سلیکن کاربائڈ ایپیٹیکسی کا مواد

سلیکن کاربائڈ ، کیمیائی فارمولا ایس آئی سی کے ساتھ ، ایک کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹر مواد ہے جو سلیکن (ایس آئی) اور کاربن (سی) عناصر کے مابین مضبوط ہم آہنگ بانڈز کے ذریعہ تشکیل پایا جاتا ہے۔ اپنی عمدہ جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کے ساتھ ، یہ بہت سے صنعتی شعبوں میں خاص طور پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے مطالبے کے عمل میں تیزی سے اہم کردار ادا کرتا ہے۔

Ⅰ. سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کی بنیادی جسمانی خصوصیات

ایس آئی سی کی جسمانی خصوصیات کو سمجھنا اس کی درخواست کی قیمت کو سمجھنے کی اساس ہے:

1) اعلی سختی:

ایس آئی سی کی محت سختی تقریبا 9-9.5 ہے ، جو ہیرے کے بعد دوسرے نمبر پر ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ اس میں عمدہ لباس اور سکریچ مزاحمت ہے۔

اطلاق کی قیمت: سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں ، اس کا مطلب یہ ہے کہ ایس آئی سی سے بنے ہوئے حصے (جیسے روبوٹک ہتھیاروں ، چکس ، پیسنے والی ڈسکس) کی طویل زندگی ہوتی ہے ، پہننے کی وجہ سے ذرہ نسل کو کم کرتا ہے ، اور اس طرح اس عمل کی صفائی اور استحکام کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

2) عمدہ تھرمل خصوصیات:

● اعلی تھرمل چالکتا: 

ایس آئی سی کی تھرمل چالکتا روایتی سلکان مواد اور بہت سے دھاتوں (300−490W/(MβK) تک کمرے کے درجہ حرارت پر ، اس کی کرسٹل شکل اور پاکیزگی پر منحصر ہے) سے کہیں زیادہ ہے۔

درخواست کی قیمت: یہ گرمی کو جلدی اور موثر انداز میں ختم کرسکتا ہے۔ یہ اعلی طاقت والے سیمیکمڈکٹر آلات کی گرمی کی کھپت کے لئے اہم ہے ، جو آلہ کو زیادہ گرمی اور ناکامی سے روک سکتا ہے ، اور آلے کی وشوسنییتا اور کارکردگی کو بہتر بنا سکتا ہے۔ عمل کے سازوسامان میں ، جیسے ہیٹر یا کولنگ پلیٹیں ، اعلی تھرمل چالکتا درجہ حرارت کی یکسانیت اور تیز ردعمل کو یقینی بناتی ہے۔

ther کم تھرمل توسیع گتانک: درجہ حرارت کی حد سے زیادہ ایس آئی سی میں جہتی تبدیلی بہت کم ہے۔

درخواست کی قیمت: سیمیکمڈکٹر کے عمل میں جو سخت درجہ حرارت میں تبدیلیوں کا تجربہ کرتے ہیں (جیسے تیز تھرمل اینیلنگ) ، ایس آئی سی کے حصے اپنی شکل اور جہتی درستگی کو برقرار رکھ سکتے ہیں ، تھرمل مماثلت کی وجہ سے تناؤ اور اخترتی کو کم کرسکتے ہیں ، اور پروسیسنگ کی درستگی اور آلہ کی پیداوار کو یقینی بناتے ہیں۔

ther بہترین تھرمل استحکام: ایس آئی سی اعلی درجہ حرارت پر اپنی ساخت اور کارکردگی کا استحکام برقرار رکھ سکتا ہے ، اور ایک غیر فعال ماحول میں درجہ حرارت 1600 ∘C یا اس سے بھی زیادہ تک کا مقابلہ کرسکتا ہے۔

درخواست کی قیمت: اعلی درجہ حرارت کے عمل کے ماحول کے لئے موزوں جیسے ایپیٹاکسیل نمو ، آکسیکرن ، بازی ، وغیرہ ، اور دوسرے مادوں کے ساتھ گلنا یا اس کا رد عمل ظاہر کرنا آسان نہیں ہے۔

th تھرمل جھٹکا مزاحمت: کریکنگ یا نقصان کے بغیر درجہ حرارت کی تیز رفتار تبدیلیوں کا مقابلہ کرنے کے قابل۔

درخواست کی قیمت: عمل کے مراحل میں ایس آئی سی کے اجزاء زیادہ پائیدار ہوتے ہیں جن کے لئے درجہ حرارت میں تیزی سے اضافے اور زوال کی ضرورت ہوتی ہے۔

3） اعلی بجلی کی خصوصیات (خاص طور پر سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے):

band وسیع بینڈ گیپ: ایس آئی سی کا بینڈ گیپ سلیکن (ایس آئی) سے تقریبا three تین گنا ہے (مثال کے طور پر ، 4H-SIC تقریبا 3. 3.26EV ہے اور ایس آئی تقریبا 1.12ev ہے)۔

درخواست کی قیمت:

اعلی آپریٹنگ درجہ حرارت: وسیع بینڈ گیپ اعلی درجہ حرارت پر ایس آئی سی آلات کی اندرونی کیریئر حراستی کو بہت کم بنا دیتا ہے ، لہذا یہ سلیکن آلات (300∘C یا اس سے زیادہ تک) سے کہیں زیادہ درجہ حرارت پر کام کرسکتا ہے۔

ہائی خرابی الیکٹرک فیلڈ: ایس آئی سی کی خرابی الیکٹرک فیلڈ کی طاقت سلیکن سے تقریبا 10 10 گنا زیادہ ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ اسی وولٹیج کے خلاف مزاحمت کی سطح پر ، ایس آئی سی آلات کو پتلا بنایا جاسکتا ہے اور بڑھے ہوئے خطے کی مزاحمت چھوٹی ہے ، اس طرح ترسیل کے نقصانات کو کم کیا جاسکتا ہے۔

مضبوط تابکاری کے خلاف مزاحمت: وسیع بینڈ گیپ بھی اس کو بہتر تابکاری کے خلاف مزاحمت کرتا ہے اور یہ خاص ماحول جیسے ایرو اسپیس کے لئے موزوں ہے۔

● اعلی سنترپتی الیکٹران ڈرفٹ رفتار: ایس آئی سی کی سنترپتی الیکٹران ڈرفٹ رفتار سلکان سے دوگنا ہے۔

اطلاق کی قیمت: اس سے ایس آئی سی آلات کو اعلی سوئچنگ فریکوئنسیوں پر کام کرنے کے قابل بناتا ہے ، جو نظام میں انڈکٹکٹرز اور کیپسیٹرز جیسے غیر فعال اجزاء کے حجم اور وزن کو کم کرنے اور سسٹم پاور کثافت کو بہتر بنانے کے لئے فائدہ مند ہے۔

4） عمدہ کیمیائی استحکام:

ایس آئی سی میں سنکنرن کی مضبوط مزاحمت ہے اور کمرے کے درجہ حرارت پر زیادہ تر تیزاب ، اڈوں یا پگھلے ہوئے نمکیات کے ساتھ اس کا رد عمل ظاہر نہیں ہوتا ہے۔ یہ صرف اعلی درجہ حرارت پر کچھ مضبوط آکسیڈینٹ یا پگھلے ہوئے اڈوں کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتا ہے۔

اطلاق کی قیمت: سیمیکمڈکٹر گیلے اینچنگ اور صفائی جیسے سنکنرن کیمیکلز پر مشتمل عمل میں ، ایس آئی سی کے اجزاء (جیسے کشتیاں ، پائپ ، اور نوزلز) طویل خدمت کی زندگی اور آلودگی کا کم خطرہ رکھتے ہیں۔ پلازما اینچنگ جیسے خشک عمل میں ، پلازما میں اس کی رواداری بھی بہت سے روایتی مواد سے بہتر ہے۔

5）اعلی طہارت (اعلی طہارت قابل حصول):

کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) جیسے طریقوں سے اعلی طہارت ایس آئی سی مواد تیار کیا جاسکتا ہے۔

صارف کی قیمت: سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، مادی طہارت ضروری ہے ، اور کوئی بھی نجاست آلہ کی کارکردگی اور پیداوار کو متاثر کرسکتی ہے۔ اعلی طہارت ایس آئی سی اجزاء سلیکن ویفرز یا عمل کے ماحول کی آلودگی کو کم سے کم کرتے ہیں۔

Ⅱ. سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کا اطلاق بطور ایپیٹیکسیل سبسٹریٹ

ایس آئی سی سنگل کرسٹل ویفر اعلی کارکردگی والے ایس آئی سی پاور ڈیوائسز (جیسے ایم او ایس ایف ای ٹی ، جے ایف ای ٹی ، ایس بی ڈی ایس) اور گیلیم نائٹریڈ (جی اے این) آر ایف/پاور ڈیوائسز تیار کرنے کے لئے کلیدی سبسٹریٹ مواد ہیں۔

درخواست کے مخصوص منظرنامے اور استعمال:

1) sic-on-sic epitaxy:

استعمال کریں: ایک اعلی طہارت SIC سنگل کرسٹل سبسٹریٹ پر ، مخصوص ڈوپنگ اور موٹائی کے ساتھ ایک sic epitaxial پرت SIC پاور ڈیوائسز کے فعال علاقے کی تعمیر کے لئے کیمیائی بخارات کے ایپیٹیکسی (CVD) کے ذریعہ اگائی جاتی ہے۔

ایپلیکیشن ویلیو: ایس آئی سی سبسٹریٹ کی عمدہ تھرمل چالکتا آلہ کو گرمی کو ختم کرنے میں مدد دیتی ہے ، اور وسیع بینڈ گیپ کی خصوصیات آلہ کو ہائی وولٹیج ، اعلی درجہ حرارت اور اعلی تعدد آپریشن کا مقابلہ کرنے کے قابل بناتی ہیں۔ اس سے ایس آئی سی پاور ڈیوائسز نئی توانائی کی گاڑیاں (الیکٹرک کنٹرول ، چارجنگ ڈھیر) ، فوٹو وولٹک انورٹرز ، صنعتی موٹر ڈرائیوز ، سمارٹ گرڈ اور دیگر شعبوں میں اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتی ہیں ، جس سے نظام کی کارکردگی میں نمایاں بہتری آتی ہے اور سامان کے سائز اور وزن کو کم کیا جاتا ہے۔

2) گان آن سکی ایپیٹیکسی:

استعمال: ایس آئی سی سبسٹریٹس اعلی معیار کی GAN Epitaxial پرتوں (خاص طور پر اعلی تعدد ، اعلی طاقت والے آریف آلات جیسے ہیمٹس کے لئے) کے لئے مثالی ہیں جس کی وجہ یہ ہے کہ ان کی اچھی جالیوں کے ساتھ GAN (نیلم اور سلیکن کے مقابلے میں) اور انتہائی اعلی تھرمل چالکتا ہے۔

درخواست کی قیمت: ایس آئی سی سبسٹریٹس آلات کی وشوسنییتا اور کارکردگی کو یقینی بنانے کے لئے آپریشن کے دوران GAN آلات کے ذریعہ پیدا ہونے والی گرمی کی ایک بڑی مقدار کو مؤثر طریقے سے انجام دے سکتے ہیں۔ اس سے گان آن سی سی ڈیوائسز 5 جی مواصلات بیس اسٹیشنوں ، ریڈار سسٹم ، الیکٹرانک کاؤنٹر میشورز اور دیگر شعبوں میں ناقابل تلافی فوائد حاصل کرتے ہیں۔

Ⅲ. کوٹنگ کے بطور سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کا اطلاق

ایس آئی سی کوٹنگز عام طور پر سبسٹریٹ کی سطح پر جمع کیے جاتے ہیں جیسے گریفائٹ ، سیرامکس یا دھاتیں سی وی ڈی کے طریقہ کار کے ذریعہ سبسٹریٹ ایس آئی سی کو بہترین خصوصیات دینے کے ل .۔

درخواست کے مخصوص منظرنامے اور استعمال:

1) پلازما اینچنگ آلات کے اجزاء:

اجزاء کی مثالیں: شاور ہیڈز ، چیمبر لائنر ، ای ایس سی سطحیں ، فوکس کی انگوٹھی ، اینچ ونڈوز۔

استعمال: پلازما کے ماحول میں ، ان اجزاء پر اعلی توانائی کے آئنوں اور سنکنرن گیسوں کے ذریعہ بمباری کی جاتی ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگز ان اہم اجزاء کو ان کی اعلی سختی ، اعلی کیمیائی استحکام ، اور پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت سے ہونے والے نقصان سے بچاتے ہیں۔

درخواست کی قیمت: جزو کی زندگی کو بڑھاؤ ، جزو کے کٹاؤ کے ذریعہ پیدا ہونے والے ذرات کو کم کریں ، عمل میں استحکام اور تکرار کو بہتر بنائیں ، بحالی کے اخراجات اور ٹائم ٹائم کو کم کریں ، اور ویفر پروسیسنگ کی صفائی کو یقینی بنائیں۔

2) Epitaxial نمو کے سامان کے اجزاء:

اجزاء کی مثالیں: حساسین/ویفر کیریئرز ، ہیٹر عناصر۔

استعمال: اعلی درجہ حرارت ، اعلی طہارت کے ایپیٹیکسیئل نمو کے ماحول میں ، ایس آئی سی کوٹنگز (عام طور پر اعلی طہارت کا ایس آئی سی) عمل گیسوں یا نجاستوں کی رہائی کے ساتھ رد عمل کو روکنے کے لئے اعلی درجہ حرارت استحکام اور کیمیائی جڑ کو مہیا کرسکتا ہے۔

اطلاق کی قیمت: ایپیٹاکسیل پرت کے معیار اور پاکیزگی کو یقینی بنائیں ، درجہ حرارت کی یکسانیت اور کنٹرول کی درستگی کو بہتر بنائیں۔

3) عمل کے دیگر سامان کے اجزاء:

اجزاء کی مثالیں: ایم او سی وی ڈی آلات کی گریفائٹ ڈسک ، ایس آئی سی لیپت کشتیاں (بازی/آکسیکرن کے لئے کشتیاں)۔

استعمال: سنکنرن مزاحم ، اعلی درجہ حرارت سے بچنے والے ، اعلی طہارت کی سطحیں فراہم کریں۔

درخواست کی قیمت: عمل کی وشوسنییتا اور جزو کی زندگی کو بہتر بنائیں۔

Ⅳ. دوسرے مخصوص پروڈکٹ اجزاء (دوسرے مخصوص مصنوعات کے اجزاء) کے طور پر سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کا اطلاق

سبسٹریٹ اور کوٹنگ ہونے کے علاوہ ، ایس آئی سی خود بھی اس کی عمدہ جامع کارکردگی کی وجہ سے مختلف صحت سے متعلق اجزاء میں بھی عملدرآمد کیا جاتا ہے۔

درخواست کے مخصوص منظرنامے اور استعمال:

1) ویفر ہینڈلنگ اور ٹرانسفر اجزاء:

اجزاء کی مثالیں: روبوٹ اینڈ اثر دینے والے ، ویکیوم چکس ، ایج گرفت ، لفٹ پن۔

استعمال کریں: ان اجزاء کو اعلی سختی ، اعلی لباس مزاحمت ، کم تھرمل توسیع اور اعلی طہارت کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ تیز رفتار اور اعلی صحت سے متعلق ویفروں کو منتقل کرتے وقت درجہ حرارت میں تبدیلی کی وجہ سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتا ہے ، کوئی ویفر خروںچ نہیں ہوتا ہے ، اور نہ ہی کوئی خرابی ہوتی ہے۔

درخواست کی قیمت: ویفر ٹرانسمیشن کی وشوسنییتا اور صفائی کو بہتر بنائیں ، ویفر کو پہنچنے والے نقصان کو کم کریں ، اور خودکار پیداوار لائنوں کے مستحکم آپریشن کو یقینی بنائیں۔

2) اعلی درجہ حرارت کے عمل کے سامان کے ساختی حصے:

اجزاء کی مثالیں: بازی/آکسیکرن کے لئے فرنس ٹیوبیں ، کشتیاں/کینٹیلیور ، تھرموکوپل پروٹیکشن ٹیوبیں ، نوزلز۔

اطلاق: ایس آئی سی کی اعلی درجہ حرارت کی طاقت ، تھرمل جھٹکا مزاحمت ، کیمیائی جڑنی اور کم آلودگی کی خصوصیات کا استعمال کریں۔

درخواست کی قیمت: اعلی درجہ حرارت آکسیکرن ، بازی ، انیلنگ اور دیگر عملوں میں مستحکم عمل کا ماحول فراہم کریں ، سامان کی زندگی کو بڑھاؤ اور بحالی کو کم کریں۔

3) صحت سے متعلق سیرامک ​​اجزاء:

اجزاء کی مثالیں: بیرنگ ، مہریں ، رہنما ، لیپنگ پلیٹیں۔

اطلاق: ایس آئی سی کی اعلی سختی ، لباس مزاحمت ، سنکنرن مزاحمت اور جہتی استحکام کا استعمال کریں۔

اطلاق کی قیمت: کچھ مکینیکل اجزاء میں عمدہ کارکردگی جس میں اعلی صحت سے متعلق ، لمبی زندگی اور سخت ماحول کے خلاف مزاحمت کی ضرورت ہوتی ہے ، جیسے سی ایم پی (کیمیائی مکینیکل پالشنگ) کے سامان میں استعمال ہونے والے کچھ اجزاء۔

4) آپٹیکل اجزاء:

اجزاء کی مثالیں: UV/ایکس رے آپٹکس ، آپٹیکل ونڈوز کے لئے آئینے۔

استعمال: ایس آئی سی کی اعلی سختی ، کم تھرمل توسیع ، اعلی تھرمل چالکتا اور پولشیبلٹی اسے بڑے پیمانے پر ، اعلی استحکام کے آئینے (خاص طور پر خلائی دوربینوں یا سنکروٹرن تابکاری کے ذرائع میں) تیار کرنے کے لئے ایک مثالی مواد بناتی ہے۔

درخواست کی قیمت: انتہائی حالات میں بہترین آپٹیکل کارکردگی اور جہتی استحکام فراہم کرتا ہے۔