سیمی کنڈکٹر تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی

سیمی کنڈکٹر تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی ایک جدید عمل ہے جو پگھلی ہوئی یا نیم پگھلی ہوئی حالت میں مواد کو کوٹنگ بنانے کے لیے سبسٹریٹ کی سطح پر اسپرے کرتا ہے۔ یہ ٹکنالوجی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے، بنیادی طور پر سبسٹریٹ کی سطح پر مخصوص افعال کے ساتھ کوٹنگز بنانے کے لیے استعمال ہوتی ہے، جیسے چالکتا، موصلیت، سنکنرن مزاحمت، اور آکسیڈیشن مزاحمت۔ تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی کے اہم فوائد میں اعلی کارکردگی، قابل کنٹرول کوٹنگ کی موٹائی، اور اچھی کوٹنگ چپکنا شامل ہیں، جو اسے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں خاص طور پر اہم بناتا ہے جس کے لیے اعلیٰ درستگی اور بھروسے کی ضرورت ہوتی ہے۔

سیمیکمڈکٹرز میں تھرمل اسپرےنگ ٹکنالوجی کا اطلاق

پلازما بیم اینچنگ (خشک اینچنگ)

عام طور پر پلازما اور الیکٹرانوں جیسے چارج شدہ ذرات پر مشتمل پلازما فعال ذرات پیدا کرنے کے لئے چمکدار خارج ہونے والے مادہ کے استعمال سے مراد ہوتا ہے اور انتہائی کیمیائی طور پر فعال غیر جانبدار ایٹم اور انو اور آزاد ریڈیکلز ، جو کھڑے ہونے والے حصے پر پھیلا ہوا ہے ، کھڑے ہوئے مادے کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہیں ، اتار چڑھاؤ کرتے ہیں۔ مصنوعات اور ہٹا دیئے جاتے ہیں ، اس طرح پیٹرن کی منتقلی کی اینچنگ ٹکنالوجی کو مکمل کرتے ہیں۔ الٹرا بڑے پیمانے پر انٹیگریٹڈ سرکٹس کی تیاری میں فوٹوولیتھوگرافی ٹیمپلیٹس سے ٹھیک نمونوں کی اعلی مخلصانہ منتقلی کا ادراک کرنے کے لئے یہ ایک ناقابل تلافی عمل ہے۔

فعال آزاد ریڈیکلز کی ایک بڑی تعداد جیسے سی ایل اور ایف تیار کی جائے گی۔ جب وہ سیمیکمڈکٹر ڈیوائسز کو جنم دیتے ہیں تو ، وہ آلات کے دوسرے حصوں کی اندرونی سطحوں کو کور کرتے ہیں ، جن میں ایلومینیم مرکب اور سیرامک ​​ساختی حصے شامل ہیں۔ اس مضبوط کٹاؤ سے ذرات کی ایک بڑی تعداد پیدا ہوتی ہے ، جس میں نہ صرف پیداواری سامان کی بار بار دیکھ بھال کی ضرورت ہوتی ہے ، بلکہ انچنگ کے عمل کے چیمبر کی ناکامی اور شدید معاملات میں اس آلے کو ہونے والے نقصان کا بھی سبب بنتا ہے۔

Y2O3 ایک ایسا مواد ہے جس میں انتہائی مستحکم کیمیائی اور تھرمل خصوصیات ہیں۔ اس کا پگھلنے کا نقطہ 2400 سے کہیں زیادہ ہے۔ یہ ایک مضبوط سنکنرن ماحول میں مستحکم رہ سکتا ہے۔ پلازما بمباری کے خلاف اس کی مزاحمت اجزاء کی خدمت کی زندگی کو بہت بڑھا سکتی ہے اور اینچنگ چیمبر میں ذرات کو کم کرسکتی ہے۔

مرکزی دھارے کا حل یہ ہے کہ ایچنگ چیمبر اور دیگر اہم اجزاء کی حفاظت کے لیے اعلیٰ پاکیزگی والی Y2O3 کوٹنگ کا سپرے کیا جائے۔