sic کوٹنگ گریفائٹ mocvd ہیٹر

ایم او سی وی ڈی ایک صحت سے متعلق پتلی فلم گروتھ ٹکنالوجی ہے جو سیمیکمڈکٹر ، آپٹ الیکٹرانک اور مائیکرو الیکٹرانک ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتی ہے۔ ایم او سی وی ڈی ٹکنالوجی کے ذریعہ ، اعلی معیار کے سیمیکمڈکٹر مادی فلموں کو سبسٹریٹس (جیسے سلیکن ، نیلم ، سلیکن کاربائڈ ، وغیرہ) پر جمع کیا جاسکتا ہے۔

MOCVD آلات میں، SiC کوٹنگ گریفائٹ MOCVD ہیٹر ہائی ٹمپریچر ری ایکشن چیمبر میں یکساں اور مستحکم حرارتی ماحول فراہم کرتا ہے، جس سے گیس فیز کیمیکل ری ایکشن آگے بڑھ سکتا ہے، اس طرح سبسٹریٹ کی سطح پر مطلوبہ پتلی فلم جمع ہوتی ہے۔

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کی ایس آئی سی کوٹنگ گریفائٹ موکویڈ ہیٹر ایس آئی سی کوٹنگ کے ساتھ اعلی معیار کے گریفائٹ مواد سے بنا ہے۔ ایس آئی سی لیپت گریفائٹ ایم او سی وی ڈی ہیٹر مزاحمت کو حرارتی نظام کے ذریعہ گرمی پیدا کرتا ہے۔

SiC کوٹنگ گریفائٹ MOCVD ہیٹر کا بنیادی حصہ گریفائٹ سبسٹریٹ ہے۔ کرنٹ کا اطلاق بیرونی بجلی کی فراہمی کے ذریعے کیا جاتا ہے، اور گریفائٹ کی مزاحمتی خصوصیات مطلوبہ اعلی درجہ حرارت کو حاصل کرنے کے لیے حرارت پیدا کرنے کے لیے استعمال ہوتی ہیں۔ گریفائٹ سبسٹریٹ کی تھرمل چالکتا بہترین ہے، جو گرمی کو تیزی سے چلا سکتی ہے اور یکساں طور پر درجہ حرارت کو پوری ہیٹر کی سطح پر منتقل کر سکتی ہے۔ ایک ہی وقت میں ، ایس آئی سی کوٹنگ گریفائٹ کی تھرمل چالکتا کو متاثر نہیں کرتی ہے ، جس سے ہیٹر کو درجہ حرارت کی تبدیلیوں کا فوری جواب دینے اور درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو یقینی بنانے کی اجازت ملتی ہے۔

خالص گریفائٹ اعلی درجہ حرارت کے حالات میں آکسیکرن کا شکار ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ آکسیجن کے ساتھ براہ راست رابطے سے گریفائٹ کو مؤثر طریقے سے الگ کرتی ہے ، اس طرح آکسیکرن کے رد عمل کو روکتی ہے اور ہیٹر کی زندگی کو بڑھا دیتی ہے۔ اس کے علاوہ ، ایم او سی وی ڈی آلات کیمیائی بخارات جمع کرنے کے لئے سنکنرن گیسوں (جیسے امونیا ، ہائیڈروجن ، وغیرہ) کا استعمال کرتے ہیں۔ ایس آئی سی کوٹنگ کا کیمیائی استحکام اس کو قابل بناتا ہے کہ وہ ان سنکنرن گیسوں کے کٹاؤ کے خلاف موثر انداز میں مزاحمت کرے اور گریفائٹ سبسٹریٹ کی حفاظت کرے۔

اعلی درجہ حرارت کے تحت ، غیر کوٹیٹڈ گریفائٹ مواد کاربن کے ذرات کو جاری کرسکتا ہے ، جو فلم کے جمع ہونے کے معیار کو متاثر کرے گا۔ ایس آئی سی کوٹنگ کا اطلاق کاربن کے ذرات کی رہائی کو روکتا ہے ، جس سے ایم او سی وی ڈی کے عمل کو صاف ستھرا ماحول میں انجام دینے کی اجازت ملتی ہے ، اور اعلی صفائی کی ضروریات کے ساتھ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کی ضروریات کو پورا کیا جاتا ہے۔

آخر میں ، ایس آئی سی کوٹنگ گریفائٹ ایم او سی وی ڈی ہیٹر عام طور پر سبسٹریٹ سطح پر یکساں درجہ حرارت کو یقینی بنانے کے لئے سرکلر یا دیگر باقاعدہ شکل میں ڈیزائن کیا گیا ہے۔ موٹی فلموں کی یکساں نشوونما کے لئے درجہ حرارت کی یکسانیت اہم ہے ، خاص طور پر GAN اور INP جیسے III-V مرکبات کے MOCVD Epitaxial نمو کے عمل میں۔

ویٹیک سیمیکمڈکٹر پیشہ ور تخصیص کی خدمات مہیا کرتا ہے۔ صنعت کی معروف مشینی اور ایس آئی سی کوٹنگ کی صلاحیتیں ہمیں ایم او سی وی ڈی آلات کے ل top اعلی سطحی ہیٹر تیار کرنے کے قابل بناتی ہیں ، جو زیادہ تر ایم او سی وی ڈی آلات کے لئے موزوں ہیں۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات

ویٹیک سیمیکمڈکٹر سیک کوٹنگ گریفائٹ موکویڈ ہیٹر شاپس