CVD SiC لیپت ویفر بیرل ہولڈر

میٹل آرگینک کیمیکل ویپر ڈیپوزیشن (MOCVD) اس وقت سب سے زیادہ گرم ایپیٹیکسیل گروتھ ٹیکنالوجی ہے، جو سیمی کنڈکٹر لیزرز اور ایل ای ڈیز، خاص طور پر GaN ایپیٹیکسی کی تیاری میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے۔ ایپیٹیکسی سے مراد کرسٹل سبسٹریٹ پر ایک اور واحد کرسٹل فلم کی نشوونما ہے۔ Epitaxy ٹیکنالوجی اس بات کو یقینی بنا سکتی ہے کہ نئی اگنے والی کرسٹل فلم ساختی طور پر بنیادی کرسٹل سبسٹریٹ کے ساتھ منسلک ہے۔ یہ ٹیکنالوجی سبسٹریٹ پر مخصوص خصوصیات والی فلموں کی نشوونما کی اجازت دیتی ہے، جو کہ اعلیٰ کارکردگی والے سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری کے لیے ضروری ہے۔

ویفر بیرل ہولڈر ایپیٹیکسیل گروتھ فرنس کا ایک اہم جزو ہے۔ CVD SiC کوٹنگ ویفر ہولڈر وسیع پیمانے پر مختلف CVD ایپیٹیکسیل گروتھ فرنسز، خاص طور پر MOCVD ایپیٹیکسیل گروتھ فرنس میں استعمال ہوتا ہے۔

افعال اور فCVD SiC لیپت ویفر بیرل ہولڈر کی خصوصیات

● سبسٹریٹس کو لے جانا اور گرم کرنا: CVD SiC Coated Barrel Susceptor MOCVD عمل کے دوران سبسٹریٹس کو لے جانے اور ضروری حرارت فراہم کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ CVD SiC لیپت ویفر بیرل ہولڈر اعلی پیوریٹی گریفائٹ اور SiC کوٹنگ پر مشتمل ہے، اور اس کی کارکردگی بہترین ہے۔

● یکسانیت: MOCVD عمل کے دوران، گریفائٹ بیرل ہولڈر ایپیٹیکسیل پرت کی یکساں ترقی حاصل کرنے کے لیے مسلسل گھومتا ہے۔

● تھرمل استحکام اور تھرمل یکسانیت: SiC Coated Barrel Susceptor کی SiC کوٹنگ میں بہترین تھرمل استحکام اور تھرمل یکسانیت ہے، اس طرح epitaxial تہہ کے معیار کو یقینی بناتا ہے۔

● آلودگی سے بچیں۔: CVD SiC کوٹیڈ ویفر بیرل ہولڈر میں شاندار استحکام ہے، تاکہ یہ آپریشن کے دوران گرنے والے آلودگی پیدا نہیں کرے گا۔

● الٹرا طویل سروس کی زندگی: SiC کوٹنگ کی وجہ سے، CVD SiC کوٹڈ Barrel Susceptor میں اب بھی MOCVD کے اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن گیس کے ماحول میں کافی استحکام ہے۔

بیرل سی وی ڈی ری ایکٹر کی منصوبہ بندی

VeTek سیمی کنڈکٹر کے CVD SiC کوٹڈ ویفر بیرل ہولڈر کی سب سے بڑی خصوصیت

● حسب ضرورت کی اعلی ترین ڈگری: گریفائٹ سبسٹریٹ کی مادی ساخت، SiC کوٹنگ کی مادی ساخت اور موٹائی، اور ویفر ہولڈر کی ساخت سبھی کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔

● دوسرے سپلائرز سے آگے ہونا: VeTek Semiconductor's SiC Coated Graphite Barrel Susceptor برائے EPI کو بھی کسٹمر کی ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔ اندرونی دیوار پر، ہم گاہک کی ضروریات کا جواب دینے کے لیے پیچیدہ نمونے بنا سکتے ہیں۔

اپنے آغاز سے، VeTek Semiconductor SiC کوٹنگ ٹیکنالوجی کی مسلسل تلاش کے لیے مصروف عمل ہے۔ آج، VeTek سیمی کنڈکٹر صنعت کی معروف SiC کوٹنگ مصنوعات کی طاقت رکھتا ہے۔ VeTek Semiconductor CVD SiC کوٹیڈ ویفر بیرل ہولڈر مصنوعات میں آپ کا پارٹنر بننے کا منتظر ہے۔

CVD SIC کوٹنگ فلم کرسٹل سٹرکچر کا SEM ڈیٹا

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات