سیمیکمڈکٹر آلات میں کوارٹج اجزاء کا اطلاق

کوارٹج مصنوعاتسیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ان کی اعلی طہارت ، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت ، اور مضبوط کیمیائی استحکام کی وجہ سے بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔

1. کوارٹز مصلوب

ایپلی کیشن - یہ مونوکریسٹل لائن سلیکن سلاخوں کو ڈرائنگ کے لئے استعمال کیا جاتا ہے اور یہ سلیکن ویفر مینوفیکچرنگ میں ایک بنیادی قابل استعمال ہے۔

کوارٹج مصلوبدھات کی نجاستوں سے آلودگی کو کم کرنے کے لئے اعلی طہارت کوارٹج ریت (4N8 گریڈ اور اس سے اوپر) سے بنے ہیں۔ اس میں اعلی درجہ حرارت استحکام (پگھلنے کا نقطہ> 1700 ° C) اور تھرمل توسیع کا کم گتانک ہونا چاہئے۔ سیمیکمڈکٹر فیلڈ میں کوارٹج مصلوب بنیادی طور پر سلیکن سنگل کرسٹل کی تیاری کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔ وہ پولی کرسٹل لائن سلیکن خام مال کو لوڈ کرنے کے لئے قابل استعمال کوارٹج کنٹینر ہیں اور اسے مربع اور گول اقسام میں تقسیم کیا جاسکتا ہے۔ مربع والے پولی کرسٹل سلیکن انگوٹس کی کاسٹنگ کے لئے استعمال ہوتے ہیں ، جبکہ گول والے مونوکریسٹل لائن سلیکن سلاخوں کی ڈرائنگ کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔ یہ اعلی درجہ حرارت کا مقابلہ کرسکتا ہے اور کیمیائی استحکام کو برقرار رکھ سکتا ہے ، سلیکن سنگل کرسٹل کی پاکیزگی اور معیار کو یقینی بناتا ہے۔

2. کوارٹج فرنس ٹیوبیں

کوارٹج ٹیوبیںسیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں ان کی خصوصیات جیسے اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت (طویل مدتی آپریٹنگ درجہ حرارت 1100 ° C سے زیادہ تک پہنچ سکتا ہے) ، کیمیائی سنکنرن مزاحمت (ہائیڈرو فلورک ایسڈ جیسے چند ریجنٹس کے علاوہ مستحکم) ، اعلی طہارت کا مواد پی پی ایم یا اس سے بھی زیادہ روشنی کی سطح کی طرح کم ہوسکتا ہے) کی وجہ سے بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔ بنیادی منظرنامے ویفر مینوفیکچرنگ کے متعدد کلیدی عمل کے لنکس میں مرکوز ہیں۔

اہم درخواست کے لنکس:بازی ، آکسیکرن ، سی وی ڈی (کیمیائی بخارات جمع)

مقصد:

• بازی ٹیوب: اعلی درجہ حرارت بازی کے عمل میں استعمال ہوتا ہے ، اس میں ڈوپنگ کے لئے سلیکن ویفرز ہوتے ہیں۔
• فرنس ٹیوب: اعلی درجہ حرارت آکسیکرن کے علاج کے لئے آکسیکرن فرنس میں کوارٹج کشتیوں کی حمایت کرتا ہے۔

خصوصیات ：

اس کو اعلی طہارت (دھات آئن ≤1ppm) اور اعلی درجہ حرارت کی اخترتی مزاحمت (1200 ° C سے اوپر) کی ضروریات کو پورا کرنا چاہئے۔

3. کوارٹج کرسٹل بوٹ

مختلف آلات پر منحصر ہے ، اسے عمودی اور افقی اقسام میں تقسیم کیا گیا ہے۔ مختلف FAB پروڈکشن لائنوں پر منحصر ہے ، سائز کی حد 4 سے 12 انچ ہے۔ سیمیکمڈکٹر آئی سی ایس کی تیاری میں ،کوارٹج کرسٹل کشتیاںبنیادی طور پر ویفر ٹرانسفر ، صفائی اور پروسیسنگ کے عمل میں استعمال ہوتے ہیں۔ اعلی طہارت اور اعلی درجہ حرارت سے بچنے والے ویفر کیریئر کی حیثیت سے ، وہ ایک ناگزیر کردار ادا کرتے ہیں۔ فرنس ٹیوب کے بازی یا آکسیکرن کے عمل میں ، کوارٹج کرسٹل کشتیوں پر ایک سے زیادہ ویفر رکھے جاتے ہیں اور پھر بیچ مینوفیکچرنگ کے لئے فرنس ٹیوب میں دھکیل دیا جاتا ہے۔

سیمیکمڈکٹرز میں انجیکٹر بنیادی طور پر گیس یا مائع مواد کی نقل و حمل کے لئے استعمال ہوتے ہیں اور متعدد کلیدی عمل کے لنکس جیسے پتلی فلم جمع ، اینچنگ ، ​​اور ڈوپنگ میں اس کا اطلاق ہوتا ہے۔

سلیکن ٹرانجسٹر اور انٹیگریٹڈ سرکٹ کی تیاری کے صفائی کے عمل میں ، اس کا استعمال سلیکن ویفرز کو لے جانے کے لئے کیا جاتا ہے اور اس بات کو یقینی بنانے کے لئے تیزاب اور الکالی مزاحم ہونے کی ضرورت ہے کہ صفائی کے عمل کے دوران سلیکن ویفر آلودہ نہ ہوں۔

6. کوارٹج فلنگس ، کوارٹج کی انگوٹھی ، فوکسنگ انگوٹھی وغیرہ

یہ سیمیکمڈکٹر اینچنگ کے عمل میں استعمال ہوتا ہے ، گہا کے مہر بند تحفظ کو حاصل کرنے کے لئے دیگر کوارٹج مصنوعات کے ساتھ مل کر ، ویفر کو قریب سے ، اینچنگ مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران مختلف قسم کے آلودگی کو روکتا ہے ، اور حفاظتی کردار ادا کرتا ہے۔

کوارٹج بیل جارسیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں عام طور پر استعمال ہونے والے کلیدی اجزاء ہیں ، جس میں اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت ، سنکنرن مزاحمت ، اور اعلی روشنی کی ترسیل کی خاصیت ہے۔ پولیسیلیکن میں کمی فرنس کا احاطہ: کوارٹج بیل کا احاطہ بنیادی طور پر پولیسیلیکون کے لئے کمی کی بھٹی کے احاطہ کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ پولیسیلیکون کی تیاری میں ، ہائی طفیلی ٹرائکلوروسیلین کو ایک خاص تناسب میں ہائیڈروجن کے ساتھ ملا دیا جاتا ہے اور پھر کوارٹج بیل کور سے لیس کمی کی بھٹی میں متعارف کرایا جاتا ہے ، جہاں کنڈکٹو سلیکن کور پر ڈپازٹ اور پولیسیلیکن تشکیل دینے میں کمی کا رد عمل ہوتا ہے۔

8. کوارٹج گیلے صفائی کا ٹینک

درخواست کا مرحلہ: سلیکن ویفرز کی گیلے صفائی

استعمال: یہ تیزاب دھونے (HF ، H₂SO₄ ، وغیرہ) اور الٹراسونک صفائی کے لئے استعمال ہوتا ہے۔

خصوصیات: مضبوط کیمیائی استحکام اور مضبوط تیزاب سنکنرن کے خلاف مزاحمت۔

9. کوارٹج مائع جمع کرنے کی بوتل

مائع جمع کرنے کی بوتل بنیادی طور پر گیلے صفائی کے عمل میں فضلہ مائع یا بقایا مائع جمع کرنے کے لئے استعمال ہوتی ہے

ویفرز (جیسے آر سی اے کی صفائی ، ایس سی 1/ایس سی 2 صفائی) کے گیلے صفائی کے عمل کے دوران ، ویفروں کو کللا کرنے کے لئے الٹرا پیور واٹر یا ریجنٹس کی ایک بڑی مقدار کی ضرورت ہوتی ہے ، اور کلین کرنے کے بعد ، ٹریس نجاستوں پر مشتمل بقایا مائع پیدا ہوگا۔ کچھ کوٹنگ کے عمل (جیسے فوٹوورسٹ کوٹنگ) کے بعد ، وہاں اضافی مائعات (جیسے فوٹوورسٹ فضلہ مائع) بھی ہوں گے جن کو جمع کرنے کی ضرورت ہے۔

فنکشن کوارٹج مائع جمع کرنے کی بوتلیں ان بقایا یا کچرے کے مائعات کو قریب سے جمع کرنے کے لئے استعمال کی جاتی ہیں ، خاص طور پر "اعلی صحت سے متعلق صفائی ستھرائی کے مرحلے" (جیسے ویفر سطح کے علاج سے پہلے کے مرحلے) میں ، جہاں بقایا مائع میں اب بھی تھوڑی مقدار میں اعلی قیمت والے ریجنٹس یا نجاست شامل ہوسکتی ہیں جن کے بعد کے تجزیے کی ضرورت ہوتی ہے۔ کوارٹج بوتلوں کی کم آلودگی بقایا مائع کو دوبارہ آلودہ ہونے سے روک سکتی ہے ، جس کے نتیجے میں بازیافت (جیسے ریجنٹ طہارت) یا عین مطابق پتہ لگانے میں مدد مل سکتی ہے (جیسے بقایا مائع میں ناپاک مواد کا تجزیہ)۔

اس کے علاوہ ، مصنوعی کوارٹج مواد سے بنی کوارٹج ماسک پیٹرن کی منتقلی کے لئے فوٹو لیتھوگرافی مشینوں کے "منفی" کے طور پر فوٹوولیتھوگرافی میں لگائے جاتے ہیں۔ اور کوارٹج کرسٹل آسکیلیٹرز پتلی فلم کی موٹائی کی نگرانی کے لئے پتلی فلم جمع (پی وی ڈی ، سی وی ڈی ، اے ایل ڈی) میں استعمال ہوتے ہیں اور اس مضمون میں بہت سے دوسرے پہلوؤں کے علاوہ ، جمع کی یکسانیت کو یقینی نہیں بناتے ہیں۔

آخر میں ، سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے پورے عمل میں کوارٹج کی مصنوعات تقریبا almost موجود ہیں ، مونوکرسٹل لائن سلیکن (کوارٹج کروسیبلز) کی نشوونما سے لے کر فوٹو لیتھوگرافی (کوارٹج ماسک) ، اینچنگ (کوارٹج کی انگوٹھی) ، اور پتلی فلم کے جمع (کوارٹج کرسٹل آسکیلیٹرز) ان کی عمدہ جسمانی اور کیمیائی پراپرٹیز۔ سیمیکمڈکٹر کے عمل کے ارتقاء کے ساتھ ، کوارٹج مواد کی طہارت ، درجہ حرارت کی مزاحمت اور جہتی درستگی کی ضروریات کو مزید بڑھایا جائے گا۔