سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ محافظ

مصنوعات کی پوزیشننگ اور بنیادی افعال ：

ایل پی ای سلیکن کاربائڈ ایپیٹاکسیل آلات میں سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ پروٹیکٹر ایک کلیدی جزو ہے ، جو بنیادی طور پر رد عمل چیمبر کی داخلی ڈھانچے کی حفاظت اور عمل کے استحکام کو بہتر بنانے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔ اس کے بنیادی افعال میں شامل ہیں:

سنکنرن سے تحفظ: کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے عمل کے ذریعہ تشکیل دی گئی سلیکن کاربائڈ کوٹنگ کلورین/فلورین پلازما کے کیمیائی سنکنرن کی مزاحمت کرسکتی ہے اور یہ سخت ماحول جیسے اینچنگ آلات کے لئے موزوں ہے۔

تھرمل مینجمنٹ: سلیکن کاربائڈ مواد کی اعلی تھرمل چالکتا رد عمل چیمبر میں درجہ حرارت کی یکسانیت کو بہتر بنا سکتی ہے اور ایپیٹیکسیل پرت کے معیار کو بہتر بنا سکتی ہے۔

آلودگی کو کم کرنا: استر کے جزو کے طور پر ، یہ رد عمل کے ذریعہ مصنوعات کو براہ راست چیمبر سے رابطہ کرنے سے روک سکتا ہے اور سامان کی بحالی کے چکر کو بڑھا سکتا ہے۔

تکنیکی خصوصیات اور ڈیزائن ：

ساختی ڈیزائن:

عام طور پر اوپری اور نچلے آدھے چاند کے حصوں میں تقسیم ہوتا ہے ، انگوٹھی کے سائز کا حفاظتی ڈھانچہ تشکیل دینے کے لئے ٹرے کے گرد متوازی طور پر نصب کیا جاتا ہے۔

ہوا کے بہاؤ کی تقسیم اور پلازما پر توجہ دینے والے اثرات کو بہتر بنانے کے لئے ٹرے اور گیس شاور سر جیسے اجزاء کے ساتھ تعاون کرنا۔

کوٹنگ کا عمل:

سی وی ڈی کا طریقہ اعلی طہارت ساک کوٹنگز کو جمع کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے ، جس میں فلمی موٹائی کی یکسانیت ± 5 ٪ کے اندر اور سطح کی کھردری کے ساتھ کم ہے۔

عام کوٹنگ کی موٹائی 100-300μm ہے ، اور اس سے درجہ حرارت کے اعلی ماحول 1600 ℃ کا مقابلہ ہوسکتا ہے۔

درخواست کے منظرنامے اور کارکردگی کے فوائد ：

قابل اطلاق سامان:

بنیادی طور پر ایل پی ای کے 6 انچ 8 انچ سلیکن کاربائڈ ایپیٹیکسیل فرنس کے لئے استعمال کیا جاتا ہے ، جس میں ایس آئی سی ہوموپیٹیکسیل نمو کی حمایت کی جاتی ہے۔

انچنگ آلات ، MOCVD سازوسامان اور دیگر منظرناموں کے لئے موزوں ہے جن میں اعلی سنکنرن مزاحمت کی ضرورت ہوتی ہے۔

کلیدی اشارے:

تھرمل توسیع گتانک: 4.5 × 10⁻⁶/K (تھرمل تناؤ کو کم کرنے کے لئے گریفائٹ سبسٹریٹ کے ساتھ ملاپ) ؛

مزاحمتی: 0.1-10Ω · سینٹی میٹر (چالکتا کی ضروریات کو پورا کرنا) ؛

خدمت زندگی: روایتی کوارٹج/سلیکن مواد سے 3-5 گنا لمبا۔

تکنیکی رکاوٹیں اور چیلنجز

اس پروڈکٹ کو عمل کی مشکلات پر قابو پانے کی ضرورت ہے جیسے کوٹنگ یکسانیت کنٹرول (جیسے کنارے کی موٹائی معاوضہ) اور سبسٹریٹ کوٹنگ انٹرفیس بانڈنگ آپٹیمائزیشن (≥30MPA) ، اور اسی وقت ایل پی ای آلات کی تیز رفتار گردش (1000RPM) اور درجہ حرارت کی تدریجی تقاضوں سے ملنے کی ضرورت ہے۔