ٹھوس سلیکن کاربائیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر سالڈ سلکان کاربائیڈ پلازما اینچنگ کے سامان میں ایک اہم سیرامک جزو ہے، ٹھوس سلکان کاربائیڈ(سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ) اینچنگ کے سامان میں حصے شامل ہیں۔توجہ مرکوز کرنے والے حلقے، گیس شاور ہیڈ، ٹرے، کنارے کے حلقے وغیرہ۔ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) کی کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، یہ پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد ہے جو انگوٹھیوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ اجزاء

مثال کے طور پر، فوکس رِنگ ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہِ راست رابطے میں، انگوٹی میں وولٹیج لگا کر انگوٹھی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرتا ہے، اس طرح پلازما کو ویفر پر فوکس کرتا ہے تاکہ یکسانیت کو بہتر بنایا جا سکے۔ پروسیسنگ روایتی توجہ کی انگوٹی سلکان یا سے بنی ہے۔کوارٹج، conductive سلکان ایک عام توجہ کی انگوٹی مواد کے طور پر، یہ تقریبا سلکان wafers کی چالکتا کے قریب ہے، لیکن کمی فلورین پر مشتمل پلازما میں غریب اینچنگ مزاحمت ہے، اینچنگ مشین حصوں کے مواد کو اکثر وقت کی مدت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، وہاں سنگین ہو جائے گا. سنکنرن رجحان، سنجیدگی سے اس کی پیداوار کی کارکردگی کو کم کرنے.

Solid SiC فوکس رنگکام کرنے کا اصول：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ:

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم	اور	CVD SiC
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی (GPa)	11.4	24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت	غریب	بہترین

VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر کے آلات کے لیے SIC فوکسنگ رِنگز جیسے ایڈوانس ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) حصے پیش کرتا ہے۔ ہمارے ٹھوس سلکان کاربائیڈ فوکسنگ رِنگز روایتی سلکان کو مکینیکل طاقت، کیمیائی مزاحمت، تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی پائیداری، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں۔:

اینچنگ کی کم شرحوں کے لیے اعلی کثافت۔

اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ بہترین موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی، لباس مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت.

کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیک، ہماری SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی بڑھتی ہوئی مانگ کو پورا کرتی ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، خاص طور پرcapacitively کپلڈ پلازما (CCP)نظام

VeTek Semiconductor کے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور قابل اعتمادی فراہم کرتے ہیں۔ اعلیٰ معیار اور کارکردگی کے لیے ہمارے SiC اجزاء کا انتخاب کریں۔

View as

اعلی طہارت CVD SIC خام مال

سی وی ڈی کے ذریعہ تیار کردہ اعلی طہارت سی وی ڈی ایس آئی سی کا خام مال جسمانی بخارات کی نقل و حمل کے ذریعہ سلیکن کاربائڈ کرسٹل نمو کے لئے بہترین ماخذی مواد ہے۔ وٹیک سیمیکمڈکٹر کے ذریعہ فراہم کردہ اعلی طہارت سی وی ڈی ایس آئی سی خام مال کی کثافت ایس آئی اور سی پر مشتمل گیسوں کے اچانک دہن کے ذریعہ تشکیل دیئے گئے چھوٹے ذرات سے زیادہ ہے ، اور اس کے لئے ایک سرشار سائنٹرنگ فرنس کی ضرورت نہیں ہوتی ہے اور اس میں تقریبا مستقل بخارات کی شرح ہوتی ہے۔ یہ انتہائی اعلی معیار کے ایس آئی سی سنگل کرسٹل میں اضافہ کرسکتا ہے۔ آپ کی انکوائری کا منتظر

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

ٹھوس sic ویفر کیریئر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کا ٹھوس ایس آئی سی ویفر کیریئر سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسیل عمل میں اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن مزاحم ماحول کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے اور اعلی طہارت کی ضروریات کے ساتھ ہر قسم کے ویفر مینوفیکچرنگ کے عمل کے لئے موزوں ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں ایک معروف ویفر کیریئر سپلائر ہے اور سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں آپ کا طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

ٹھوس sic ڈسک کے سائز کا شاور سر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں سیمیکمڈکٹر سازوسامان کا ایک معروف کارخانہ ہے اور ایک پیشہ ور کارخانہ دار اور ٹھوس ایس آئی سی ڈسک کے سائز کے شاور ہیڈ کا سپلائر ہے۔ ہمارے ڈسک شکل شاور ہیڈ کو بڑے پیمانے پر پتلی فلم جمع کرنے کی تیاری میں استعمال کیا جاتا ہے جیسے سی وی ڈی عمل میں رد عمل گیس کی یکساں تقسیم کو یقینی بنایا جاسکتا ہے اور یہ سی وی ڈی فرنس کے بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

sic سگ ماہی کا حصہ

چین میں ایک اعلی درجے کی ایس آئی سی سگ ماہی پارٹ پروڈکٹ تیار کرنے والے اور فیکٹری کے طور پر۔ ویٹیک سیمیکمڈوکو ایس آئی سی سگ ماہی حصہ سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ اور دیگر انتہائی اعلی درجہ حرارت اور اعلی دباؤ کے عمل میں وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والا ایک اعلی کارکردگی کا سیل کرنے والا جزو ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کریں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ

سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ میں بہترین درجہ حرارت رواداری ، کیمیائی استحکام ، تھرمل چالکتا اور گیس کی اچھی تقسیم کی کارکردگی ہے ، جو گیس کی یکساں تقسیم کو حاصل کرسکتی ہے اور فلمی معیار کو بہتر بنا سکتی ہے۔ لہذا ، یہ عام طور پر اعلی درجہ حرارت کے عمل میں استعمال ہوتا ہے جیسے کیمیائی بخار جمع (سی وی ڈی) یا جسمانی بخار جمع (پی وی ڈی) کے عمل۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر ، ہمارے ساتھ اپنی مزید مشاورت کا خیرمقدم کریں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

سلیکن کاربائڈ مہر کی انگوٹھی

چین میں ایک پیشہ ور سلیکن کاربائڈ مہر رنگ پروڈکٹ مینوفیکچرر اور فیکٹری کی حیثیت سے ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر سلیکن کاربائڈ مہر رنگ سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ کے سازوسامان میں اس کی بہترین گرمی کی مزاحمت ، سنکنرن مزاحمت ، مکینیکل طاقت اور تھرمل چالکتا کی وجہ سے وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ خاص طور پر اعلی درجہ حرارت اور رد عمل والی گیسوں جیسے سی وی ڈی ، پی وی ڈی اور پلازما اینچنگ سے متعلق عمل کے ل suitable موزوں ہے ، اور سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ایک اہم مادی انتخاب ہے۔ آپ کی مزید انکوائریوں کا خیرمقدم ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائیڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔