ٹھوس سلیکن کاربائڈ کے استعمال

ٹھوس سلیکن کاربائڈ ایس آئی سی سلیکن (ایس آئی) اور کاربن (سی) پر مشتمل ایک جدید سیرامک ​​مواد ہے۔ یہ فطرت میں وسیع پیمانے پر پائے جانے والا مادہ نہیں ہے اور عام طور پر اعلی درجہ حرارت کی ترکیب کی ضرورت ہوتی ہے۔ جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کا اس کا انوکھا امتزاج اسے ایک اہم مواد بناتا ہے جو انتہائی ماحول میں خاص طور پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتا ہے۔

Ⅰ. ٹھوس سلیکن کاربائڈ (ٹھوس sic) کی کلیدی جسمانی خصوصیات

▶ اعلی سختی اور پہننے کے خلاف مزاحمت:

ایس آئی سی کے پاس تقریبا 9-9.5 کی محت کی سختی ہے ، جو ہیرے کے بعد دوسرے نمبر پر ہے۔ اس سے یہ عمدہ سکریچ اور پہننے کے خلاف مزاحمت ملتی ہے ، اور یہ ایسے ماحول میں اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتا ہے جس کو مکینیکل تناؤ یا ذرہ کٹاؤ کا مقابلہ کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔

اعلی درجہ حرارت کی بہترین طاقت اور استحکام

1. ایس آئی سی انتہائی اعلی درجہ حرارت پر اپنی مکینیکل طاقت اور ساختی سالمیت کو برقرار رکھ سکتا ہے (قسم اور طہارت کے لحاظ سے ، 1600 ° C یا اس سے بھی زیادہ درجہ حرارت پر کام کرتا ہے)۔

2. تھرمل توسیع کے اس کے کم گتانک کا مطلب یہ ہے کہ اس میں اچھ timention ہ جہتی استحکام ہے اور جب درجہ حرارت میں تیزی سے تبدیلی آتی ہے تو اس میں خرابی یا کریکنگ کا خطرہ نہیں ہوتا ہے۔

ther اعلی تھرمل چالکتا:

بہت سے دوسرے سیرامک ​​مواد کے برعکس ، ایس آئی سی میں نسبتا high زیادہ تھرمل چالکتا ہے۔ اس سے گرمی کو موثر انداز میں چلانے اور ختم کرنے کی اجازت ملتی ہے ، جو ان ایپلی کیشنز کے لئے اہم ہے جس میں درجہ حرارت پر عین مطابق کنٹرول اور یکسانیت کی ضرورت ہوتی ہے۔

اعلی کیمیائی جڑنی اور سنکنرن مزاحمت:

ایس آئی سی زیادہ تر مضبوط تیزاب ، مضبوط اڈوں ، اور سنکنرن گیسوں کے لئے انتہائی مضبوط مزاحمت کی نمائش کرتا ہے جو عام طور پر سیمیکمڈکٹر کے عمل میں استعمال ہوتا ہے (جیسے پلازما ماحول میں فلورین پر مبنی اور کلورین پر مبنی گیسیں) ، یہاں تک کہ اعلی درجہ حرارت پر بھی۔ یہ عمل چیمبر کے اجزاء کو خراب یا آلودہ ہونے سے روکنے کے لئے بہت ضروری ہے۔

tive اعلی طہارت کا امکان:

انتہائی اعلی طہارت SIC کوٹنگز یا ٹھوس SIC حصوں کو مخصوص مینوفیکچرنگ کے عمل (جیسے کیمیائی بخارات جمع - سی وی ڈی) کے ذریعے تیار کیا جاسکتا ہے۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، مادی طہارت براہ راست ویفر کی آلودگی کی سطح اور حتمی مصنوع کی پیداوار کو متاثر کرتی ہے۔

▶ اعلی سختی (ینگ کا ماڈیولس):

ایس آئی سی کے پاس ایک اعلی ینگ کا ماڈیولس ہے ، جس کا مطلب ہے کہ بوجھ کے نیچے خراب ہونا بہت مشکل اور آسان نہیں ہے۔ یہ ان اجزاء کے لئے بہت اہم ہے جن کو عین مطابق شکل اور سائز (جیسے ویفر کیریئرز) برقرار رکھنے کی ضرورت ہے۔

▶ ٹیون ایبل بجلی کی خصوصیات:

اگرچہ یہ اکثر انسولیٹر یا سیمیکمڈکٹر (اس کی کرسٹل شکل اور ڈوپنگ پر منحصر ہے) کے طور پر استعمال ہوتا ہے ، لیکن اس کی اعلی مزاحمیت کچھ جزو کی ایپلی کیشنز میں پلازما کے طرز عمل کو سنبھالنے یا غیر ضروری آرک خارج ہونے سے بچنے میں مدد کرتی ہے۔

Ⅱ. سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ٹھوس سلیکن کاربائڈ (ٹھوس ایس آئی سی) تیار مصنوعات کے مخصوص ایپلی کیشنز اور فوائد

مذکورہ جسمانی خصوصیات کی بنیاد پر ، ٹھوس ایس آئی سی مختلف صحت سے متعلق اجزاء میں تیار کیا جاتا ہے اور سیمیکمڈکٹر فرنٹ اینڈ پروسیس کے متعدد کلیدی روابط میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔

1) ٹھوس sic ویفر کیریئر (ٹھوس sic ویفر کیریئر / کشتی):

درخواست:

اعلی درجہ حرارت کے عمل میں سلیکن ویفروں کو لے جانے اور منتقل کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے (جیسے بازی ، آکسیکرن ، ایل پی سی وی ڈی-کم دباؤ کیمیائی بخارات جمع)۔

فوائد کا تجزیہ:

1. درجہ حرارت کا اعلی استحکام: 1000 ° C سے زیادہ عمل کے درجہ حرارت پر ، SIC کیریئر کوارٹج کی طرح آسانی سے نرم ، خراب یا sag نہیں کریں گے ، اور عمل کی یکسانیت کو یقینی بنانے کے ل wea درست طریقے سے ویفر وقفے کو برقرار رکھ سکتے ہیں۔

2. لمبی زندگی اور کم ذرہ نسل: کوارٹج سے کہیں زیادہ ایس آئی سی کی سختی اور لباس مزاحمت سے کہیں زیادہ ہے ، اور ویفروں کو آلودہ کرنے کے لئے چھوٹے ذرات تیار کرنا آسان نہیں ہے۔ اس کی خدمت کی زندگی عام طور پر کوارٹج کیریئر سے کئی بار یا اس سے بھی درجنوں بار ہوتی ہے ، جس سے متبادل تعدد اور بحالی کے اخراجات کم ہوتے ہیں۔

3. کیمیائی جڑنی: یہ عمل کے ماحول میں کیمیائی کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کرسکتا ہے اور اپنے مواد کی بارش کی وجہ سے ویفر کی آلودگی کو کم کرسکتا ہے۔

4. تھرمل چالکتا: اچھی تھرمل چالکتا کیریئر اور ویفرز کی تیز رفتار اور یکساں حرارتی اور ٹھنڈک کے حصول میں مدد کرتی ہے ، جس سے عمل کی کارکردگی اور درجہ حرارت کی یکسانیت میں بہتری آتی ہے۔

5. اعلی طہارت: ناپاک کنٹرول کے ل advanced اعلی درجے کی نوڈس کی سخت ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اعلی طہارت SIC کیریئر تیار کیا جاسکتا ہے۔

صارف کی قیمت:

عمل کے استحکام کو بہتر بنائیں ، مصنوعات کی پیداوار میں اضافہ کریں ، جزو کی ناکامی یا آلودگی کی وجہ سے ٹائم ٹائم کو کم کریں ، اور طویل عرصے میں ملکیت کی مجموعی لاگت کو کم کریں۔

2) ٹھوس sic ڈسک کے سائز / گیس شاور ہیڈ:

درخواست:

سامان کے رد عمل چیمبر کے اوپری حصے پر نصب کیا گیا جیسے پلازما اینچنگ ، ​​کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) ، ایٹم پرت جمع (ALD) ، وغیرہ ، جو نیچے کی سطح پر یکساں طور پر عمل گیسوں کو تقسیم کرنے کے لئے ذمہ دار ہے۔

فائدہ تجزیہ:

1. پلازما رواداری: ایک اعلی توانائی ، کیمیائی طور پر فعال پلازما ماحول میں ، ایس آئی سی شاور ہیڈ پلازما بمباری اور کیمیائی سنکنرن کے لئے انتہائی مضبوط مزاحمت کا مظاہرہ کرتا ہے ، جو کوارٹج یا ایلومینا سے کہیں زیادہ اعلی ہے۔

2. یکسانیت اور استحکام: صحت سے متعلق -چینڈ سکس شاور ہیڈ اس بات کو یقینی بنا سکتا ہے کہ گیس کے بہاؤ کو پوری ویفر سطح میں یکساں طور پر تقسیم کیا گیا ہے ، جو فلم کی موٹائی ، مرکب یکسانیت ، یا اینچنگ ریٹ کی یکسانیت کے لئے اہم ہے۔ اس میں طویل مدتی استحکام اچھا ہے اور اس کی خرابی یا بند کرنا آسان نہیں ہے۔

3. تھرمل مینجمنٹ: اچھی تھرمل چالکتا شاور ہیڈ کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت کو برقرار رکھنے میں مدد کرتی ہے ، جو گرمی سے متعلق حساس جمع کرنے یا اینچنگ کے بہت سے عمل کے لئے اہم ہے۔

4. کم آلودگی: اعلی طہارت اور کیمیائی جڑنی اس عمل سے شاور ہیڈ کے اپنے مواد کی آلودگی کو کم کرتی ہے۔

صارف کی قیمت:

عمل کے نتائج کی یکسانیت اور اعادہ ہونے کو نمایاں طور پر بہتر بنائیں ، شاور ہیڈ کی خدمت زندگی کو بڑھا دیں ، بحالی کے اوقات اور ذرہ کی پریشانیوں کو کم کریں ، اور زیادہ جدید اور زیادہ سخت عمل کی شرائط کی حمایت کریں۔

3) ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ (ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ / ایج رنگ):

درخواست:

بنیادی طور پر پلازما اینچنگ آلات کے چیمبر میں استعمال ہوتا ہے (جیسے کی اہلیت سے جوڑا پلازما سی سی پی یا inductively جوڑا پلازما آئی سی پی ایچر) ، عام طور پر ویفر کیریئر (چک) کے کنارے پر رکھا جاتا ہے ، جس میں ویفر کے آس پاس ہوتا ہے۔ اس کا کام پلازما کو محدود اور رہنمائی کرنا ہے تاکہ یہ چیمبر کے دوسرے اجزاء کی حفاظت کرتے ہوئے ویفر سطح پر زیادہ یکساں طور پر کام کرے۔

فائدہ تجزیہ:

1. پلازما کٹاؤ کے لئے سخت مزاحمت: یہ ایس آئی سی فوکسنگ رنگ کا سب سے نمایاں فائدہ ہے۔ انتہائی جارحانہ اینچنگ پلازما میں (جیسے فلورین- یا کلورین پر مشتمل کیمیکلز) میں ، ایس آئی سی کوارٹج ، ایلومینا ، یا یہاں تک کہ یٹریا (یٹریئم آکسائڈ) سے کہیں زیادہ آہستہ پہنتا ہے ، اور اس کی زندگی انتہائی لمبی ہے۔

2. تنقیدی جہتوں کو برقرار رکھنا: اعلی سختی اور اعلی سختی سی آئی سی کی توجہ مرکوز کرنے والی انگوٹھیوں کو استعمال کے طویل عرصے تک اپنی عین مطابق شکل اور سائز کو بہتر طور پر برقرار رکھنے کی اجازت دیتی ہے ، جو پلازما مورفولوجی کو مستحکم کرنے اور اینچنگ یکسانیت کو یقینی بنانے کے لئے اہم ہے۔

3. کم ذرہ نسل: اس کے لباس کی مزاحمت کی وجہ سے ، یہ جزو کی عمر بڑھنے کے ذریعہ پیدا ہونے والے ذرات کو بہت کم کرتا ہے ، اس طرح پیداوار میں بہتری آتی ہے۔

4. اعلی طہارت: دھات یا دیگر نجاست کے تعارف سے پرہیز کریں۔

صارف کی قیمت:

جزو کی تبدیلی کے چکروں میں بہت حد تک توسیع کریں ، بحالی کے اخراجات اور سامان کے ٹائم ٹائم کو نمایاں طور پر کم کریں۔ اینچنگ کے عمل کی استحکام اور تکرار کو بہتر بنائیں۔ نقائص کو کم کریں اور اعلی کے آخر میں چپ مینوفیکچرنگ کی پیداوار کو بہتر بنائیں۔

ⅲ.خلاصہ

ٹھوس سلیکن کاربائڈ جسمانی خصوصیات کے انوکھے امتزاج کی وجہ سے جدید سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ناگزیر کلیدی مواد میں سے ایک بن گیا ہے۔ چاہے یہ ویفرز لے جانے کا ایک کیریئر ہو ، گیس کی تقسیم کو کنٹرول کرنے کے لئے شاور ہیڈ ، یا پلازما کی رہنمائی کے لئے ایک فوکسنگ رنگ ، ٹھوس ایس آئی سی مصنوعات چپ مینوفیکچررز کو ان کی عمدہ کارکردگی اور وشوسنییتا کے ساتھ تیزی سے سخت عمل کے چیلنجوں کا مقابلہ کرنے میں مدد کرتے ہیں ، پیداوار کی کارکردگی اور مصنوعات کی پیداوار کو بہتر بناتے ہیں ، اور اس طرح پوری سیمک کنڈکٹر صنعت کی پائیدار ترقی کو فروغ دیتے ہیں۔

چین میں ٹھوس سلیکن کاربائڈ مصنوعات کے ایک معروف صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ،سیمیکنکی مصنوعات جیسےٹھوس sic ویفر کیریئر / کشتی, ٹھوس sic ڈسک کے سائز کا / گیس شاور سر, ٹھوس sic اینچنگ فوکسنگ رنگ / کنارے کی انگوٹھییورپ اور امریکہ میں بڑے پیمانے پر فروخت ہوتے ہیں ، اور ان صارفین کی طرف سے اعلی تعریف اور پہچان جیت چکے ہیں۔ ہم مخلصانہ طور پر چین میں آپ کا طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔ مشورہ کرنے میں خوش آمدید۔

موبی/واٹس ایپ: +86-180 6922 0752

ای میل: any@veteksemi.com