8 انچ CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) لیپت ایپیٹیکسی ٹاپ رِنگ

8 انچ SiC ایپی ٹاپ رِنگ کی اہم خصوصیات

● اعلی طہارت: 99.9995% کم از کم۔ دھات ایپی لیئر میں منتقل نہیں ہوگی۔ یہ ویفر کیریئر کی حراستی کو برقرار رکھتا ہے جہاں اسے ہونے کی ضرورت ہے۔

● پارٹیکل دبانا: CVD کا ڈھانچہ گھنا ہے۔ کوئی سوراخ نہیں۔ ٹول کے چلنے کے دوران یہ ذرات نہیں بہائے گا۔ فیکٹریاں اس طرح بہتر پیداوار دیکھتی ہیں۔

● حرارت کی مزاحمت: انگوٹھی 1500°C پر مستحکم رہتی ہے۔ کم CTE (تھرمل ایکسپینشن) کا مطلب ہے کہ تیز ہیٹ اپ/کول ڈاؤن سائیکل کے دوران کوئی وارپنگ نہیں۔

● کیمیائی استحکام: ٹھوس CVD SiC H2 اور HCl گیسوں کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔ یہ NH3 کے خلاف بھی مزاحمت کرتا ہے۔ اسے چھیلنے کے لیے کوئی کوٹنگ نہیں ہے۔ یہ سخت CVD ماحول میں انحطاط نہیں کرتا ہے۔

● اجزاء کی زندگی: سطح انتہائی سخت ہے۔ یہ بار بار HF/HCl کیمیائی صفائی سے بچتا ہے۔ یہ متبادل تعدد کو کم کرتا ہے۔ یہ فیب کے لیے ملکیت کی کل لاگت کو بھی کم کرتا ہے۔

تکنیکی وضاحتیں

بیچوں کے درمیان کوٹنگ کی موٹائی کی یکسانیت 10um پر کنٹرول کی جاتی ہے۔

ایپلی کیشنز

CVD SiC ایپی ٹاپ رِنگ بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے:

● Silicon epitaxy (Si Epi) ری ایکٹر

● سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسی (SiC Epi)

● MOCVD سسٹمز

● CVD جمع کرنے کا سامان

عام طور پر اس کے ساتھ جوڑا:

● susceptors

● ویفر کیریئرز

● پہلے سے گرم بجتی ہے۔

● ایپیٹیکسی ری ایکٹر

VETEK SiC ایپی ٹاپ کی انگوٹھی کیوں؟

● مکمل مینوفیکچرنگ کی صلاحیت: 

خام مال کی صفائی سے لے کر درست مشینی اور CVD کوٹنگ تک، VETEK سیمی کنڈکٹر گریڈ کے مستقل معیار کو یقینی بنانے کے لیے پورے پیداواری عمل کو کنٹرول کرتا ہے۔

● اعلی درستگی: 

ہم مائکرون سطح کی مشینی استعمال کرتے ہیں۔ CVD کی موٹائی بہت یکساں ہے۔ اس سے ہر انگوٹھی بالکل اسی طرح پرفارم کرتی ہے۔

اکثر پوچھے گئے سوالات

(1) SiC ایپی ٹاپ رِنگ کیا کرتی ہے؟

انگوٹی گرمی اور گیس کے بہاؤ کا انتظام کرتی ہے۔ یہ یقینی بناتا ہے کہ پتلی فلم پورے ویفر میں یکساں طور پر بڑھتی ہے۔

(2) CVD SiC گریفائٹ سے بہتر کیوں ہے؟

گریفائٹ غیر محفوظ ہے۔ گریفائٹ میں سوراخ ہوتے ہیں اور گیس خارج ہوتی ہے۔ ٹھوس CVD SiC گھنا اور صاف ہے۔ یہ corrosive ٹولز میں زیادہ دیر تک رہتا ہے۔

(3) کیا 8 انچ کی SiC ٹاپ کی انگوٹھی کو اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے؟

جی ہاں ہم آپ کے مخصوص ٹول ڈرائنگ کے مطابق بناتے ہیں۔ ہم آپ کے عمل کی بنیاد پر جیومیٹری کو ایڈجسٹ کر سکتے ہیں۔

(4) کون سی صنعتیں SiC epitaxy rings استعمال کرتی ہیں؟

وہ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہوتے ہیں، بشمول پاور ڈیوائسز، آر ایف ڈیوائسز، اور سی سی ویفر پروڈکشن۔