مواد اور ڈیزائن

مماثل سبسٹریٹ اور کوٹنگ کے امتزاج کا انتخاب وقت سے پہلے اجزاء کی ناکامی کو روکنے، ذرات کی آلودگی کو کم کرنے، اور ویفر کی پیداوار کو زیادہ سے زیادہ کرنے کی کلید ہے۔ ہم کسٹمر کی مخصوص پراسیس ونڈو (آپریٹنگ ٹمپریچر، ری ایکٹیو گیس کیمسٹری، ریمپ ریٹس) کے ارد گرد موزوں مواد اور ساختی ڈیزائن کے حل فراہم کرتے ہیں۔

ہماری بنیادی ڈیزائن کی صلاحیتیں:

سخت CTE تناؤ کا ملاپ:تیز رفتار تھرمل سائیکلنگ (>100 °C/min) کے لیے، ہم اعلیٰ پیوریٹی گریفائٹ سبسٹریٹس اور CVD کوٹنگز کے CTE درجہ حرارت کے منحنی خطوط سے بالکل مماثلت رکھتے ہیں، بنیادی طور پر کوٹنگ ڈیلامینیشن اور مائیکرو کریکنگ کے خطرے کو کم کرتے ہیں۔
عمل کے منظر نامے کے لیے مخصوص کوٹنگ کا انتخاب:Si/SiC epitaxy (Epi)، MOCVD، اور پلازما اینچنگ ماحول کے لیے CVD SiC کوٹنگ؛ اعلی درجہ حرارت اور سختی سے سنکنرن حالات کے لیے CVD TaC کوٹنگ (مثال کے طور پر، SiC سنگل کرسٹل PVT گروتھ)۔
قابل کنٹرول مزاحمتی اور تھرمل چالکتا کی اصلاح:RF، ESC الیکٹرو سٹیٹک چکس، یا ہیٹنگ زونز کی مخصوص الیکٹریکل اور تھرمل فیلڈ کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے سبسٹریٹ اور کوٹنگ کی بلک ریسسٹیوٹی اور تھرمل چالکتا کا قطعی کنٹرول۔
آلودگی کے ماخذ کنٹرول اور CoO میں کمی:اعلیٰ پاکیزگی والی CVD جمع کرنے والی تہیں غیر محفوظ گریفائٹ کو گھنے طور پر سیل کرتی ہیں، جس سے ذرہ کے بہانے، الٹرا ٹریس میٹل ناپاک پھیلاؤ، اور اعلی درجہ حرارت کے باہر گیس کے خطرے کو نمایاں طور پر کم کیا جاتا ہے۔

عام کوٹنگ کے انتخاب کا موازنہ (ایک نظر میں گائیڈ)

کوٹنگ	عام درخواست کی ہدایات	بنیادی فوائد
CVD SiC	Si/SiC ایپیٹیکسی (Epi)، MOCVD، جزوی پلازما ایچنگ	اعلی طہارت، اچھی تھرمل استحکام، کیمیائی سنکنرن مزاحمت، اعلی مجموعی لاگت کی کارکردگی
CVD TaC	اعلی درجہ حرارت SiC سنگل کرسٹل گروتھ (PVT)، انتہائی اعلی درجہ حرارت بوجھ برداشت کرنے والے اجزاء	اعلی درجہ حرارت کی درجہ بندی (>1600 ° C)، مضبوط سنکنرن مزاحمت، بہترین آکسیکرن مزاحمت

حقیقی معاملہ اور کسٹمر کے فوائد (تجربہ):

ایک معروف SiC epitaxy (Epi) بنانے والا:اصل جزو نے غیر مماثل CVD TaC کوٹنگ کا استعمال کیا، جس کے نتیجے میں ضرورت سے زیادہ انٹرفیشل تناؤ اور اعلی درجہ حرارت پر بار بار مائیکرو کریکس کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ ہم نے thermodynamic simulations کو دوبارہ چلایا اور a پر سوئچ کیا۔CTE سے مماثل خصوصی اعلی طہارت گریفائٹ سبسٹریٹ + بفر لیئر + CVD SiC کوٹنگحل نتیجہ: جزو کی اوسط زندگی 200 گھنٹے سے بڑھ کر 850 گھنٹے ہو گئی۔ سالانہ متبادل تعدد فی ٹول 40 سے 9 گنا تک گر گئی۔ جامع آلات O&M لاگت کی بچت RMB 650,000 سالانہ سے تجاوز کر گئی۔

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

TaC اور SiC کوٹنگز کے لیے GDMS طہارت کے تجزیہ کی رپورٹ

اکثر پوچھے گئے سوالات

1. سوال: میں CVD SiC کوٹنگ اور CVD TaC کوٹنگ کے درمیان کیسے انتخاب کروں؟

▼

A:اپنے عمل کے درجہ حرارت اور گیس فیز سنکنرن کی شدت کو دیکھیں۔ اگر عمل کا درجہ حرارت 1000 ° C سے کم ہے اور بنیادی طور پر Cl₂/F₂ پر مبنی اینچنگ یا روایتی ایپیٹیکسی شامل ہے، تو منتخب کریںCVD SiCبہترین لاگت کی کارکردگی کے لیے؛ اگر عمل کا درجہ حرارت 1200 ° C سے زیادہ ہے اور اس میں سخت سنکنرن ماحول شامل ہے (مثال کے طور پر، SiC PVT سنگل کرسٹل گروتھ)، ہم تجویز کرتے ہیںCVD TaC، جو اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن مزاحمت پیش کرتا ہے۔ ہم آپ کے مخصوص عمل کے پیرامیٹرز کی بنیاد پر مفت انتخاب کی سفارش کی رپورٹ فراہم کر سکتے ہیں۔

2. سوال: کیا آپ سنگل پیس/چھوٹے بیچ کی پروٹو ٹائپنگ کی حمایت کرتے ہیں؟ لیڈ ٹائم کیا ہے؟

▼

A:جی ہاں! ریورس انجینئرنگ پروٹو ٹائپس کے لیے،MOQ 1 ٹکڑا ہے۔. روایتی سادہ حصوں کے لیے، نمونے کی وصولی سے لے کر نقشے والے حصے کی ترسیل تک، تیز ترین لیڈ ٹائم تقریباً ہے10-15 کام کے دن; پیچیدہ کوٹنگ کے عمل میں شامل حصوں کے لئے یہ تقریبا ہے20-25 کام کے دن. فوری تشخیص کے لیے ہمارے انجینئرز سے رابطہ کریں۔

3. سوال: استعمال کے دوران گریفائٹ کے پرزوں پر سی وی ڈی کوٹنگ ڈیلامینیشن کی کیا وجہ ہے؟ کیا اسے حل کیا جا سکتا ہے؟

▼

A:90% ڈیلامینیشن کیسز گریفائٹ سبسٹریٹ کے تھرمل ایکسپینشن (CTE) کے گتانک اور کوٹنگ کے درمیان مماثلت کی وجہ سے ہوتے ہیں، جس کی وجہ سے تیزی سے حرارتی / ٹھنڈک کے تحت تھکاوٹ چھیل جاتی ہے۔ ہمارا حل: سب سے پہلے اپنے اصل حصے کے CTE وکر کی درست پیمائش کریں، پھر خاص طور پر سبسٹریٹ کی کثافت اور جمع کرنے والے درجہ حرارت کے میلان کو ایڈجسٹ کریں تاکہ دونوں CTEs انتہائی مماثل ہوں۔ بانڈ کی طاقت سے زیادہ تک بہتر کیا جا سکتا ہے1.5 گناصنعت روایتی سطح.

4. سوال: کیا آپ مصنوعات کے لیے CoA (تجزیہ کا سرٹیفکیٹ) فراہم کر سکتے ہیں؟ اس میں کون سا ڈیٹا شامل ہے؟

▼

A:ہر بھیجے گئے پروڈکٹ کے ساتھ معیاری آتا ہے۔منفرد سیریل نمبر + مکمل CoA رپورٹ. رپورٹ میں شامل ہیں: اہم جہت CMM معائنہ کا ڈیٹا، ملٹی پوائنٹ کوٹنگ موٹائی کی تقسیم کا نقشہ، سطح کی کھردری (Ra) قدریں، اور مادی پاکیزگی (GDMS) کے تجزیہ کے نتائج۔