سی ایم پی پالش کرنے والی گندگی

ویٹیکسیمن کی سی ایم پی پالش کرنے والی گندگی بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر مواد کی منصوبہ بندی کرنے کے لئے سی ایم پی کیمیائی مکینیکل پالش کرنے والی گندگی میں پالش کرنے والی کھردری کے طور پر استعمال ہوتی ہے۔ اس کے مندرجہ ذیل فوائد ہیں:

الٹرا ہائی پیوریٹی سیریز کی مصنوعات کے لئے کارکردگی کے اشارے

اعلی طہارت سیریز کی مصنوعات کے لئے کارکردگی کی وضاحتیں

پیرامیٹر	یونٹ	اعلی طہارت سیریز کی مصنوعات کے لئے کارکردگی کی وضاحتیں
		WGXY-1Z	wgxy-2Z	WGXY-3Z	wgxy-4Z	WGXY-5Z	wgxy-6Z	WGXY-7Z
اوسط سلکا ذرہ سائز	nm	35 ± 5	45 ± 5	65 ± 5	75 ± 5	85 ± 5	100 ± 5	120 ± 5
نانو پارٹیکل سائز کی تقسیم (PDI)	1	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
حل پی ایچ	1	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2
ٹھوس مواد	%	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40
ظاہری شکل	--	ہلکا نیلا	نیلے رنگ	سفید	آف وائٹ	آف وائٹ	آف وائٹ	آف وائٹ
ذرہ مورفولوجی x	x ： s- pererical ； b- مڑے ہوئے ； p- مونگ پھلی کے سائز کا ； t- بلبس ； c- چین کی طرح (مجموعی حالت)
آئنوں کو مستحکم کرنا	ایم: نامیاتی امائن ؛ K: پوٹاشیم ہائیڈرو آکسائیڈ ؛ N: سوڈیم ہائڈرو آکسائیڈ ؛ یا دوسرے اجزاء
دھات کی ناپاک مواد	زیڈ: اعلی طہارت سیریز (H سیریز $1 پی پی ایم ؛ ایل سیریز $ 10 پی پی ایم) ؛ معیاری سیریز (ایم سیریز ≤300ppm)

سی ایم پی پالش کرنے والی سلوری پروڈکٹ ایپلی کیشنز ：

● مربوط سرکٹ ILD مواد CMP

● مربوط سرکٹ پولی سی مواد سی ایم پی

● سیمیکمڈکٹر سنگل کرسٹل سلیکن ویفر مواد سی ایم پی

● سیمیکمڈکٹر سلیکن کاربائڈ میٹریل سی ایم پی

● مربوط سرکٹ STI مواد CMP

● مربوط سرکٹ میٹل اور میٹل بیریئر پرت مواد سی ایم پی