سلیکن کاربائڈ لیپت ایپی سوسسیپٹر

سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی سے مراد گیس فیز، مائع فیز یا مالیکیولر بیم ڈپوزیشن جیسے طریقوں سے سبسٹریٹ میٹریل کی سطح پر ایک مخصوص جالی ساخت کے ساتھ پتلی فلم کی نشوونما ہے، تاکہ نئی اگنے والی پتلی فلم کی تہہ (ایپٹیکسیل پرت) سبسٹریٹ کے طور پر ایک ہی یا مماثل جالی ساخت اور واقفیت۔ 

ایپیٹیکسی ٹیکنالوجی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں بہت اہم ہے، خاص طور پر اعلیٰ معیار کی پتلی فلموں کی تیاری میں، جیسے کہ سنگل کرسٹل لیئرز، ہیٹرسٹرکچرز اور کوانٹم ڈھانچے جو اعلیٰ کارکردگی والے آلات کی تیاری میں استعمال ہوتے ہیں۔

سلیکن کاربائڈ لیپت ایپی سوسپٹر ایک کلیدی جزو ہے جو ایپیٹاکسیل نمو کے سامان میں سبسٹریٹ کی حمایت کرنے کے لئے استعمال ہوتا ہے اور سلیکن ایپیٹیکسی میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ ایپیٹاکسیل پیڈسٹل کے معیار اور کارکردگی نے براہ راست ایپیٹاکسیل پرت کی نمو کو متاثر کیا اور سیمیکمڈکٹر ڈیوائسز کی آخری کارکردگی میں اہم کردار ادا کیا۔

VeTek سیمی کنڈکٹر نے SGL گریفائٹ کی سطح پر CVD طریقہ کے ذریعے SIC کوٹنگ کی ایک تہہ لیپت کی، اور اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، آکسیڈیشن مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، اور تھرمل یکسانیت جیسی خصوصیات کے ساتھ SiC کوٹڈ ایپی سسپٹر حاصل کیا۔

ایک عام بیرل ری ایکٹر میں ، سلیکن کاربائڈ لیپت ایپی سوسیسٹر کا بیرل کا ڈھانچہ ہے۔ ایس آئی سی لیپت ایپی حساسپٹر کے نچلے حصے میں گھومنے والے شافٹ سے جڑا ہوا ہے۔ epitaxial نمو کے عمل کے دوران ، یہ گھڑی کی سمت اور گھڑی کی سمت گردش کو باری باری برقرار رکھتا ہے۔ رد عمل گیس نوزل ​​کے ذریعے رد عمل کے چیمبر میں داخل ہوتی ہے ، تاکہ گیس کا بہاؤ رد عمل چیمبر میں کافی یکساں تقسیم تشکیل دے ، اور آخر کار ایک یکساں ایپیٹیکسیل پرت کی نشوونما کی تشکیل کرتا ہے۔

ایس آئی سی لیپت گریفائٹ کی بڑے پیمانے پر تبدیلی اور آکسیکرن ٹائم کے مابین تعلقات

شائع شدہ مطالعات کے نتائج سے پتہ چلتا ہے کہ 1400 ℃ اور 1600 at پر ، SIC لیپت گریفائٹ کے بڑے پیمانے پر بہت کم اضافہ ہوتا ہے۔ یعنی ، ایس آئی سی لیپت گریفائٹ میں ایک مضبوط اینٹی آکسیڈینٹ صلاحیت ہے۔ لہذا ، ایس آئی سی لیپت ایپی سوسسیپٹر زیادہ تر ایپیٹیکسیل فرنس میں طویل عرصے تک کام کرسکتا ہے۔ اگر آپ کے پاس مزید ضروریات یا اپنی مرضی کے مطابق ضروریات ہیں، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کریں۔ ہم بہترین معیار کے SiC کوٹڈ Epi susceptor کے حل فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہیں۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات

VeTek سیمی کنڈکٹرسلیکون کاربائیڈ لیپت ایپی سسیپٹر شاپس