CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) لیپت RTP سسپٹر

خصوصیات

• تھرما یکسانیت - مواد کا اعلی تھرمل diffusivity تیز رفتار، مقامی طور پر یکساں حرارت کی منتقلی کو قابل بناتی ہے، جو دوبارہ قابل ویفر درجہ حرارت پروفائلز کو سپورٹ کرتی ہے۔
• اعلی پاکیزگی کی سطح - CVD SiC کوٹنگ 99.99995% کی پاکیزگی حاصل کرتی ہے، جس سے اہم عمل کے مراحل میں موبائل آئن اور دھات کی آلودگی کے خطرات کو مؤثر طریقے سے کم کیا جاتا ہے۔
• کیمیائی پائیداری - کوٹنگ بلند درجہ حرارت کے تحت، ہالوجن پر مبنی گیسوں سمیت، سنکنار پرجاتیوں کے خلاف سخت مزاحمت کی نمائش کرتی ہے۔
• ڈیزائن لچک - طول و عرض اور کنفیگریشنز کو مخصوص RTP چیمبر جیومیٹریز اور ویفر سائز سے مماثل کیا جا سکتا ہے۔

ایپلی کیشنز

• ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP)
• ریپڈ تھرمل اینیلنگ (RTA)
• ڈوپینٹ ایکٹیویشن آکسیکرن اور اینیلنگ کے اقدامات
• انٹیگریٹڈ سرکٹ (آئی سی) مینوفیکچرنگ
• پاور ڈیوائس فیبریکیشن ٹیکنیکل
  
  

وضاحتیں

VeTek سیمی کنڈکٹر کیوں منتخب کریں۔?

• اندرون خانہ CVD SiC کوٹنگ کا عمل خاص طور پر سیمی کنڈکٹر گریڈ کی ضروریات کے لیے تیار کیا گیا ہے۔
• گریفائٹ صاف کرنے، صحت سے متعلق مشینی، اور کوٹنگ کی موٹائی کنٹرول کے لیے مربوط صلاحیتیں۔
• بیچ کی پیداوار میں ثابت شدہ کوٹنگ آسنجن اور پرت کی یکسانیت۔
• بڑے RTP ٹول پلیٹ فارمز کے ساتھ ہم آہنگ کسٹم سسیپٹر ڈیزائنز کے لیے انجینئرنگ سپورٹ۔
• آنے والے مواد کا سخت معائنہ، عمل کے دوران نگرانی، اور حتمی قابلیت کی جانچ بیچ سے بیچ کی مستقل مزاجی کو یقینی بناتی ہے۔