدہ |
ویٹیک سیمیکمڈکٹر جدید ترین ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کے حصے پیش کرتا ہے جیسے سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے سی آئی سی فوکسنگ انگوٹھی۔ ہمارے ٹھوس سلیکن کاربائڈ پر توجہ مرکوز کرنے والی انگوٹھی میکانکی طاقت ، کیمیائی مزاحمت ، تھرمل چالکتا ، اعلی درجہ حرارت کی استحکام ، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے روایتی سلیکن کو بہتر بناتی ہے۔
کم اینچنگ کی شرحوں کے ل high اعلی کثافت۔
ایک اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ عمدہ موصلیت۔
اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔
اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔
اعلی سختی ، لباس مزاحمت ، اور سنکنرن مزاحمت۔
استعمال کرتے ہوئے تیار کیاپلازما سے بہتر کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیکیں ، ہماری ایس آئی سی فوکسنگ حلقے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اینچنگ کے عمل کے بڑھتے ہوئے مطالبات کو پورا کرتے ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کا مقابلہ کرنے کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں ، خاص طور پر میںگنجائش سے جوڑا پلازما (سی سی پی)سسٹم
ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے ایس آئی سی فوکسنگ رنگز سیمیکمڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور وشوسنییتا فراہم کرتے ہیں۔ اعلی معیار اور کارکردگی کے ل our ہمارے ایس آئی سی اجزاء کا انتخاب کریں۔
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
وانگڈا روڈ ، زیانگ اسٹریٹ ، ووئی کاؤنٹی ، جنہوا سٹی ، صوبہ جیانگ ، چین ، چین
کاپی رائٹ © 2024 ویٹیک سیمیکمڈکٹر ٹکنالوجی کمپنی ، لمیٹڈ تمام حقوق محفوظ ہیں۔
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |