خبریں

ٹی اے سی کوٹنگ کے ذریعہ ایس آئی سی کرسٹل میں نقائص اور طہارت کا آغاز

1. عیب کثافت میں نمایاں کمی واقع ہوئی ہے

The ٹیک کوٹنگگریفائٹ کروسیبل اور ایس آئی سی پگھل کے مابین براہ راست رابطے کو الگ تھلگ کرکے کاربن انکپسولیشن رجحان کو تقریبا completely مکمل طور پر ختم کرتا ہے ، جس سے مائکروٹوبس کی عیب کثافت کو نمایاں طور پر کم کیا جاتا ہے۔ تجرباتی اعداد و شمار سے پتہ چلتا ہے کہ ٹی اے سی لیپت مصلوب میں اگائے جانے والے کرسٹل میں کاربن کوٹنگ کی وجہ سے مائکروٹوب نقائص کی کثافت روایتی گریفائٹ کروسیبلز کے مقابلے میں 90 فیصد سے زیادہ کم ہوتی ہے۔ کرسٹل سطح یکساں طور پر محدب ہے ، اور کنارے پر کوئی پولی کرسٹل لائن کا ڈھانچہ نہیں ہے ، جبکہ عام گریفائٹ مصلوب میں اکثر ایج پولی کرسٹلائزیشن اور کرسٹل ڈپریشن اور دیگر نقائص ہوتے ہیں۔



2. نجاست کی روک تھام اور طہارت میں بہتری

ٹی اے سی مادے میں سی ، سی اور این واپرس کے لئے بہترین کیمیائی جڑنی ہوتی ہے اور وہ گریفائٹ میں نائٹروجن جیسی نجاست کو مؤثر طریقے سے کرسٹل میں پھیلنے سے روک سکتا ہے۔ جی ڈی ایم ایس اور ہال ٹیسٹ سے پتہ چلتا ہے کہ کرسٹل میں نائٹروجن کی حراستی میں 50 فیصد سے زیادہ کی کمی واقع ہوئی ہے ، اور مزاحمیت روایتی طریقہ سے بڑھ کر 2-3 گنا بڑھ گئی ہے۔ اگرچہ ٹی اے عنصر کی ایک ٹریس مقدار کو شامل کیا گیا تھا (جوہری تناسب <0.1 ٪) ، مجموعی طور پر نجاست کے مجموعی مواد کو 70 فیصد سے زیادہ کم کیا گیا تھا ، جس سے کرسٹل کی برقی خصوصیات کو نمایاں طور پر بہتر بنایا گیا تھا۔



3. کرسٹل مورفولوجی اور نمو کی یکسانیت

ٹی اے سی کی کوٹنگ کرسٹل نمو انٹرفیس میں درجہ حرارت کے میلان کو منظم کرتی ہے ، جس سے کرسٹل انگوٹ کو ایک محدب مڑے ہوئے سطح پر اگنے اور کنارے کی نمو کی شرح کو یکساں کرنے کے قابل بناتا ہے ، اس طرح روایتی گریفائٹ کروسبلز میں کنارے پر قابو پانے کی وجہ سے پولی کرسٹاللائزیشن کے رجحان سے گریز کیا جاتا ہے۔ اصل پیمائش سے پتہ چلتا ہے کہ ٹی اے سی لیپت کروسیبل میں اگائے جانے والے کرسٹل انگوٹ کا قطر انحراف ≤2 ٪ ہے ، اور کرسٹل سطح کی فلیٹ پن (آر ایم ایس) میں 40 ٪ بہتر ہے۔



تھرمل فیلڈ اور حرارت کی منتقلی کی خصوصیات پر ٹی اے سی کوٹنگ کا ریگولیشن میکانزم

arachaceracteristic‌
ta ٹی اے سی کوٹنگ میکانزم
cry کرسٹل گروتھ پر امپیکٹ
termal تھرمل چالکتا اور درجہ حرارت کی تقسیم
تھرمل چالکتا (20-22 W/M · K) گریفائٹ (> 100 W/M · K) کے مقابلے میں نمایاں طور پر کم ہے ، جس سے شعاعی گرمی کی کھپت کو کم کیا جاتا ہے اور نمو کے زون میں شعاعی درجہ حرارت کے میلان کو 30 ٪ تک کم کیا جاتا ہے۔
درجہ حرارت کے میدان میں بہتری کی یکسانیت ، تھرمل تناؤ کی وجہ سے جعلی مسخ کو کم کرنا اور عیب پیدا کرنے کے امکان کو کم کرنا
headradradiative گرمی کا نقصان
سطح کی امیسٹیویٹی (0.3-0.4) گریفائٹ (0.8-0.9) سے کم ہے ، جس سے تابکاری سے گرمی میں کمی واقع ہوتی ہے اور گرمی کو کنویکشن کے ذریعے بھٹی کے جسم میں واپس جانے کی اجازت ہوتی ہے۔
کرسٹل کے ارد گرد بڑھا ہوا تھرمل استحکام ، جس کی وجہ سے زیادہ یکساں C/SI بخارات کی حراستی کی تقسیم اور ساختی سپرسریٹیشن کی وجہ سے ہونے والے نقائص کو کم کیا جاتا ہے
cre کیمیکل رکاوٹ اثر
کاربن کے اضافی ذریعہ کی رہائی سے گریز کرتے ہوئے ، اعلی درجہ حرارت (SI + C → SIC) پر گریفائٹ اور ایس آئی بخارات کے مابین رد عمل کو روکتا ہے۔
ترقی کے زون میں مثالی C/SI تناسب (1.0-1.2) کو برقرار رکھتا ہے ، کاربن سپرسورٹیشن کی وجہ سے ہونے والی شمولیت کے نقائص کو دبانے والا ہے۔


دوسرے مصیبت والے مواد کے ساتھ ٹی اے سی کوٹنگ کی کارکردگی کا موازنہ


mater ماد .ی قسم ‌
te تیمپریٹری مزاحمت ‌
che کیمیکل inertness‌
men میکانیکل طاقت
cry کرسٹل عیب کثافت
‌ ٹائپیکل ایپلی کیشن منظرنامے
‌ ٹی اے سی لیپت گریفائٹ
≥2600 ° C
سی/سی بخارات کے ساتھ کوئی رد عمل نہیں ہے
محس سختی 9-10 ، مضبوط تھرمل جھٹکا مزاحمت
<1 سینٹی میٹر (مائکروپائپس)
اعلی طہارت 4H/6H-SIC سنگل کرسٹل نمو
Grabare بیئر گریفائٹ
22200 ° C
ایس آئی وانپ کے ذریعہ بدعنوانی سی
کم طاقت ، کریکنگ کا شکار
10-50 سینٹی میٹر
بجلی کے آلات کے لئے لاگت سے موثر ایس آئی سی سبسٹریٹس
ss ایس آئی سی لیپت گریفائٹ
≤1600 ° C
اعلی درجہ حرارت پر ایس آئی تشکیل دینے والے ایس آئی کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتا ہے
اعلی سختی لیکن آسانی سے ٹوٹنا
5-10 سینٹی میٹر
درمیانی درجہ حرارت سیمیکمڈکٹرز کے لئے پیکیجنگ میٹریل
bbbn کروسبل
<2000k
N/B نجاست کو جاری کرتا ہے
ناقص سنکنرن مزاحمت
8-15 سینٹی میٹر
کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹرز کے لئے ایپیٹیکسیل سبسٹریٹس

ٹی اے سی کوٹنگ نے کیمیائی رکاوٹ ، تھرمل فیلڈ آپٹیمائزیشن اور انٹرفیس ریگولیٹ کے ٹرپل میکانزم کے ذریعہ ایس آئی سی کرسٹل کے معیار میں ایک جامع بہتری حاصل کی ہے۔



  • عیب کنٹرول مائکروٹوب کثافت 1 سینٹی میٹر سے کم ہے ، اور کاربن کی کوٹنگ مکمل طور پر ختم کردی گئی ہے
  • طہارت میں بہتری: نائٹروجن حراستی <1 × 10⁷ سینٹی میٹر ، مزاحمتی> 10⁴ ω · · سینٹی میٹر ؛
  • نمو کی کارکردگی میں تھرمل فیلڈ یکسانیت کی بہتری سے بجلی کی کھپت میں 4 ٪ کمی واقع ہوتی ہے اور مصیبت کی زندگی کو 2 سے 3 بار تک بڑھایا جاتا ہے۔




متعلقہ خبریں۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept