AIXTRON G5 MOCVD حساسین

پیشہ ور کارخانہ دار کی حیثیت سے ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر آپ کو Aixtron G5 MOCVD سپسیٹرز کی طرح فراہم کرنا چاہے گا آئکسٹرون ایپیٹیکسی، کے لئے ، کے لئے ، کے لئے ،.  sic لیپتگریفائٹ حصے اور ٹی اے سی لیپتگریفائٹ حصے ہماری انکوائری میں خوش آمدید۔

آئکسٹرون جی 5 کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹرز کے لئے ایک جمع نظام ہے۔ AIX G5 MOCVD ایک پروڈکشن کسٹمر ثابت آکسٹرون سیارے کے ری ایکٹر پلیٹ فارم کا استعمال کرتا ہے جس میں مکمل طور پر خودکار کارتوس (C2C) ویفر ٹرانسفر سسٹم ہے۔ صنعت کا سب سے بڑا واحد گہا سائز (8 x 6 انچ) اور سب سے بڑی پیداوار کی گنجائش حاصل کی۔ یہ لچکدار 6 - اور 4 انچ کنفیگریشن پیش کرتا ہے جو مصنوعات کے بہترین معیار کو برقرار رکھتے ہوئے پیداوار کے اخراجات کو کم سے کم کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ گرم دیوار سیاروں کے سی وی ڈی سسٹم کو ایک ہی بھٹی میں متعدد پلیٹوں کی نشوونما کی خصوصیت ہے ، اور آؤٹ پٹ کی کارکردگی زیادہ ہے۔ 

ویٹیک سیمیکمڈکٹر آئکسٹرون جی 5 ایم او سی وی ڈی سوسیسٹر سسٹم کے لئے لوازمات کا ایک مکمل سیٹ پیش کرتا ہے، جو ان لوازمات پر مشتمل ہے:

1. سیاروں کا ری ایکٹر ماڈیول

فنکشن واقفیت: AIX G5 سیریز کے بنیادی ری ایکٹر ماڈیول کی حیثیت سے ، یہ وافرز میں اعلی یکساں مادی جمع کو حاصل کرنے کے لئے سیاروں کی ٹیکنالوجی کو اپناتا ہے۔

تکنیکی خصوصیات:

محور یکساں یکسانیت: منفرد سیاروں کی گردش کا ڈیزائن موٹائی ، مادی ساخت اور ڈوپنگ حراستی کے لحاظ سے ویفر سطحوں کی الٹرا یکساں تقسیم کو یقینی بناتا ہے۔

ملٹی ویفر مطابقت: 5 200 ملی میٹر (8 انچ) وافرز یا 8 150 ملی میٹر ویفرز کی بیچ پروسیسنگ کی حمایت کرتا ہے ، جس سے پیداواری صلاحیت میں نمایاں اضافہ ہوتا ہے۔

درجہ حرارت پر قابو پانے کی اصلاح: تخصیص بخش سبسٹریٹ جیبوں کے ساتھ ، تھرمل میلان کی وجہ سے ویفر کے موڑ کو کم کرنے کے لئے ویفر درجہ حرارت کو خاص طور پر کنٹرول کیا جاتا ہے۔

2. چھت (درجہ حرارت پر قابو پانے کی چھت کا نظام)

فنکشن واقفیت: اعلی درجہ حرارت جمع کرنے والے ماحول کے استحکام اور توانائی کی کارکردگی کو یقینی بنانے کے لئے ، رد عمل چیمبر کے درجہ حرارت پر قابو پانے والے جزو کے طور پر۔

تکنیکی خصوصیات:

کم گرمی کا بہاؤ ڈیزائن: "گرم چھت" ٹیکنالوجی ویفر کی عمودی سمت میں گرمی کے بہاؤ کو کم کرتی ہے ، ویفر کی خرابی کے خطرے کو کم کرتی ہے ، اور پتلی سلیکن پر مبنی گیلیم نائٹرائڈ (گان آن سی) عمل کی حمایت کرتی ہے۔

سیٹو کلیننگ سپورٹ میں: سیٹو کی صفائی کے فنکشن میں مربوط سی ایل₂ رد عمل چیمبر کی بحالی کے وقت کو کم کرتا ہے اور سامان کی مستقل آپریشن کی کارکردگی کو بہتر بناتا ہے۔

3. گریفائٹ اجزاء

فنکشن پوزیشننگ: اعلی درجہ حرارت کی مہر اور اثر جزو کے طور پر ، رد عمل چیمبر کی ہوا کی تنگی اور سنکنرن مزاحمت کو یقینی بنانے کے لئے۔

تکنیکی خصوصیات:

اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت: اعلی طہارت کے لچکدار گریفائٹ مواد کا استعمال ، سپورٹ -200 ℃ سے 850 ℃ انتہائی درجہ حرارت کے ماحول ، MOCVD عمل امونیا (NH₃) ، نامیاتی دھات کے ذرائع اور دیگر سنکنرن میڈیا کے لئے موزوں ہے۔

خود سے دوچار اور لچک: گریفائٹ کی انگوٹھی میں خود سے اچھ .ا خصوصیات کی عمدہ خصوصیات ہیں ، جو مکینیکل لباس کو کم کرسکتی ہیں ، جبکہ اعلی لچکدار گتانک تھرمل توسیع کی تبدیلی کے مطابق ڈھال لیتی ہے ، جس سے طویل مدتی مہر کی وشوسنییتا کو یقینی بنایا جاسکتا ہے۔

اپنی مرضی کے مطابق ڈیزائن: گہا سگ ماہی کی مختلف ضروریات کو پورا کرنے کے لئے 45 ° ترچھا چیرا ، V کے سائز یا بند ڈھانچے کی حمایت کریں۔

چوتھا ، معاون نظام اور توسیع کی صلاحیتیں

خودکار ویفر پروسیسنگ: مکمل طور پر خودکار ویفر لوڈنگ/ان لوڈنگ کے لئے انٹیگریٹڈ کیسٹ ٹو-کیسٹ ویفر ہینڈلر جس میں دستی مداخلت کم ہے۔

عمل کی مطابقت: گیلیم نائٹریڈ (GAN) ، فاسفورس آرسنائڈ (ASP) ، مائکرو ایل ای ڈی اور دیگر مواد کی epitaxial نمو کی حمایت کرتے ہیں ، جو ریڈیو فریکوینسی (RF) کے لئے موزوں ، پاور ڈیوائسز ، ڈسپلے ٹکنالوجی اور طلب کے دیگر شعبوں کی حمایت کرتے ہیں۔

اپ گریڈ لچک: موجودہ جی 5 سسٹم کو جی 5+ ورژن میں اپ گریڈ کیا جاسکتا ہے جس میں بڑے ویفرز اور جدید عمل کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے ہارڈ ویئر میں ترمیم کی جاسکتی ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی فلم کرسٹل ڈھانچہ:

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات: