کوارٹج گیس کی تقسیم کی پلیٹ

کوارٹج گیس کی تقسیم کی پلیٹیں ، جسے کوارٹج شاور ہیڈس بھی کہا جاتا ہے ، سیمیکمڈکٹر تانے بانے میں اہم اجزاء ہیں۔ غیر معمولی طہارت ، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت ، اور کوارٹج کی سنکنرن مزاحمت کا فائدہ اٹھاتے ہوئے ، یہ پلیٹیں ویفر سطح پر عمل گیسوں کے یکساں اور مستحکم بہاؤ کو یقینی بناتی ہیں۔ یہ عین مطابق ترسیل جمع شدہ فلموں یا کھڑی خصوصیات کے معیار اور یکسانیت کو برقرار رکھنے کے لئے ضروری ہے۔

اعلی طہارت فیوز کوارٹج کی کلیدی خصوصیات

● مواد: 99.99 ٪ اعلی طہارت فیوز کوارٹج

temperature درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت: درجہ حرارت 1000 ℃ سے اوپر کا مقابلہ کرتا ہے

● سنکنرن مزاحمت: عمل گیسوں اور پلازما ماحول کے خلاف عمدہ استحکام

● صحت سے متعلق گیس کا بہاؤ: زیادہ سے زیادہ گیس کی فراہمی اور جمع یکسانیت کے لئے یکساں مائکرو ہول کی تقسیم

● حسب ضرورت ڈیزائن: سائز ، سوراخ کا نمونہ ، اور بڑھتے ہوئے خصوصیات کو مخصوص آلات کے ماڈلز کے لئے تیار کیا جاسکتا ہے

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں بنیادی کردار

1. جسمانی بخارات جمع (پی وی ڈی) اور کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی)

کردار: پی وی ڈی اور سی وی ڈی کے عمل میں ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ ایک مطلوبہ پتلی فلم بنانے کے ل the ویفر پر ری ایکٹیو گیسوں (جیسے ، سیلین ، امونیا ، آکسیجن) یا پیشگیوں کی ہدایت کرتی ہے۔

مخصوص استعمال:

● یکسانیت کا کنٹرول: پلیٹ کے عین مطابق انجنیئر مائکرو ہول اس بات کو یقینی بناتے ہیں کہ گیس کے بہاؤ اور حراستی پوری ویفر سطح پر یکساں ہیں۔ مستقل موٹائی اور کارکردگی کے ساتھ فلموں کو جمع کرنے کے لئے یہ بہت ضروری ہے۔

● آلودگی کی روک تھام: کوارٹج کی اعلی طہارت پلیٹ کو عمل گیسوں کے ساتھ رد عمل ظاہر کرنے یا نجاست کو جاری کرنے سے روکتی ہے۔ یہ فلم کی پاکیزگی کو برقرار رکھتا ہے اور ویفر سطح پر نقائص کو روکتا ہے۔

2. پلازما سے بہتر کیمیائی بخارات جمع (PECVD)

کردار: پی ای سی وی ڈی میں ، کوارٹج شاور ہیڈ نہ صرف رد عمل گیس فراہم کرتا ہے بلکہ پلازما نسل کے لئے الیکٹروڈ کے طور پر بھی کام کرتا ہے۔

مخصوص استعمال:

● پلازما اگنیشن: شاور ہیڈ عام طور پر پلازما پیدا کرنے کے لئے ریڈیو فریکوینسی (آر ایف) پاور سورس سے منسلک ہوتا ہے۔ پلازما کے اندر اعلی توانائی کے ذرات گیسیئس ری ایکٹنٹس کے گلنے کو فروغ دیتے ہیں ، جس سے کم درجہ حرارت پر فلم جمع کرنے کو قابل بناتا ہے۔

timal تھرمل استحکام: کوارٹج بہترین تھرمل استحکام کی نمائش کرتا ہے ، جس کی وجہ سے یہ اعلی درجہ حرارت پلازما ماحول کا مقابلہ کرنے کی اجازت دیتا ہے۔ اس سے فلمی معیار اور مستقل مزاجی کو مزید یقینی بنانے کے لئے عمل چیمبر کے اندر یکساں درجہ حرارت برقرار رکھنے میں مدد ملتی ہے۔

3. خشک اینچنگ

کردار: خشک اینچنگ میں ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ نے اینچ چیمبر میں رد عمل کی اینچنگ گیسوں (جیسے ، فلوروکاربن ، کلورین) کو متعارف کرایا ہے۔

مخصوص استعمال:

چ یکسانیت: پلیٹ اتچ گیسوں کی یکساں بہاؤ اور حراستی کو یقینی بناتی ہے ، جو پورے ویفر میں مستقل طور پر اتچ گہرائی اور پروفائل کی ضمانت دیتا ہے۔ جدید سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے درکار عین مطابق نمونوں کے حصول کے لئے یہ بہت ضروری ہے۔

● سنکنرن مزاحمت: Etch گیسوں کی مضبوط سنکنرن خصوصیات کو پائیدار مواد کی ضرورت ہوتی ہے۔ کوارٹج کی اعلی سنکنرن مزاحمت شاور ہیڈ کی عمر میں توسیع کرتی ہے اور عمل میں رکاوٹوں کے خطرے کو کم کرتی ہے۔

4. ویفر کی صفائی

کردار: مخصوص ویفر صفائی کے عملوں میں ، کوارٹج گیس کی تقسیم کی پلیٹ صاف گیسوں (جیسے اوزون ، امونیا) کو یکساں طور پر باقیات یا آلودگیوں کو دور کرنے کے لئے ویفر سطح تک فراہم کرنے کے لئے استعمال کی جاتی ہے۔

مخصوص استعمال:

cleanting مستقل صفائی: پلیٹ یقینی بناتی ہے کہ گیسوں کی صفائی کے ہر حصے تک پہنچ جاتا ہے ، جس سے صفائی کے ایک مکمل اور یکساں عمل کو قابل بناتا ہے۔

● کیمیائی مطابقت: صفائی کے کیمیکلز کی ایک وسیع رینج کے ساتھ کوارٹج کی مطابقت رد عمل کو روکتی ہے اور صفائی کے عمل کی پاکیزگی اور تاثیر کو برقرار رکھتی ہے۔