مصنوعات
بڑے سائز کے مزاحمت حرارتی ساک کرسٹل نمو بھٹی
  • بڑے سائز کے مزاحمت حرارتی ساک کرسٹل نمو بھٹیبڑے سائز کے مزاحمت حرارتی ساک کرسٹل نمو بھٹی

بڑے سائز کے مزاحمت حرارتی ساک کرسٹل نمو بھٹی

سلیکن کاربائڈ کرسٹل نمو اعلی کارکردگی والے سیمیکمڈکٹر آلات کی تیاری میں ایک بنیادی عمل ہے۔ کرسٹل نمو کے سازوسامان کی استحکام ، صحت سے متعلق اور مطابقت براہ راست سلیکن کاربائڈ انگوٹس کے معیار اور پیداوار کا تعین کرتی ہے۔ جسمانی بخارات کی نقل و حمل (پی وی ٹی) ٹکنالوجی کی خصوصیات کی بنیاد پر ، ویٹیکسمی نے سلیکن کاربائڈ کرسٹل نمو کے لئے مزاحمتی حرارتی بھٹی تیار کی ہے ، جس سے 6 انچ ، 8 انچ ، اور 12 انچ سلیکن کاربائڈ کرسٹل کی مستحکم نمو کو قابل تقلید ، نیم موصل ، اور این ٹائپ مادی نظاموں کے ساتھ مکمل مطابقت پذیر بنایا گیا ہے۔ درجہ حرارت ، دباؤ اور طاقت کے عین مطابق کنٹرول کے ذریعے ، یہ کرسٹل نقائص جیسے EPD (ETCH PIT کثافت) اور BPD (بیسل ہوائی جہاز کی سندچیوتی) کو مؤثر طریقے سے کم کرتا ہے ، جبکہ صنعتی بڑے پیمانے پر پیداوار کے اعلی معیار کو پورا کرنے کے لئے کم توانائی کی کھپت اور ایک کمپیکٹ ڈیزائن کی خاصیت ہے۔

تکنیکی پیرامیٹرز

پیرامیٹر
تفصیلات
نمو کا عمل
جسمانی بخارات کی نقل و حمل (پرائیوٹ)
حرارتی طریقہ
گریفائٹ مزاحمت حرارتی
موافقت پذیر کرسٹل سائز
6 انچ ، 8 انچ ، 12 انچ (سوئچ ایبل ؛ چیمبر کی تبدیلی کا وقت <4 گھنٹے)
ہم آہنگ کرسٹل اقسام
کنڈکٹو قسم ، نیم موصلیت کی قسم ، این ٹائپ (مکمل سیریز)
زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت
≥2400 ℃
حتمی خلا
≤9 × 10⁻⁵pa (سرد بھٹی کی حالت)
دباؤ میں اضافے کی شرح
.01.0pa/12h (سرد بھٹی)
کرسٹل نمو کی طاقت
34.0kW
پاور کنٹرول کی درستگی
± 0.15 ٪ (مستحکم نمو کے حالات میں)
پریشر کنٹرول کی درستگی
0.15PA (نمو کا مرحلہ) ؛ اتار چڑھاؤ <± 0.001 ٹور (1.0TORR پر)
کرسٹل عیب کثافت
BPD <381 EA/CM² ؛ ٹیڈ <1054 EA/CM²
کرسٹل نمو کی شرح
0.2-0.3 ملی میٹر/گھنٹہ
کرسٹل نمو کی اونچائی
30-40 ملی میٹر
مجموعی طول و عرض (W × D × H)
≤1800 ملی میٹر × 3300 ملی میٹر × 2700 ملی میٹر


بنیادی فوائد


 مکمل سائز کی مطابقت

6 انچ ، 8 انچ ، اور 12 انچ سلیکن کاربائڈ کرسٹل کی مستحکم نشوونما کو قابل بناتا ہے ، جو کنڈکٹو ، نیم موصل ، اور این قسم کے مادی نظام کے ساتھ مکمل طور پر مطابقت رکھتا ہے۔ اس میں مختلف وضاحتیں اور متنوع اطلاق کے منظرناموں کے موافق مصنوعات کی پیداوار کی ضروریات کا احاطہ کیا گیا ہے۔


strong مضبوط عمل استحکام

8 انچ کے کرسٹل میں عمدہ 4H پولیٹائپ مستقل مزاجی ، مستحکم سطح کی شکل ، اور اعلی تکرار ہے۔ 12 انچ سلیکن کاربائڈ کرسٹل گروتھ ٹکنالوجی نے بڑے پیمانے پر پیداوار کی فزیبلٹی کے ساتھ توثیق مکمل کرلی ہے۔


● کم کرسٹل عیب کی شرح

درجہ حرارت ، دباؤ ، اور طاقت کے عین مطابق کنٹرول کے ذریعے ، کرسٹل نقائص کو کلیدی اشارے کے ساتھ مؤثر طریقے سے کم کیا جاتا ہے۔ تمام عیب اشارے اعلی درجے کے کرسٹل کوالٹی کی ضروریات کو پورا کرتے ہیں ، جس سے INTOT کی پیداوار میں نمایاں بہتری آتی ہے۔


● کنٹرول آپریٹنگ اخراجات

اسی طرح کی مصنوعات میں اس کی توانائی کی کم ترین کھپت ہے۔ بنیادی اجزاء (جیسے تھرمل موصلیت کی شیلڈز) میں 6-12 ماہ کا طویل متبادل سائیکل ہوتا ہے ، جس سے آپریٹنگ کے جامع اخراجات کم ہوتے ہیں۔


● پلگ اینڈ پلے سہولت

آلات کی خصوصیات پر مبنی اپنی مرضی کے مطابق نسخہ اور عمل کے پیکیج ، طویل مدتی اور ملٹی بیچ کی تیاری کے ذریعے تصدیق شدہ ، انسٹالیشن کے بعد فوری پیداوار کی اجازت دیتے ہیں۔


● حفاظت اور وشوسنییتا

حفاظت کے ممکنہ خطرات کو ختم کرنے کے لئے اینٹی آرک اینٹی آرک اسپارک ڈیزائن کو اپناتا ہے۔ ریئل ٹائم مانیٹرنگ اور ابتدائی انتباہی افعال آپریشنل خطرات سے فعال طور پر گریز کرتے ہیں۔


● عمدہ ویکیوم کارکردگی

حتمی ویکیوم اور دباؤ میں اضافے کی شرح کے اشارے بین الاقوامی سطح پر معروف سطح سے تجاوز کرتے ہیں ، جو کرسٹل نمو کے لئے صاف ماحول کو یقینی بناتے ہیں۔


● ذہین آپریشن اور بحالی

موثر اور آسان پروڈکشن مینجمنٹ کے لئے اختیاری ریموٹ مانیٹرنگ افعال کی حمایت کرنے والی جامع ڈیٹا ریکارڈنگ کے ساتھ مل کر ایک بدیہی HMI انٹرفیس کی خصوصیات ہے۔


بنیادی کارکردگی کا بصری ڈسپلے


درجہ حرارت پر قابو پانے کی درستگی وکر

Temperature Control Accuracy Curve

کرسٹل نمو کی بھٹی ± ± 0.3 ° C کی درجہ حرارت پر قابو پانے کی درستگی ؛ درجہ حرارت کے منحنی خطوط کا جائزہ



پریشر کنٹرول درستگی گراف


Pressure Control Accuracy Graph

کرسٹل گروتھ فرنس کی پریشر کنٹرول کی درستگی: 1.0 ٹور ، پریشر کنٹرول کی درستگی: 0.001 ٹورور


بجلی کے استحکام کی صحت سے متعلق


استحکام اور فرنس/بیچوں کے مابین مستقل مزاجی: طاقت کی استحکام کی درستگی

Power Stability Precision

کرسٹل نمو کی حیثیت کے تحت ، مستحکم کرسٹل نمو کے دوران بجلی کے کنٹرول کی درستگی ± 0.15 ٪ ہے۔


ویٹیکسیکن مصنوعات کی دکان

Veteksemicon products shop



ہاٹ ٹیگز: بڑے سائز کے مزاحمت حرارتی ساک کرسٹل نمو بھٹی
انکوائری بھیجیں۔
رابطہ کی معلومات
  • پتہ

    وانگڈا روڈ ، زیانگ اسٹریٹ ، ووئی کاؤنٹی ، جنہوا سٹی ، صوبہ جیانگ ، چین ، چین

  • ٹیلی فون

    +86-15988690905

  • ای میل

    anny@veteksemi.com

سیلیکون کاربائیڈ کوٹنگ، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ، خصوصی گریفائٹ یا قیمت کی فہرست کے بارے میں پوچھ گچھ کے لیے، براہ کرم ہمیں اپنا ای میل بھیجیں اور ہم 24 گھنٹوں کے اندر رابطے میں رہیں گے۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept