SiC لیپت ویفر کیریئر

چپ مینوفیکچرنگ ویفرز سے الگ نہیں ہوسکتی ہے۔ ویفر کی تیاری کے عمل میں، دو بنیادی روابط ہیں: ایک سبسٹریٹ کی تیاری، اور دوسرا ایپیٹیکسیل عمل کا نفاذ۔ سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز تیار کرنے کے لیے سبسٹریٹ کو براہ راست ویفر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ڈالا جا سکتا ہے، یا اس کے ذریعے مزید بڑھایا جا سکتا ہے۔epitaxial عمل. 

ایپیٹیکسی ایک ہی کرسٹل سبسٹریٹ پر سنگل کرسٹل کی ایک نئی پرت اگانا ہے جس پر باریک عملدرآمد کیا گیا ہے (کاٹنے ، پیسنا ، پالش کرنا ، وغیرہ)۔ چونکہ نئی اگائی جانے والی سنگل کرسٹل پرت سبسٹریٹ کے کرسٹل مرحلے کے مطابق پھیل جائے گی ، لہذا اسے ایک ایپیٹیکسیل پرت کہا جاتا ہے۔ جب سبسٹریٹ پر epitaxial پرت بڑھتی ہے تو ، پوری کو ایک ایپیٹیکسیل ویفر کہا جاتا ہے۔ ایپیٹیکسیل ٹکنالوجی کا تعارف چالاکی سے سنگل سبسٹریٹس کے بہت سے نقائص کو حل کرتا ہے۔

اپیٹیکسیل گروتھ فرنس میں، سبسٹریٹ کو تصادفی طور پر نہیں رکھا جا سکتا، اور ایکویفر کیریئرسبسٹریٹ پر سبسٹریٹ کو ویفر ہولڈر پر رکھنے کی ضرورت ہے اس سے پہلے کہ ایپیٹاکسیل جمع کروانے میں سبسٹریٹ پر انجام دیا جاسکے۔ یہ ویفر ہولڈر ایس آئی سی لیپت ویفر کیریئر ہے۔

EPI ری ایکٹر کا کراس سیکشنل نظریہ

ایک اعلی معیارایس سی کوٹنگCVD ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے SGL گریفائٹ کی سطح پر لاگو کیا جاتا ہے:

SiC کوٹنگ کی مدد سے، بہت سے خصوصیاتsic لیپت ویفر ہولڈرنمایاں طور پر بہتری لائی گئی ہے:

anti اینٹی آکسیڈینٹ پراپرٹیز: SiC کوٹنگ میں اچھی آکسیکرن مزاحمت ہے اور یہ گریفائٹ میٹرکس کو اعلی درجہ حرارت پر آکسیکرن سے بچا سکتی ہے اور اس کی سروس لائف کو بڑھا سکتی ہے۔

temperature درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت: SiC کوٹنگ کا پگھلنے کا نقطہ بہت زیادہ ہے (تقریبا 2700 ° C)۔ گریفائٹ میٹرکس میں SiC کوٹنگ شامل کرنے کے بعد، یہ زیادہ درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے، جو ایپیٹیکسیل گروتھ فرنس ماحول میں استعمال کرنے کے لیے فائدہ مند ہے۔

● سنکنرن مزاحمت: گریفائٹ کچھ تیزابیت یا الکلائن ماحول میں کیمیائی سنکنرن کا شکار ہے ، جبکہ ایس آئی سی کوٹنگ میں تیزاب اور الکالی سنکنرن کے خلاف اچھی مزاحمت ہوتی ہے ، لہذا اس کو طویل عرصے تک ایپیٹیکسیل نمو کی بھٹیوں میں استعمال کیا جاسکتا ہے۔

● مزاحمت پہنیں۔: SiC مواد اعلی سختی ہے. گریفائٹ کو SiC کے ساتھ لیپت کرنے کے بعد، یہ آسانی سے خراب نہیں ہوتا ہے جب اسے اپیٹیکسیل گروتھ فرنس میں استعمال کیا جاتا ہے، جس سے مواد کے پہننے کی شرح کم ہوتی ہے۔

VeTek سیمی کنڈکٹر صارفین کو صنعت کی معروف SiC کوٹڈ ویفر کیریئر مصنوعات فراہم کرنے کے لیے بہترین مواد اور جدید ترین پروسیسنگ ٹیکنالوجی کا استعمال کرتا ہے۔ VeTek Semiconductor کی مضبوط تکنیکی ٹیم ہمیشہ موزوں ترین مصنوعات اور صارفین کے لیے بہترین سسٹم سلوشنز تیار کرنے کے لیے پرعزم ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی فلم کا SEM ڈیٹا

یہ سیمیکمڈکٹرsic لیپت ویفر کیریئر شاپس