ٹھوس سی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ

ویٹیک سیمیکمڈکٹر نے سی وی ڈی ٹھوس ایس آئی سی ٹکنالوجی میں بہت ترقی کی ہے اور اب وہ دنیا کے معروف سطح کے ساتھ ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ تیار کرنے میں کامیاب ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر کی ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ کیمیائی بخارات جمع کرنے کے عمل کے ذریعے تخلیق کردہ ایک الٹرا ہائی پیوریٹی سلیکن کاربائڈ میٹریل پروڈکٹ ہے۔

ٹھوس sic اینچنگ فوکسنگ رنگ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں خاص طور پر پلازما اینچنگ سسٹم میں استعمال ہوتا ہے۔ ایس آئی سی فوکس رنگ ایک اہم جزو ہے جو سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) ویفرز کے عین مطابق اور کنٹرول شدہ اینچنگ کو حاصل کرنے میں مدد کرتا ہے۔

پلازما اینچنگ کے عمل کے دوران ، فوکس کی انگوٹھی متعدد کردار ادا کرتی ہے جیسا کہ مندرجہ ذیل ہیں:

● پلازما پر توجہ مرکوز کرنا: ٹھوس SiC ایچنگ فوکس کرنے والی انگوٹی ویفر کے ارد گرد پلازما کو شکل دینے اور مرکوز کرنے میں مدد کرتی ہے، اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ اینچنگ کا عمل یکساں اور مؤثر طریقے سے ہو۔ یہ پلازما کو مطلوبہ جگہ تک محدود کرنے میں مدد کرتا ہے، اس سے آس پاس کے علاقوں کو آوارہ نقاشی یا نقصان کو روکتا ہے۔

●  چیمبر کی دیواروں کی حفاظت: توجہ مرکوز رنگ پلازما اور چیمبر کی دیواروں کے مابین رکاوٹ کا کام کرتا ہے ، جس سے براہ راست رابطے اور ممکنہ نقصان کو روکتا ہے۔ ایس آئی سی پلازما کٹاؤ کے لئے انتہائی مزاحم ہے اور چیمبر کی دیواروں کے لئے بہترین تحفظ فراہم کرتا ہے۔

●  Tایمپریچر کنٹرول: اینچنگ کے عمل کے دوران ویفر میں درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو برقرار رکھنے میں ایس آئی سی فوکس رنگ مدد کرتا ہے۔ یہ گرمی کو ختم کرنے میں مدد کرتا ہے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی یا تھرمل میلان کو روکتا ہے جو اینچنگ کے نتائج کو متاثر کرسکتے ہیں۔

ٹھوس SiC کا انتخاب اس کے شاندار تھرمل اور کیمیائی استحکام، اعلی مکینیکل طاقت، اور پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے توجہ مرکوز کرنے کے لیے کیا جاتا ہے۔ یہ خصوصیات SiC کو پلازما ایچنگ سسٹم کے اندر سخت اور سخت حالات کے لیے موزوں مواد بناتی ہیں۔

یہ بات قابل توجہ ہے کہ مخصوص پلازما اینچنگ سسٹم اور عمل کی ضروریات کے لحاظ سے فوکسنگ رِنگز کے ڈیزائن اور وضاحتیں مختلف ہو سکتی ہیں۔ VeTek سیمی کنڈکٹر اینچنگ کی بہترین کارکردگی اور لمبی عمر کو یقینی بنانے کے لیے فوکسنگ رِنگز کی شکل، طول و عرض اور سطحی خصوصیات کو بہتر بناتا ہے۔ سالڈ سی سی وسیع پیمانے پر ویفر کیریئرز، سسپٹرس، ڈمی ویفر، گائیڈ رِنگز، اینچنگ پروسیس کے پارٹس، سی وی ڈی پروسیس وغیرہ کے لیے استعمال ہوتا ہے۔