CVD TaC لیپت Susceptor

مصنوعات کی تعریف اور ساخت

VETEK CVD TaC Coated Susceptor ایک اعلی درجے کا ویفر کیریئر جزو ہے جو خاص طور پر تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر (SiC، GaN، AlN) ایپیٹیکسیل پروسیسنگ کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ یہ پروڈکٹ دو اعلیٰ کارکردگی والے مواد کے جسمانی فوائد کو یکجا کرتی ہے:

ہائی پیوریٹی گریفائٹ سبسٹریٹ: سبسٹریٹ اعلی ساختی طاقت، اعلی کثافت، اور تھرمل پروسیسنگ استحکام کو یقینی بنانے کے لیے ایک آئسوسٹیٹک پریسنگ مولڈنگ کے عمل کو استعمال کرتا ہے۔

CVD TaC کوٹنگ: ایک گھنی، تناؤ سے پاک ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) حفاظتی تہہ گریفائٹ کی سطح پر جدید کیمیائی بخارات جمع (CVD) ٹیکنالوجی کے ذریعے اگائی جاتی ہے۔

بنیادی تکنیکی فوائد: غیر معمولی انتہائی ماحولیاتی موافقت

MOCVD کے عمل میں، TaC کوٹنگ نہ صرف ایک جسمانی حفاظتی تہہ ہے بلکہ عمل کی تکرار کو یقینی بنانے کے لیے بنیادی بھی ہے:

انتہائی اعلی درجہ حرارت کو برداشت کرنا: TaC کا پگھلنے کا نقطہ 3880 ° C تک ہے، 1600 ° C سے اوپر انتہائی اعلی درجہ حرارت کے اپیٹیکسیل عمل میں بھی بہترین شکل کا استحکام برقرار رکھتا ہے۔

بہترین سنکنرن مزاحمت: NH₃(امونیا) یا H₂(ہائیڈروجن) پر مشتمل مضبوط کم کرنے والے ماحول میں، TaC کی سنکنرن کی شرح انتہائی کم ہے، جو مؤثر طریقے سے سبسٹریٹ کے نقصان اور ناپاک بارش کو روکتی ہے۔

انتہائی اعلی طہارت کی گارنٹی: کوٹنگ کی پاکیزگی 99.9995% تک زیادہ ہے۔ اس کا گھنا ڈھانچہ گریفائٹ مائیکرو پورس کو مکمل طور پر سیل کر دیتا ہے، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ایپیٹیکسیل فلم انتہائی کم نجاست کی سطح تک پہنچ جائے۔

عین مطابق تھرمل فیلڈ کی تقسیم: VETEK کی آپٹمائزڈ کوٹنگ کنٹرول ٹیکنالوجی یقینی بناتی ہے کہ سسپٹر سطح کے درجہ حرارت کے فرق کو ±2°C کے اندر کنٹرول کیا جاتا ہے، جس سے ویفر ایپیٹیکسیل پرت کی موٹائی اور طول موج کی مستقل مزاجی میں نمایاں بہتری آتی ہے۔

تکنیکی پیرامیٹرز

مائکروسکوپک کراس سیکشن پر ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگ:

بنیادی ایپلیکیشن فیلڈز

SiC (سلیکن کاربائیڈ) ایپیٹیکسیل گروتھ: 6 انچ، 8 انچ، اور بڑے سائز کے SiC پاور ڈیوائسز کی تیاری کو سپورٹ کرتا ہے۔

GaN (Gallium Nitride) پر مبنی آلات: ہائی برائٹنس LEDs، HEMT پاور ڈیوائسز، اور RF چپس کے لیے MOCVD پروسیس میں استعمال کیا جاتا ہے۔

AlN (ایلومینیم نائٹرائڈ) اور UVC گروتھ: انتہائی اعلی درجہ حرارت (1400°C+) کیرئیر حل فراہم کرتا ہے الٹرا وائیڈ بینڈ گیپ مواد جیسے ڈیپ UV LEDs کے لیے۔

اپنی مرضی کے مطابق ریسرچ سپورٹ: مختلف فاسد پرزوں اور ملٹی ہول ڈسکوں کے لیے تحقیقی اداروں کی درستگی کی ضروریات کو پورا کرتا ہے۔

ہم آہنگ ماڈلز اور حسب ضرورت خدمات

VETEK کے پاس عین مطابق مکینیکل پروسیسنگ اور کوٹنگ کی صلاحیتیں ہیں، جو کہ عالمی مین اسٹریم MOCVD آلات کے ساتھ بالکل ڈھل رہے ہیں:

AIXTRON: مختلف سیاروں کی گردش ڈسکوں اور اڈوں کی حمایت کرتا ہے۔

ویکو: K465i، پروپیل، اور دیگر عمودی سسپٹر سیریز کو سپورٹ کرتا ہے۔