غیر محفوظ سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) سیرامک ​​پلیٹیں: سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اعلی کارکردگی کا مواد

ⅰ. ایک غیر محفوظ SIC سیرامک ​​پلیٹ کیا ہے؟

غیر محفوظ سلیکن کاربائڈ سیرامک ​​پلیٹ ایک غیر محفوظ ڈھانچے کا سیرامک ​​مواد ہے جو سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) سے بنا خصوصی عمل (جیسے فومنگ ، 3 ڈی پرنٹنگ یا تاکنا بنانے والے ایجنٹوں کو شامل کرنا) کے ذریعہ بنا ہوا ہے۔ اس کی بنیادی خصوصیات میں شامل ہیں:

● قابل کنٹرول پوروسٹی: مختلف اطلاق کے منظرناموں کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے 30 ٪ -70 ٪ سایڈست۔

● یکساں تاکنا سائز کی تقسیم: گیس/مائع ٹرانسمیشن استحکام کو یقینی بنائیں۔

● ہلکا پھلکا ڈیزائن: سامان کی توانائی کی کھپت کو کم کریں اور آپریٹنگ کارکردگی کو بہتر بنائیں۔

core. مکمل بنیادی جسمانی خصوصیات اور غیر محفوظ SIC سیرامک ​​پلیٹوں کی صارف کی قیمت

1. درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت اور تھرمل مینجمنٹ (بنیادی طور پر سامان کی تھرمل ناکامی کے مسئلے کو حل کرنے کے لئے)

temperature درجہ حرارت کی انتہائی مزاحمت: کام کا مستقل درجہ حرارت 1600 ° C تک پہنچتا ہے (الومینا سیرامکس سے 30 ٪ زیادہ)۔

● اعلی کارکردگی تھرمل چالکتا: تھرمل چالکتا کا گتانک 120 ڈبلیو/(ایم · کے) ہے ، تیز گرمی کی کھپت حساس اجزاء کی حفاظت کرتی ہے۔

● انتہائی کم تھرمل توسیع: تھرمل توسیع کا گتانک صرف 4.0 × 10⁻⁶/° C ہے ، جو انتہائی اعلی درجہ حرارت کے تحت آپریشن کے لئے موزوں ہے ، جو مؤثر طریقے سے اعلی درجہ حرارت کی خرابی سے گریز کرتا ہے۔

2. کیمیائی استحکام (سنکنرن ماحول میں بحالی کے اخراجات کو کم کرنا)

● مضبوط تیزاب اور الکلیس کے خلاف مزاحم: HF اور H₂SO₄ جیسے سنکنرن میڈیا کا مقابلہ کر سکتے ہیں

● پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحم: خشک اینچنگ آلات میں زندگی میں 3 بار سے زیادہ کا اضافہ ہوا ہے

3. مکینیکل طاقت (سامان کی زندگی کو بڑھانا)

● اعلی سختی: محس سختی 9.2 سے زیادہ ہے ، اور لباس مزاحمت سٹینلیس سٹیل سے بہتر ہے

● موڑنے والی طاقت: 300-400 ایم پی اے ، بغیر کسی وارپنگ کے ویفرز کی حمایت کرتا ہے

4. غیر محفوظ ڈھانچے کی فنکشنلائزیشن (عمل کی پیداوار کو بہتر بنانا)

● یکساں گیس کی تقسیم: سی وی ڈی پروسیس فلم کی یکسانیت کو 98 ٪ کردیا گیا ہے۔

● عین مطابق جذب کا کنٹرول: الیکٹرو اسٹاٹک چک (ESC) کی پوزیشننگ درستگی ± 0.01 ملی میٹر ہے۔

5. صفائی ستھرائی کی ضمانت (سیمیکمڈکٹر گریڈ کے معیارات کی تعمیل میں)

● صفر دھات کی آلودگی: طہارت> 99.99 ٪ ، وافر آلودگی سے گریز کرنا

● خود کی صفائی کی خصوصیات: مائکروپورس ڈھانچہ ذرہ جمع کو کم کرتا ہے

iii. سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں غیر محفوظ ایس آئی سی پلیٹوں کی چار کلیدی ایپلی کیشنز

منظر 1: اعلی درجہ حرارت کے عمل کا سامان (بازی بھٹی/اینیلنگ فرنس)

● صارف کے درد کا نقطہ: روایتی مواد آسانی سے خراب ہوجاتے ہیں ، جس کے نتیجے میں ویفر سکریپنگ ہوتی ہے

● حل: کیریئر پلیٹ کی حیثیت سے ، یہ 1200 ° C ماحول کے تحت مستحکم کام کرتا ہے

● ڈیٹا کا موازنہ: تھرمل اخترتی ایلومینا سے 80 ٪ کم ہے

منظر 2: کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی)

● صارف کے درد کا نقطہ: گیس کی ناہموار تقسیم فلمی معیار کو متاثر کرتی ہے

● حل: غیر محفوظ ڈھانچہ رد عمل گیس کی بازی یکسانیت 95 ٪ تک پہنچ جاتا ہے

● صنعت کا معاملہ: 3D نینڈ فلیش میموری میموری پتلی فلم جمع پر لاگو

منظر 3: خشک اینچنگ کا سامان

● صارف کے درد کا نقطہ: پلازما کٹاؤ ایس ایچ اوRtens جزو کی زندگی

● حل: اینٹی پلازما کی کارکردگی بحالی کے چکر کو 12 ماہ تک بڑھا دیتی ہے

● لاگت کی تاثیر: سامان کے ٹائم ٹائم میں 40 ٪ کمی واقع ہوتی ہے

منظر 4: ویفر صفائی کا نظام

● صارف کے درد کا نقطہ: تیزاب اور الکالی سنکنرن کی وجہ سے حصوں کی بار بار تبدیلی

● حل: HF ایسڈ مزاحمت خدمت کی زندگی 5 سال سے زیادہ تک پہنچ جاتی ہے

● توثیق کا ڈیٹا: طاقت برقرار رکھنے کی شرح> 1000 صفائی کے چکروں کے بعد 90 ٪

iv. روایتی مواد کے مقابلے میں 3 انتخاب کے 3 بڑے فوائد

صنعت کے صارفین کے لئے V. عمومی سوالنامہ

Q1: کیا غیر محفوظ SIC سیرامک ​​پلیٹ گیلیم نائٹریڈ (GAN) ڈیوائس کی تیاری کے لئے موزوں ہے؟

جواب: ہاں ، اس کی اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور اعلی تھرمل چالکتا خاص طور پر GAN Epitaxial نمو کے عمل کے لئے موزوں ہے اور اس کا اطلاق 5G بیس اسٹیشن چپ مینوفیکچرنگ پر کیا گیا ہے۔

Q2: پوروسٹی پیرامیٹر کا انتخاب کیسے کریں؟

جواب: درخواست کے منظر نامے کے مطابق منتخب کریں:

● تقسیم گیسtion: 40 ٪ -50 ٪ کھلی پوروسٹی کی سفارش کی جاتی ہے

● ویکیوم جذب: 60 ٪ -70 ٪ اعلی پوروسٹی کی سفارش کی جاتی ہے

Q3: دوسرے سلیکن کاربائڈ سیرامکس سے کیا فرق ہے؟

جواب: گھنے کے ساتھ موازنہsic سیرامکس، غیر محفوظ ڈھانچے کے مندرجہ ذیل فوائد ہیں:

● 50 ٪ وزن میں کمی

surface مخصوص سطح کے علاقے میں 20 گنا اضافہ

ther 30 ٪ تھرمل تناؤ میں کمی