LPE PE2061S کے لئے SIC لیپت سپورٹ

سلیکن ایپیٹیکسی آلات میں ایل پی ای پی ای 2061s کے لئے ویٹیک سیمیکمڈکٹر ایس آئی سی کی لیپت سپورٹ ، ایپیٹاکسیل وفرز (یا سبسٹریٹس) کی حمایت اور انعقاد کے ل a ایک بیرل قسم کے حساسیت کے ساتھ مل کر استعمال کیا جاتا ہے۔

نیچے کی پلیٹ بنیادی طور پر بیرل ایپیٹاکسیل فرنس کے ساتھ استعمال ہوتی ہے ، بیرل ایپیٹیکسیل فرنس میں فلیٹ ایپیٹیکسیل حساسپٹر سے زیادہ رد عمل کا چیمبر اور پیداوار کی اعلی کارکردگی ہوتی ہے۔ اس سپورٹ میں ایک گول ہول ڈیزائن ہے اور بنیادی طور پر ری ایکٹر کے اندر راستہ کی دکان کے لئے استعمال ہوتا ہے۔

ایل پی ای پی ای 2061 ایس ایک سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) لیپت گریفائٹ سپورٹ بیس ہے جو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ اور جدید مادی پروسیسنگ کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے ، جو اعلی درجہ حرارت ، اعلی صحت سے متعلق عمل کے ماحول کے لئے موزوں ہے (جیسے مائع فیز سٹرنگ ٹکنالوجی ایل پی ای ، دھات کے نامیاتی کیمیائی وانپیشن ایم او سی وی ڈی ، وغیرہ)۔ اس کا بنیادی ڈیزائن انتہائی حالات میں استحکام ، سنکنرن مزاحمت اور تھرمل یکسانیت کو یقینی بنانے کے ل a ایک اعلی طہارت گریفائٹ سبسٹریٹ کے دوہری فوائد کو ایک گھنے sic کوٹنگ کے ساتھ جوڑتا ہے۔

بنیادی خصوصیت

● درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت:

ایس آئی سی کوٹنگ 1200 ° C سے زیادہ درجہ حرارت کا مقابلہ کرسکتی ہے ، اور درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کی وجہ سے تناؤ کی کریکنگ سے بچنے کے لئے تھرمل توسیع گتانک گریفائٹ سبسٹریٹ کے ساتھ انتہائی مماثل ہے۔

●  عمدہ تھرمل یکسانیت:

کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) ٹکنالوجی کے ذریعہ تشکیل پانے والی گھنے ایس آئی سی کوٹنگ ، اڈے کی سطح پر یکساں گرمی کی تقسیم کو یقینی بناتی ہے اور ایپیٹاکسیل فلم کی یکسانیت اور پاکیزگی کو بہتر بناتی ہے۔

●  آکسیکرن اور سنکنرن مزاحمت:

ایس آئی سی کوٹنگ میں گریفائٹ سبسٹریٹ کو مکمل طور پر احاطہ کیا گیا ہے ، آکسیجن اور سنکنرن گیسوں (جیسے NH₃ ، H₂ ، وغیرہ) کو مسدود کرتا ہے ، جس میں اڈے کی زندگی کو نمایاں طور پر بڑھایا جاتا ہے۔

●  اعلی مکینیکل طاقت:

کوٹنگ میں گریفائٹ میٹرکس کے ساتھ اعلی تعلقات کی طاقت ہے ، اور یہ ایک سے زیادہ اعلی درجہ حرارت اور کم درجہ حرارت کے چکروں کا مقابلہ کرسکتی ہے ، جس سے تھرمل جھٹکے کی وجہ سے ہونے والے نقصان کے خطرے کو کم کیا جاسکتا ہے۔

●  الٹرا ہائی پاکیزگی:

آلودگی سے بچنے والے ویفرز یا ایپیٹاکسیل مواد سے بچنے کے ل Se سیمیکمڈکٹر عمل (دھات کی ناپاکی کا مواد ≤1ppm) کی ناپاک ناپاک مواد کی ضروریات کو پورا کریں۔

تکنیکی عمل

●  کوٹنگ کی تیاری: کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) یا اعلی درجہ حرارت ایمبیڈنگ کا طریقہ ، یکساں اور گھنے β-sic (3C-SIC) کوٹنگ اعلی بانڈنگ طاقت اور کیمیائی استحکام کے ساتھ گریفائٹ کی سطح پر تشکیل پاتی ہے۔

●  صحت سے متعلق مشینی: بیس سی این سی مشین ٹولز کے ذریعہ باریک مشینی ہے ، اور سطح کی کھردری 0.4μm سے کم ہے ، جو اعلی صحت سے متعلق ویفر برداشت کی ضروریات کے لئے موزوں ہے۔

درخواست کا فیلڈ

●  MOCVD سامان: GAN ، SIC اور دیگر کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسیئل نمو ، مدد اور یکساں حرارتی سبسٹریٹ کے لئے۔

●  سلیکن/sic epitaxy: سلیکن یا ایس آئی سی سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایپیٹیکسی پرتوں کے اعلی معیار کے جمع کو یقینی بناتا ہے۔

●  مائع مرحلے کی پٹی (LPE) عمل: گرافین اور ٹرانزیشن میٹل چالکوجینائڈس جیسے دو جہتی مواد کے لئے مستحکم سپورٹ پلیٹ فارم فراہم کرنے کے لئے الٹراسونک معاون مادی سٹرپنگ ٹکنالوجی کو موافقت دیتا ہے۔

مسابقتی فائدہ

●  بین الاقوامی معیار کا معیار: پرفارمنس بینچ مارکنگ ٹویوٹانسو ، ایس جی ایل کاربن اور دیگر بین الاقوامی معروف مینوفیکچررز ، مرکزی دھارے میں شامل سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے موزوں ہیں۔

●  اپنی مرضی کے مطابق خدمت: مختلف گہاوں کی ڈیزائن کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے ، ڈسک کی شکل ، بیرل شکل اور دیگر بیس شکل کی تخصیص کی حمایت کریں۔

●  لوکلائزیشن کا فائدہ: سپلائی سائیکل کو مختصر کریں ، تیزی سے تکنیکی ردعمل فراہم کریں ، سپلائی چین کے خطرات کو کم کریں۔

کوالٹی اشورینس

●  سخت جانچ: کثافت ، موٹائی (عام قیمت 100 ± 20μm) اور کوٹنگ کی ساخت طہارت کی تصدیق SEM ، XRD اور دیگر تجزیاتی ذرائع کے ذریعہ کی گئی تھی۔

●  قابل اعتماد ٹیسٹ: طویل مدتی استحکام کو یقینی بنانے کے ل high اعلی درجہ حرارت کے چکر (1000 ° C → کمرے کا درجہ حرارت ، ≥100 بار) اور سنکنرن مزاحمت ٹیسٹ کے لئے اصل عمل کے ماحول کی نقالی کریں۔

●  قابل اطلاق صنعتیں: سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ ، ایل ای ڈی ایپیٹیکسی ، آر ایف ڈیوائس کی تیاری ، وغیرہ۔

SEM ڈیٹا اور CVD SIC فلموں کا ڈھانچہ ：