مصنوعات
سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک
  • سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چکسیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک

سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک

سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک وسیع پیمانے پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ اور پروسیسنگ میں ویفرز کو ٹھیک کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔ یہ اعلی صحت سے متعلق ویفر پروسیسنگ کے لئے ایک ناگزیر ٹول ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر ایک تجربہ کار کارخانہ دار اور سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک کا فراہم کنندہ ہے ، اور مختلف صارفین کی ضروریات کے مطابق انتہائی اپنی مرضی کے مطابق مصنوعات مہیا کرسکتا ہے۔

سیمیکمڈکٹر کی پیداوار کے عمل ، خاص طور پر ویفر پروسیسنگ ، ویکیوم ماحول میں انجام دیئے جاتے ہیں ، اور میکانکی طور پر کلیمپنگ ویفرز لے جاتے ہیں 

Ceramic Electrostatic Chuck

کچھ خطرات جب فورس کلیمپنگ پوائنٹ پر مرکوز ہوتی ہے تو ، ٹوٹنے والی سلیکن ویفرز چھوٹے چھوٹے ٹکڑے ڈال سکتے ہیں ، جس سے ویفر کی پیداوار کو شدید نقصان ہوتا ہے۔


اس معاملے میں ، سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک ایک بہتر انتخاب بن جاتا ہے ، جو الیکٹرو اسٹاٹک فورس کے ذریعہ ویفر کو ٹھیک کرتا ہے۔ الیکٹرو اسٹاٹک فورس ویفر پر یکساں طور پر کام کرتی ہے ، لہذا اس عمل کی درستگی کو بہتر بنانے کے ساتھ ، ویفر کو صاف طور پر طے کیا جاسکتا ہے۔


متعلقہ تحقیقی مقالوں کے مطابق ، سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک کے پاس دوسرے الیکٹرو اسٹاٹک چکس کے مقابلے میں مضبوط سکشن ہے۔ مثال کے طور پر ، سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک میں پالتو جانوروں کی فلم الیکٹروسٹیٹک چک سے کہیں زیادہ مضبوط سکشن ہے۔


Ceramic E-chuck Physical Propertiesسیرامکس چک عام طور پر اعلی کارکردگی والے سیرامک ​​مواد جیسے AL2O3 ، ALN یا SIC سے بنا ہوتا ہے ، جس میں گرمی کی مزاحمت ، موصلیت اور سنکنرن مزاحمت زیادہ ہوتی ہے۔ غیر محفوظ ایس آئی سی سیرامک ​​چک نہ صرف انتہائی درجہ حرارت پر مستحکم ہے ، بلکہ مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران کیمیائی ریجنٹس اور پلازما اینچنگ کی وجہ سے سیرامک ​​ای چک کو ہراس سے روکتا ہے۔


درجہ حرارت پر قابو پانا: سیرامک ​​مواد کی اعلی تھرمل چالکتا اور مستحکم تھرمل خصوصیات ایلومینا سیرامک ​​ویکیوم چک کو درجہ حرارت کو مؤثر طریقے سے کنٹرول کرنے کے قابل بناتی ہیں ، اور اس طرح عمل کے دوران درجہ حرارت کی تقسیم کو بہتر بناتی ہیں۔

Ceramic E-chuck working diagram



ویکیوم موافقت: سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک ویکیوم ماحول کے لئے موزوں ہے ، خاص طور پر کم دباؤ اور اعلی صحت سے متعلق اینچنگ کے عمل میں۔


کم ذرہ نسل: غیر محفوظ SIC سیرامک ​​ای چک ایک ہموار سطح رکھتا ہے ، جو ویفر فکسنگ کے دوران ذرہ آلودگی کو کم کرسکتا ہے اور مصنوعات کی پیداوار کو بہتر بنانے میں مدد کرسکتا ہے۔


ایپلی کیشن: بنیادی طور پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ ، علیحدہ سیرامک ​​الیکٹروسٹیٹک چک میں استعمال کیا جاتا ہے جو عین مطابق پوزیشننگ اور استحکام فراہم کرتا ہے ، جو لتھوگرافی ، اینچنگ اور دیگر سیمیکمڈکٹر ویفر پروسیسنگ مینوفیکچرنگ کے عمل کے لئے بہت مددگار ہے۔ اس بات کو یقینی بنائیں کہ پروسیسنگ کے دوران ویفر برقرار ہے اور چپ کی پیداوار کے معیار کو بہتر بناتا ہے۔


یہ سیمیکمڈکٹرسیرامک ​​ای چک پروڈکشن شاپس:


Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment


ہاٹ ٹیگز: سیرامک ​​الیکٹرو اسٹاٹک چک
انکوائری بھیجیں۔
رابطہ کی معلومات
  • پتہ

    وانگڈا روڈ ، زیانگ اسٹریٹ ، ووئی کاؤنٹی ، جنہوا سٹی ، صوبہ جیانگ ، چین ، چین

  • ٹیلی فون

    +86-18069220752

  • ای میل

    anny@veteksemi.com

سیلیکون کاربائیڈ کوٹنگ، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ، خصوصی گریفائٹ یا قیمت کی فہرست کے بارے میں پوچھ گچھ کے لیے، براہ کرم ہمیں اپنا ای میل بھیجیں اور ہم 24 گھنٹوں کے اندر رابطے میں رہیں گے۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept