سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) پرائیوٹ کرسٹل نمو ٹینٹلم کاربائڈ کوٹنگز (ٹی اے سی) کے بغیر کیوں نہیں ہوسکتی ہے؟

جسمانی بخارات کی نقل و حمل (پرائیوٹ) کے طریقہ کار کے ذریعہ سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کے کرسٹل کے بڑھتے ہوئے عمل میں ، 2000-2500 ° C کا انتہائی اعلی درجہ حرارت ایک "دوہری دھاری تلوار" ہے-جب کہ اس نے منبعات کی نفی اور نقل و حمل کو حاصل کیا ہے ، تو یہ تھرمل فیلڈ سسٹم کے اندر موجود تمام مادوں سے بے ہوشی کی رہائی کو بھی تیز کرتا ہے ، خاص طور پر ٹریس الیگلیک کو نشانہ بنایا جاتا ہے ، خاص طور پر ٹریس الیگلیک کو نشانہ بنایا جاتا ہے ، خاص طور پر ٹریس الیگلیک کو نشانہ بنایا جاتا ہے ، خاص کر اجزاء ایک بار جب یہ نجاست نمو انٹرفیس میں داخل ہوجاتی ہے تو ، وہ کرسٹل کے بنیادی معیار کو براہ راست نقصان پہنچائیں گے۔ یہی بنیادی وجہ ہے کہ ٹینٹلم کاربائڈ (ٹی اے سی) کوٹنگز پرائیوٹ کرسٹل نمو کے لئے "اختیاری انتخاب" کے بجائے "لازمی آپشن" بن چکے ہیں۔

1. ٹریس نجاست کے دوہری تباہ کن راستے

سلیکن کاربائڈ کرسٹل میں نجاست کی وجہ سے ہونے والے نقصان کو بنیادی طور پر دو بنیادی جہتوں میں جھلکتا ہے ، جس سے براہ راست کرسٹل پریوست کو متاثر ہوتا ہے۔

• ہلکے عنصر کی نجاست (نائٹروجن این ، بوران بی):اعلی درجہ حرارت کے حالات میں ، وہ آسانی سے ایس آئی سی جالی میں داخل ہوتے ہیں ، کاربن ایٹموں کا متبادل بناتے ہیں ، اور ڈونر توانائی کی سطح تشکیل دیتے ہیں ، جس سے براہ راست کیریئر کی حراستی اور کرسٹل کی مزاحمیت کو تبدیل کیا جاتا ہے۔ تجرباتی نتائج سے پتہ چلتا ہے کہ نائٹروجن ناپاک حراستی میں 1 × 10⁶ سینٹی میٹر کے ہر اضافے کے لئے ، N-TYPE 4H-SIC کی مزاحمتی صلاحیت تقریبا an ایک ترتیب میں کم ہوسکتی ہے ، جس کی وجہ سے حتمی آلہ کے بجلی کے پیرامیٹرز ڈیزائن کے اہداف سے ہٹ جاتے ہیں۔
• دھاتی عنصر کی نجاست (آئرن فی ، نکل نی):ان کا جوہری ریڈی سلیکن اور کاربن ایٹموں سے نمایاں طور پر مختلف ہے۔ ایک بار جالی میں شامل ہونے کے بعد ، وہ مقامی جعلی تناؤ کو راغب کرتے ہیں۔ یہ تناؤ والے علاقے بیسل طیارے کی سندچیوتی (بی پی ڈی ایس) اور اسٹیکنگ فالٹس (ایس ایف ایس) کے لئے نیوکلیشن سائٹس بن جاتے ہیں ، جس سے کرسٹل کی ساختی سالمیت اور ڈیوائس کی وشوسنییتا کو شدید نقصان پہنچتا ہے۔
  
  

2. واضح موازنہ کے لئے ، دو قسم کی نجاست کے اثرات کا خلاصہ اس طرح کیا گیا ہے:

3. ٹینٹلم کاربائڈ کوٹنگز کے تین گنا تحفظ کا طریقہ کار

اس کے ماخذ پر ناپاک آلودگی کو روکنے کے لئے ، کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے ذریعہ گریفائٹ ہاٹ زون کے اجزاء کی سطح پر ٹینٹلم کاربائڈ (ٹی اے سی) کوٹنگ جمع کرنا ایک ثابت اور موثر تکنیکی حل ہے۔ اس کے بنیادی افعال "انسداد اجتماعیت" کے گرد گھومتے ہیں:

اعلی کیمیائی استحکام:پرائیوٹ اعلی درجہ حرارت کے ماحول کے تحت سلیکن پر مبنی بخارات کے ساتھ اہم رد عمل نہیں اٹھاتا ہے ، خود کشی یا نئی نجاستوں کی نسل سے گریز کرتا ہے۔

کم پارگمیتا:ایک گھنے مائکرو اسٹرکچر ایک جسمانی رکاوٹ بنتا ہے ، جو گریفائٹ سبسٹریٹ سے نجاستوں کے ظاہری بازی کو مؤثر طریقے سے روکتا ہے۔

اندرونی اعلی طہارت:کوٹنگ اعلی درجہ حرارت پر مستحکم رہتی ہے اور اس میں بخارات کا دباؤ کم ہوتا ہے ، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ یہ آلودگی کا نیا ذریعہ نہیں بنتا ہے۔

4. کوٹنگ کے لئے بنیادی طہارت کی تفصیلات کی ضروریات

حل کی تاثیر مکمل طور پر کوٹنگ کی اپنی غیر معمولی طہارت پر منحصر ہے ، جس کی واضح طور پر گلو ڈسچارج ماس اسپیکٹومیٹری (جی ڈی ایم ایس) ٹیسٹنگ کے ذریعے تصدیق کی جاسکتی ہے:

5. عملی اطلاق کے نتائج

اعلی معیار کے ٹینٹلم کاربائڈ کوٹنگز کو اپنانے کے بعد ، سلیکن کاربائڈ کرسٹل نمو اور ڈیوائس مینوفیکچرنگ مراحل دونوں میں واضح بہتری دیکھی جاسکتی ہے۔

کرسٹل معیار کی بہتری:بیسل طیارے کی سندچیوتی (بی پی ڈی) کثافت عام طور پر 30 فیصد سے زیادہ کم ہوتی ہے ، اور ویفر مزاحمتی یکسانیت کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

بہتر آلہ وشوسنییتا:اعلی طہارت کے سبسٹریٹس پر تیار کردہ ایس آئی سی موسفٹ جیسے پاور ڈیوائسز خرابی وولٹیج میں مستقل مزاجی کو ظاہر کرتے ہیں اور ابتدائی ناکامی کی شرح کو کم کرتے ہیں۔

اس کی اعلی طہارت اور مستحکم کیمیائی اور جسمانی خصوصیات کے ساتھ ، ٹینٹلم کاربائڈ کوٹنگز پرائیوٹ سے اگنے والے سلیکن کاربائڈ کرسٹل کے لئے قابل اعتماد طہارت کی رکاوٹ بناتے ہیں۔ وہ ہاٹ زون کے اجزاء-ناپاک رہائی کا ایک ممکنہ ذریعہ-کنٹرول غیر فعال حدود میں تبدیل کرتے ہیں ، جو بنیادی کرسٹل مادی معیار کو یقینی بنانے اور اعلی کارکردگی والے سلیکن کاربائڈ ڈیوائسز کی بڑے پیمانے پر پیداوار کی حمایت کرنے کے لئے ایک کلیدی بنیادی ٹیکنالوجی کے طور پر کام کرتے ہیں۔

اگلے مضمون میں ، ہم یہ دریافت کریں گے کہ ٹینٹلم کاربائڈ کوٹنگز تھرمل فیلڈ کو مزید بہتر بناتے ہیں اور تھرموڈینامک نقطہ نظر سے کرسٹل نمو کے معیار کو کس طرح بہتر بناتے ہیں۔ اگر آپ مکمل کوٹنگ طہارت کے معائنہ کے عمل کے بارے میں مزید معلومات حاصل کرنا چاہتے ہیں تو ، ہماری سرکاری ویب سائٹ کے ذریعہ تفصیلی تکنیکی دستاویزات حاصل کی جاسکتی ہیں۔