Aixtron MOCVD رسیپٹر

کی طرف سے تیار Susceptorsیہ سیمیکمڈکٹرگریفائٹ سبسٹریٹ اور سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کوٹنگ میٹریل سے بنے ہیں۔ اعلی لباس کی مزاحمت ، سنکنرن مزاحمت اور ایس آئی سی مادے کی انتہائی اعلی سختی کو دیکھتے ہوئے ، یہ خاص طور پر سخت عمل کے ماحول میں استعمال کے ل suitable موزوں ہے۔ لہذا ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے ذریعہ تیار کردہ حساسیت دہندگان کو اضافی سطح کے علاج کے بغیر اعلی درجہ حرارت MOCVD عمل میں براہ راست استعمال کیا جاسکتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، خاص طور پر پتلی فلم جمع کرنے کے عمل کے لیے MOCVD آلات میں سسپٹرز کلیدی اجزاء ہیں۔ کا مرکزی کردارAixtron SiC وصول کنندہایم او سی وی ڈی کے عمل میں سیمیکمڈکٹر ویفرز کو لے جانا ہے ، یکساں گرمی کی تقسیم اور رد عمل کا ماحول فراہم کرکے پتلی فلموں کی یکساں اور اعلی معیار کے جمع کو یقینی بنانا ہے ، اور اس طرح اعلی معیار کی پتلی فلم کی تیاری کو حاصل کرنا ہے۔

Aixtron MOCVD رسیپٹرجمع ہونے کے عمل کے دوران ویفر کے استحکام کو یقینی بنانے کے لئے عام طور پر سیمیکمڈکٹر ویفرز کی بنیاد کی حمایت اور ٹھیک کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔ ایک ہی وقت میں ، آئکسٹرون ایم او سی وی ڈی سوسیسٹر کی سطح کی کوٹنگ سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) سے بنی ہے ، جو ایک انتہائی تھرمل کنڈکٹو مواد ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ ویفر کی سطح پر یکساں درجہ حرارت کو یقینی بناتی ہے ، اور اعلی معیار کی فلموں کے حصول کے لئے یکساں حرارتی نظام ضروری ہے۔

مزید یہ کہAixtron MOCVD رسیپٹرہم مواد کے بہتر ڈیزائن کے ذریعے رد عمل گیسوں کے بہاؤ اور تقسیم کو کنٹرول کرنے میں زیادہ سے زیادہ کردار ادا کرتے ہیں۔ یکساں فلمی جمع کو حاصل کرنے کے لئے ایڈی دھارے اور درجہ حرارت کے تدریج سے پرہیز کریں۔

زیادہ اہم بات یہ ہے کہ MOCVD کے عمل میں، سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ مواد میں سنکنرن مزاحمت ہوتی ہے، لہذایہ سیمیکمڈکٹرکیAixtron MOCVD رسیپٹراعلی درجہ حرارت اور سنکنرن گیسوں کو بھی برداشت کر سکتا ہے۔

کی بنیادی جسمانی خصوصیاتsic کوٹنگ:

VeTek سیمی کنڈکٹر ویفر بوٹ کی دکانیں۔:

سیمی کنڈکٹر چپ ایپیٹیکسی انڈسٹری چین کا جائزہ: