مصنوعات

اگر آپ نے کبھی بھی ڈپوزیشن چیمبر میں گیس کے ناہموار بہاؤ یا ذرات کی آلودگی سے نمٹا ہے، تو VETEK CVD SiC Coated Graphite شاور ہیڈ اس کو حل کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ تھرمل استحکام اور آسان مشینی کے لیے اعلی پاکیزگی کے آئیسوسٹیٹک گریفائٹ سے شروع ہوتا ہے، پھر ایک گھنی CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ حاصل کرتا ہے جو سطح کو سیل کر دیتا ہے، سنکنار گیسوں (جیسے HCl یا NF₃) کے خلاف مزاحمت کرتا ہے، اور گیس کو باہر جانے سے روکتا ہے۔ نتیجہ ایک گیس ڈسٹری بیوشن پلیٹ ہے جو پورے ویفر میں یکساں بہاؤ فراہم کرتی ہے، اعلی درجہ حرارت کے ایپیٹاکسی کو سنبھالتی ہے، اور ننگے گریفائٹ یا کوارٹز سے کہیں زیادہ دیر تک چلتی ہے – جو اسے CVD، PECVD، MOCVD، سلکان ایپیٹیکسی، اور SiC ایپیٹیکسی عمل کے لیے ایک قابل اعتماد جزو بناتی ہے۔ ہم حسب ضرورت سوراخ کے پیٹرن اور سائز بھی پیش کرتے ہیں، کیونکہ کوئی بھی دو ری ایکٹر بالکل ایک جیسے نہیں ہوتے۔

VeTek Semiconductor High Purity Silicon Carbide (SiC) پاؤڈر خاص طور پر SiC کرسٹل گروتھ، سیمی کنڈکٹر میٹریل، اور جدید سیرامک ​​ایپلی کیشنز کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ جدید پیوریفیکیشن ٹیکنالوجی اور سخت کوالٹی کنٹرول کے ذریعے، ہمارا SiC پاؤڈر انتہائی کم ناپاک سطح، مستحکم پارٹیکل ڈسٹری بیوشن، اور مینوفیکچرنگ کے عمل کی مانگ کے لیے بہترین مستقل مزاجی پیش کرتا ہے۔

SiC PVT کرسٹل گروتھ سیٹ اپ میں، گریفائٹ کے پرزے بہت زیادہ درجہ حرارت پر طویل عرصے تک چلائے جاتے ہیں۔ VeTek کی PyC لیپت گریفائٹ کی انگوٹھی اس قسم کی ڈیوٹی کے لیے بنائی گئی ہے۔ ایک پائرولٹک کاربن کی تہہ CVD کے ذریعے اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ پر جمع ہو جاتی ہے۔ اس سے اس حصے کو بہتر سطح کا استحکام ملتا ہے اور آپریشن کے دوران کم ذرات نکلتے ہیں۔ آپ اسے عام طور پر تھرمل فیلڈ ایریا میں ڈالتے ہیں تاکہ بخارات کے بہاؤ کو منظم کرنے اور بھٹی کے اندر گرمی کیسے پھیلتی ہے۔ جب چیزیں 2200 ° C سے اوپر جاتی ہیں تو کوٹنگ گریفائٹ کی سربلندی کو بھی سست کر دیتی ہے، جس سے پورا جز زیادہ دیر تک چلتا ہے۔

ویفر ٹریکنگ زون کو گھیرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا، سالڈ SiC فوکس رِنگ لکیری پلازما کی تقسیم اور عین مطابق کنارے سے درمیان تک اینچ پروفائلز کو یقینی بناتا ہے۔ یہ پریمیم β-SiC اجزاء Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) کے ذریعے بنائے گئے ہیں۔ خام مال کو ایک گھنے، بائنڈر لیس میٹرکس میں بخارات بنا کر، Vetek پرانے مواد میں عام غیر محفوظ مائکرو خلاء کو ختم کرتا ہے۔ معیاری کوارٹز یا سلیکون شیلڈنگ کے مقابلے میں، ہمارے CVD SiC پرزے سنکنرن ہالوجن گیسوں کے مقابلے میں بہت بہتر کھڑے ہیں، گہری ذیلی 7nm منطق اور گھنے میموری چپ مینوفیکچرنگ میں ویفر کو بچاتے ہیں۔ آپ کی مزید انکوائری کا انتظار ہے۔

VeTek سے یہ AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin اعلی پیوریٹی گریفائٹ سے شروع ہوتا ہے، پھر ہم اوپر ایک گھنے CVD SiC کوٹنگ شامل کرتے ہیں۔ یہ 300mm ایپیٹیکسی سسٹمز اور اپلائیڈ میٹریل EPI ری ایکٹرز کے لیے بنایا گیا ہے۔ گریفائٹ اور SiC کیوں؟ گریفائٹ گرمی کو اچھی طرح سے ہینڈل کرتا ہے۔ SiC پرت سنکنرن گیسیں لیتی ہے اور تیزی سے ختم نہیں ہوتی۔ پتلی دیوار ڈیزائن؟ یہ کلینر ویفر لفٹنگ اور پوزیشننگ، کم ذرات، اور اعلی درجہ حرارت میں طویل حصے کی زندگی کے لیے ہے۔ ہم ASM، Aixtron، اور LPE سسٹمز کے لیے اسی طرح کے SiC کوٹڈ گریفائٹ حصے بھی بناتے ہیں۔ آپ کی انکوائری کے منتظر

ویٹیک سیمی کنڈکٹر VEECO MOCVD سسٹمز کے لیے ویفر کیرئیر بناتا ہے، خاص طور پر ایل ای ڈی ایپیٹیکسی کام جیسے GaN LEDs، نیلے سبز LEDs، اور گہری UV LED گروتھ کے لیے بنایا گیا ہے۔ یہ کیریئرز اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ سے شروع ہوتے ہیں اور ایک گھنے CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ حاصل کرتے ہیں۔ یہ مرکب اعلی درجہ حرارت کے تحت آپ کو MOCVD میں نظر آتا ہے - اچھی تھرمل استحکام، سنکنرن مزاحمت، اور کوٹنگ دیر تک رہتی ہے۔