مصنوعات

ٹھوس سلیکن کاربائڈ

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ٹھوس سلیکن کاربائڈ پلازما اینچنگ آلات ، ٹھوس سلیکن کاربائڈ (میں ایک اہم سیرامک ​​جزو ہے (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) اینچنگ آلات کے حصوں میں شامل ہیںبجنے پر توجہ مرکوز کرنا، گیس شاور ہیڈ ، ٹرے ، کنارے کی انگوٹھی وغیرہ۔ کلورین - اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کے لئے ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے ، یہ پلازما اینچنگ آلات کے لئے ایک مثالی مواد ہے جس میں انگوٹھوں اور دیگر اجزاء پر توجہ دی جاتی ہے۔


مثال کے طور پر ، فوکس کی انگوٹھی ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر اور ویفر کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہے ، رنگ میں وولٹیج لگاتے ہوئے ، رنگ میں گزرنے والے پلازما کو مرکوز کرنے کے لئے ، اس طرح پروسیسنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لئے ویفر پر پلازما کو فوکس کرتا ہے۔ روایتی فوکس رنگ سلیکن سے بنی ہے یاکوارٹج، ایک مشترکہ فوکس رنگ مواد کے طور پر کنڈکٹو سلیکن ، یہ سلیکن ویفروں کی چالکتا کے قریب قریب ہے ، لیکن یہ قلت فلورین پر مشتمل پلازما میں ناقص اینچنگ مزاحمت ہے ، مشین کے پرزوں کے مواد کو اکثر وقتا فوقتا استعمال کیا جاتا ہے ، اس کی پیداوار کی کارکردگی کو سنجیدگی سے کم کیا جائے گا۔


Sاولڈ ایس آئی سی فوکس رنگکام کرنے کا اصول

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ : کا موازنہ

ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم اور CVD sic
کثافت (جی/سینٹی میٹر3) 2.33 3.21
بینڈ گیپ (ای وی) 1.12 2.3
تھرمل چالکتا (W/CM ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
لچکدار ماڈیولس (جی پی اے) 150 440
سختی (جی پی اے) 11.4 24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت غریب عمدہ


ویٹیک سیمیکمڈکٹر جدید ترین ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کے حصے پیش کرتا ہے جیسے سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے سی آئی سی فوکسنگ انگوٹھی۔ ہمارے ٹھوس سلیکن کاربائڈ پر توجہ مرکوز کرنے والی انگوٹھی میکانکی طاقت ، کیمیائی مزاحمت ، تھرمل چالکتا ، اعلی درجہ حرارت کی استحکام ، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے روایتی سلیکن کو بہتر بناتی ہے۔


ہمارے ایس آئی سی فوکسنگ رنگوں کی کلیدی خصوصیات میں شامل ہیں:

کم اینچنگ کی شرحوں کے ل high اعلی کثافت۔

ایک اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ عمدہ موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی ، لباس مزاحمت ، اور سنکنرن مزاحمت۔

استعمال کرتے ہوئے تیار کیاپلازما سے بہتر کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیکیں ، ہماری ایس آئی سی فوکسنگ حلقے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اینچنگ کے عمل کے بڑھتے ہوئے مطالبات کو پورا کرتے ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کا مقابلہ کرنے کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں ، خاص طور پر میںگنجائش سے جوڑا پلازما (سی سی پی)سسٹم

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے ایس آئی سی فوکسنگ رنگز سیمیکمڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور وشوسنییتا فراہم کرتے ہیں۔ اعلی معیار اور کارکردگی کے ل our ہمارے ایس آئی سی اجزاء کا انتخاب کریں۔


View as  
 
CVD sic لیپت گریفائٹ شاور ہیڈ

CVD sic لیپت گریفائٹ شاور ہیڈ

ویٹیکسیمن کا سی وی ڈی ایس آئی سی لیپت گریفائٹ شاور ہیڈ ایک اعلی کارکردگی کا جزو ہے جو خاص طور پر سیمیکمڈکٹر کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) کے عمل کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اعلی طہارت گریفائٹ سے تیار کیا گیا ہے اور کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کوٹنگ سے محفوظ ہے ، یہ شاور ہیڈ بقایا استحکام ، تھرمل استحکام ، اور سنکنرن عمل گیسوں کے خلاف مزاحمت فراہم کرتا ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کے منتظر ہیں۔
sic کنارے کی انگوٹھی

sic کنارے کی انگوٹھی

ویٹیکسیمن اعلی طہارت کے ایس آئی سی ایج کی انگوٹھی ، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر اینچنگ آلات کے لئے ڈیزائن کی گئی ہے ، نمایاں سنکنرن مزاحمت اور تھرمل استحکام ، جس میں ویفر کی پیداوار میں نمایاں اضافہ ہوتا ہے۔
اعلی طہارت CVD SIC خام مال

اعلی طہارت CVD SIC خام مال

سی وی ڈی کے ذریعہ تیار کردہ اعلی طہارت سی وی ڈی ایس آئی سی کا خام مال جسمانی بخارات کی نقل و حمل کے ذریعہ سلیکن کاربائڈ کرسٹل نمو کے لئے بہترین ماخذی مواد ہے۔ وٹیک سیمیکمڈکٹر کے ذریعہ فراہم کردہ اعلی طہارت سی وی ڈی ایس آئی سی خام مال کی کثافت ایس آئی اور سی پر مشتمل گیسوں کے اچانک دہن کے ذریعہ تشکیل دیئے گئے چھوٹے ذرات سے زیادہ ہے ، اور اس کے لئے ایک سرشار سائنٹرنگ فرنس کی ضرورت نہیں ہوتی ہے اور اس میں تقریبا مستقل بخارات کی شرح ہوتی ہے۔ یہ انتہائی اعلی معیار کے ایس آئی سی سنگل کرسٹل میں اضافہ کرسکتا ہے۔ آپ کی انکوائری کا منتظر
ٹھوس sic ویفر کیریئر

ٹھوس sic ویفر کیریئر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کا ٹھوس ایس آئی سی ویفر کیریئر سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسیل عمل میں اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن مزاحم ماحول کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے اور اعلی طہارت کی ضروریات کے ساتھ ہر قسم کے ویفر مینوفیکچرنگ کے عمل کے لئے موزوں ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں ایک معروف ویفر کیریئر سپلائر ہے اور سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں آپ کا طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہے۔
ٹھوس sic ڈسک کے سائز کا شاور سر

ٹھوس sic ڈسک کے سائز کا شاور سر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں سیمیکمڈکٹر سازوسامان کا ایک معروف کارخانہ ہے اور ایک پیشہ ور کارخانہ دار اور ٹھوس ایس آئی سی ڈسک کے سائز کے شاور ہیڈ کا سپلائر ہے۔ ہمارے ڈسک شکل شاور ہیڈ کو بڑے پیمانے پر پتلی فلم جمع کرنے کی تیاری میں استعمال کیا جاتا ہے جیسے سی وی ڈی عمل میں رد عمل گیس کی یکساں تقسیم کو یقینی بنایا جاسکتا ہے اور یہ سی وی ڈی فرنس کے بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔
sic سگ ماہی کا حصہ

sic سگ ماہی کا حصہ

چین میں ایک اعلی درجے کی ایس آئی سی سگ ماہی پارٹ پروڈکٹ تیار کرنے والے اور فیکٹری کے طور پر۔ ویٹیک سیمیکمڈوکو ایس آئی سی سگ ماہی حصہ سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ اور دیگر انتہائی اعلی درجہ حرارت اور اعلی دباؤ کے عمل میں وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والا ایک اعلی کارکردگی کا سیل کرنے والا جزو ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کریں۔

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept