کوارٹج کشتی کیا ہے؟

کوارٹج بوٹ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہونے والا ایک اہم اثر جزو ہے ، جو بنیادی طور پر ویفرز کی اعلی درجہ حرارت پروسیسنگ کے لئے استعمال ہوتا ہے ، جیسے بازی ، آکسیکرن اور اینیلنگ۔ اس کا عمدہ تھرمل استحکام ، کم آلودگی کی خصوصیات اور سنکنرن مزاحمت اسے سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں ایک ناگزیر مواد بناتی ہے۔ یہ مضمون مواد ، جسمانی خصوصیات ، درجہ بندی ، درخواست کے منظرناموں اور کوارٹج بوٹ اور پی ای سی وی ڈی گریفائٹ بوٹ کے مابین اختلافات پر تفصیل سے بیان کرے گا۔

Ⅰ. کوارٹج کشتی کا مواد

کوارٹج کیریئر کا بنیادی جزو اعلی طہارت سلیکن ڈائی آکسائیڈ (SIO₂) ہے ، اور عام طور پر طہارت کو 99.99 ٪ (سیمی کنڈکٹر گریڈ) سے زیادہ تک پہنچنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ یہ اعلی طہارت کوارٹج مواد اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ کوارٹج کیریئر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران نجاستوں کو متعارف نہیں کرے گا تاکہ ویفر پر دھات کی نجاستوں کی آلودگی کو کم کیا جاسکے۔

تیاری کے عمل کے مطابق ، کوارٹج مواد کو دو قسموں میں تقسیم کیا جاسکتا ہے:

● قدرتی کوارٹج: کرسٹل صاف کرنے سے بنا ہوا ، ایک اعلی ہائیڈروکسل مواد (تقریبا 100-200 پی پی ایم) ، کم لاگت ، لیکن اعلی درجہ حرارت اچانک تبدیلیوں میں کمزور رواداری۔

● مصنوعی کوارٹج: کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) یا الیکٹرو فیوژن کے ذریعہ ترکیب شدہ ، کم ہائیڈروکسل (-او ایچ) مواد (<1 پی پی ایم) ، بہتر تھرمل استحکام ، اور اعلی درجہ حرارت کے عمل کے ل suitable موزوں (جیسے آکسیکرن اور بازی)۔

اس کے علاوہ ، کچھ کوارٹج کشتیاں دھاتوں جیسے ٹائٹینیم (TI) یا ایلومینیم (AL) کے ساتھ ڈوپڈ ہیں تاکہ اخترتی مزاحمت کو بہتر بنایا جاسکے ، یا UV عمل کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے روشنی کی ترسیل کو ایڈجسٹ کیا جاسکے۔

Ⅱ. کوارٹج کشتیوں کی اہم جسمانی خصوصیات کیا ہیں؟

temperature درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت: کوارٹج کا پگھلنے والا نقطہ 1713 ° C تک زیادہ ہے ، اور یہ طویل عرصے تک 1200 ° C پر مستحکم کام کرسکتا ہے اور تھوڑی دیر کے لئے 1500 ° C کا مقابلہ کرسکتا ہے۔

ther کم تھرمل توسیع گتانک: تھرمل توسیع کا گتانک صرف 0.55 × 10⁻⁶/° C ہے۔ یہ عمدہ کارکردگی اعلی درجہ حرارت پر جہتی استحکام کو یقینی بناتی ہے اور تھرمل تناؤ کی وجہ سے کریکنگ سے گریز کرتی ہے۔

● کیمیائی جڑنی: سوائے ہائیڈرو فلورک ایسڈ (HF) اور گرم فاسفورک ایسڈ کے ، کوارٹج مضبوط تیزاب ، مضبوط الکلیس اور سب سے زیادہ سنکنرن گیسوں (جیسے CL₂ ، O₂) کے خلاف مزاحمت کرسکتا ہے۔

● بجلی کی موصلیت: پلازما کے عمل کی برقی فیلڈ تقسیم میں مداخلت سے گریز کرتے ہوئے ، مزاحمیت 10⁶ω · سینٹی میٹر تک زیادہ ہے۔

light روشنی کی ترسیل: الٹرا وایلیٹ میں اورکت بینڈ (＞ 90 ٪) میں عمدہ ترسیل ، جو ہلکے مدد سے چلنے والے عمل (جیسے الٹرا وایلیٹ کیورنگ) کے لئے موزوں ہے۔

iii. کوارٹج کشتیوں کی درجہ بندی

ڈیزائن کے مختلف ڈھانچے اور استعمال کے منظرناموں کے مطابق ، کوارٹج کشتیاں مندرجہ ذیل زمرے میں تقسیم کی جاسکتی ہیں۔

● افقی کوارٹج کشتی

افقی ٹیوب فرنس (افقی بازی بھٹی) پر لاگو ، آکسیکرن ، بازی ، اینیلنگ اور دیگر عمل کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔

خصوصیات: عام طور پر کھلے یا نیم منسلک ڈیزائن کے ساتھ ، 100-200 ویفرز لے جاسکتے ہیں۔

● عمودی کوارٹج کشتی

عمودی بھٹیوں (عمودی فرنس) پر لاگو ، LPCVD عمل ، آکسیکرن اور اینیلنگ کے عمل کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔

خصوصیات: زیادہ کمپیکٹ ڈھانچہ ، ویفر لے جانے کی صلاحیت میں اضافہ کرسکتا ہے ، اور عمل کے دوران ذرہ آلودگی کو کم کرسکتا ہے۔

● اپنی مرضی کے مطابق کوارٹج کشتی

مختلف عمل کی ضروریات کے مطابق ڈیزائن کیا گیا ، سنگل ویفر سپورٹ یا خصوصی کلیمپنگ ڈھانچہ ویفر پروسیسنگ اثرات کو بہتر بنانے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔

چین میں کوارٹج بوٹ تیار کرنے والے اور سپلائر کے طور پر ،ویٹیکسیمن آپ کی اصل ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق کوارٹج کیریئر مصنوعات کو ڈیزائن اور تیار کرسکتا ہے۔ مصنوعات کی مزید تفصیلات کے ل please ، براہ کرم دیکھیں:

iv. سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں کوارٹج کشتی کے اطلاق کے منظرنامے کیا ہیں؟

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے بہت سے کلیدی عمل کے لنکس میں کوارٹج کشتیاں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں ، بنیادی طور پر مندرجہ ذیل درخواست کے منظرنامے بھی شامل ہیں۔

4.1 تھرمل آکسیکرن

● عمل کی تفصیل: سلیکن ڈائی آکسائیڈ (SIO₂) فلم بنانے کے لئے ویفر کو اعلی درجہ حرارت آکسیجن یا پانی کے بخارات کے ماحول میں گرم کیا جاتا ہے۔

orat کوارٹج بوٹ کی خصوصیات:

1) گرمی کی اعلی مزاحمت ، 1000 ~ 1200 ° C کے اعلی درجہ حرارت کا مقابلہ کرسکتی ہے۔

2) کیمیائی جڑنی ، کوارٹج کشتیاں مضبوط تیزاب ، مضبوط الکلیس اور سب سے زیادہ سنکنرن گیسوں کے خلاف مزاحم ہیں ، لہذا یہ آکسائڈ فلم کے معیار کو متاثر کرنے سے بچ سکتی ہے۔

4.2 بازی کا عمل

● عمل کی تفصیل: ڈوپنگ پرت کی تشکیل کے ل high اعلی درجہ حرارت کے حالات میں نجاست (جیسے فاسفورس اور بورن) سلیکن ویفر میں پھیلا ہوا ہے۔

● کوارٹج کشتی کی خصوصیات:

1) کم آلودگی ، دھات کی آلودگی کو ڈوپنگ حراستی کی تقسیم کو متاثر کرنے سے روکنا۔

2) اعلی تھرمل استحکام ، جس میں صرف 0.55 × 10⁻⁶/° C کے تھرمل توسیع گتانک کے ساتھ ، یکساں بازی کے عمل کو یقینی بناتا ہے۔

4.3 اینیلنگ کا عمل

● عمل کی تفصیل: اعلی درجہ حرارت کا علاج تناؤ کو دور کرنے ، مادی کرسٹل ڈھانچے کو بہتر بنانے ، یا آئن امپلانٹیشن پرت کو چالو کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔

● کوارٹج کشتی کی خصوصیات:

1) پگھلنے والے مقام کے ساتھ 1713 ° C تک ، یہ تھرمل تناؤ کی وجہ سے کریکنگ سے بچنے کے لئے تیزی سے حرارتی اور ٹھنڈک کا مقابلہ کرسکتا ہے۔

2) یکساں حرارتی نظام کو یقینی بنانے کے لئے عین مطابق سائز کا کنٹرول۔

4.4 کم پریشر کیمیائی بخارات جمع (LPCVD)

process عمل کی تفصیل: کم دباؤ والے ماحول میں ، ایک یکساں پتلی فلم جیسے سلیکن نائٹریڈ (سیئنی) گیس کے مرحلے کے رد عمل کے ذریعہ تشکیل پاتی ہے۔

orat کوارٹج بوٹ کی خصوصیات:

1) عمودی فرنس ٹیوبوں کے لئے موزوں ، فلم جمع کرنے کی یکسانیت کو بہتر بنا سکتا ہے۔

2) کم ذرہ آلودگی ، فلم کے معیار کو بہتر بنائیں۔

Ⅴ. کوارٹج بوٹ اور پی ای سی وی ڈی گریفائٹ بوٹ کے مابین کیا اختلافات ہیں؟

عام فرق کے منظرنامے:

● PECVD عمل: گریفائٹ کشتیاں ان کی چالکتا کی وجہ سے پلازما کی یکسانیت کو بہتر بنا سکتی ہیں ، اور کم درجہ حرارت کے ماحول (300-400 ° C) میں کوارٹج کی اعلی درجہ حرارت کی کارکردگی کی ضرورت نہیں ہوتی ہے۔

temperature اعلی درجہ حرارت آکسیکرن فرنس: ویٹیکسیمن کوارٹج کشتیاں ان کے اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت کے ل in ناقابل تلافی ہیں ، جبکہ آکسیجن ماحول میں اعلی درجہ حرارت پر CO/CO₂ پیدا کرنے کے لئے گریفائٹ آسانی سے آکسائڈائزڈ ہوجاتے ہیں ، جو چیمبر کو آلودہ کرتا ہے۔