AMAT کور ٹاپ کوارٹز 8 انچ PCII

AMAT کور ٹاپ کوارٹز 8 انچ PCII (پارٹ نمبر 0200-00218) ایک اعلیٰ پیوریٹی کوارٹج جزو ہے جو 200mm (8-inch) PVD پراسیس چیمبرز میں استعمال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، خاص طور پر Applied Material Endura® پلیٹ فارم (PCII چیمبر) کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے۔

الٹرا ہائی پیوریٹی فیوزڈ کوارٹز سے تیار کردہ، یہ جزو آلودگی کو کم سے کم کرکے اور مسلسل پلازما کے رویے کو یقینی بنا کر صاف اور مستحکم جمع ماحول کو برقرار رکھنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔

ویٹیک سیمی کنڈکٹر میں، ہم سخت مادی کنٹرول اور جہتی درستگی کے ساتھ درست انجنیئر کوارٹز پرزے فراہم کرتے ہیں، جو سیمی کنڈکٹر فیبس اور آلات کی خدمت فراہم کرنے والوں کے لیے قابل اعتماد متبادل پیش کرتے ہیں۔

کلیدی وضاحتیں:

عمل کی درخواست اور چیمبر کی پوزیشن

یہ کوارٹج کور خاص طور پر PVD سپٹرنگ کے عمل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو کہ ایلومینیم (Al)، ٹائٹینیم (Ti)، اور تانبے (Cu) جیسی دھات کی پتلی فلم جمع کرنے کے لیے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔

چیمبر کی پوزیشن

یہ جزو PVD چیمبر کے اوپری حصے میں نصب کیا جاتا ہے، جسے عام طور پر ٹاپ کور ریجن کہا جاتا ہے، جہاں یہ سامنے آتا ہے:

● پلازما ڈسچارج زونز

● گیس کے بہاؤ کے راستوں پر کارروائی کریں۔

● دھاتی ذرہ جمع کرنے والے ماحول

چیمبر میں فعال کردار

چیمبر کی ساخت کے اندر، کور ٹاپ کوارٹز ایک غیر دھاتی حفاظتی رکاوٹ اور موصل عنصر کے طور پر کام کرتا ہے، جو ویفر کے اوپر اور ہدف کے علاقے کے قریب واقع ہوتا ہے۔

اس کی جگہ کا تعین اس کے لیے اہم ہے:

● حساس چیمبر کے اجزاء کو دھات کے جمع ہونے سے بچانا

● RF پلازما کے ماحول میں برقی موصلیت کو برقرار رکھنا

● مستحکم اور دوبارہ قابل عمل عمل کے حالات کی حمایت کرنا

بنیادی افعال اور کارکردگی کے فوائد

1) آلودگی کا کنٹرول

پی وی ڈی کے عمل کے دوران، پھٹے ہوئے دھات کے ایٹم نہ صرف ویفرز پر بلکہ اندرونی چیمبر کی سطحوں پر بھی جمع ہوتے ہیں۔

یہ کوارٹج کور:

● قربانی کی حفاظتی تہہ کے طور پر کام کرتا ہے۔

● اہم چیمبر کے ڈھانچے پر دھاتی جمع ہونے کو روکتا ہے۔

● ذرات کی پیداوار اور کراس آلودگی کو کم کرتا ہے۔

نتیجہ: بہتر ویفر کی پیداوار اور عمل کی صفائی

2) پلازما استحکام اور برقی موصلیت

اس کی عمدہ ڈائی الیکٹرک خصوصیات کی بدولت، اعلی طہارت کوارٹج یقینی بناتا ہے:

● مستحکم RF فیلڈ کی تقسیم

● برقی مداخلت کا کم خطرہ

● عمل کے چکروں میں مسلسل پلازما کی کثافت

نتیجہ: بہتر فلمی یکسانیت اور تکرار کی اہلیت

3) اعلیٰ مادی پاکیزگی

Vetek سیمی کنڈکٹر ناپاکی کے تعارف کو کم کرنے کے لیے انتہائی اعلیٰ پیوریٹی کوارٹج مواد کا استعمال کرتا ہے۔

● کم دھاتی آلودگی

● ویکیوم حالات میں کم سے کم باہر نکلنا

● اعلی درجے کے سیمی کنڈکٹر نوڈس کے لیے موزوں

نتیجہ: فیب لیول کی صفائی کے سخت معیارات پر پورا اترتا ہے۔

4) بہترین پلازما اور تھرمل مزاحمت

جزو کو برداشت کرنے کے لیے بنایا گیا ہے:

● پلازما کا کٹاؤ اور آئن کی بمباری

● بار بار تھرمل سائیکلنگ

نتیجہ: طویل خدمت زندگی اور کم دیکھ بھال کی تعدد

5) لاگت سے موثر قابل استعمال ڈیزائن

قابل بدلی چیمبر کے قابل استعمال کے طور پر، یہ حصہ:

● مہنگے چیمبر ہارڈ ویئر کی حفاظت کرتا ہے۔

● دیکھ بھال کے چکروں کو آسان بناتا ہے۔

● ملکیت کی کل لاگت کو کم کرتا ہے (TCO)

کیوں Vetek سیمی کنڈکٹر کا انتخاب کریں؟

Vetek Semiconductor میں، ہم اعلیٰ کارکردگی والے کوارٹج اجزاء کی فراہمی کے لیے میٹریل سائنس کی مہارت کو سیمی کنڈکٹر کے عمل کی سمجھ کے ساتھ جوڑتے ہیں۔

ہمارے فوائد:

● سخت رواداری کے ساتھ صحت سے متعلق مشینی

● سخت خام مال کا انتخاب اور ٹریس ایبلٹی

● AMAT Endura پلیٹ فارمز کے ساتھ ثابت شدہ مطابقت

● عالمی سیمی کنڈکٹر صارفین کے لیے مستحکم فراہمی

● تخصیص اور اصلاح کے لیے انجینئرنگ سپورٹ