مصنوعات
اینچنگ کے لئے فوکس رنگ
  • اینچنگ کے لئے فوکس رنگاینچنگ کے لئے فوکس رنگ
  • اینچنگ کے لئے فوکس رنگاینچنگ کے لئے فوکس رنگ

اینچنگ کے لئے فوکس رنگ

عمل کی درستگی اور استحکام کو یقینی بنانے کے لئے اینچنگ کے لئے فوکس کی انگوٹھی کلیدی جزو ہیں۔ پلازما کی تقسیم ، کنارے کے درجہ حرارت اور بجلی کے میدان کی یکسانیت کے عین مطابق کنٹرول کے ذریعہ ویفر سطح پر نانوسکل ڈھانچے کی یکساں مشینی حاصل کرنے کے لئے یہ اجزاء ویکیوم چیمبر میں خاص طور پر جمع کیے جاتے ہیں۔

پلازما ماحولیاتی استحکام کو برقرار رکھنے ، سازوسامان اور ویفروں کی حفاظت ، وسائل کے استعمال کو بہتر بنانے اور جدید عمل کی ضروریات کے مطابق ڈھالنے کے ذریعہ سیمیکمڈکٹر اینچنگ کے عمل میں مونوکسٹل لائن سلیکن اینچنگ کی انگوٹھی ضروری اجزاء ہیں۔ اس کی کارکردگی براہ راست چپ مینوفیکچرنگ کی پیداوار اور لاگت کو متاثر کرتی ہے۔


پلازما کی یکسانیت ، درجہ حرارت پر قابو پانے اور عمل کی تکرار کو یقینی بنانے کے لئے اینچڈ فوکس رنگ ، الیکٹروڈ اور وغیرہ (ایج ٹمپریچر کنٹرولر) بنیادی استعمال کی اشیاء ہیں۔ یہ اجزاء سی وی ڈی ، اینچنگ اور فلمی سازوسامان کے ویکیوم چیمبر میں خاص طور پر جمع ہوتے ہیں اور ویفر کے مرکز تک اینچنگ کی درستگی اور پیداوار کا براہ راست تعین کرتے ہیں۔


اعلی کے آخر میں مینوفیکچرنگ کے عمل میں مادی خصوصیات کی سخت طلب کے جواب میں ، ویٹیکسمی فوکسنگ انگوٹیوں اور معاون استعمال کی اشیاء کو تیار کرنے کے لئے 10-20Ω · سینٹی میٹر کی مزاحمتی کے ساتھ اعلی طہارت مونوکریسٹل لائن سلیکن کا استعمال کرکے جدت طرازی کرتا ہے۔ مادی سائنس ، بجلی کے ڈیزائن اور تھرموڈینامکس کی باہمی تعاون کے ساتھ ، ویٹیکسیمی فوکسنگ انگوٹھیوں اور استعمال شدہ سامان کی تائید کرنے کے قابل ہے۔ لمبی عمر ، درستگی اور لاگت کی تاثیر میں پیشرفت میں بہتری کے حصول کے لئے روایتی کوارٹج حل کو جامع طور پر آگے بڑھائیں۔


Focus ring for etching diagram


بنیادی مادی موازنہ اور مزاحمتی اصلاح

monocrystalline سلیکن بمقابلہ. کوارٹج


پروجیکٹ
مونوکریسٹل لائن سلیکن فوکسنگ رنگ (10-20 ω · سینٹی میٹر)
کوارٹج فوکسنگ رنگ
پلازما سنکنرن کے خلاف مزاحمت
زندگی 5000-8000 ویفرز (فلورین/کلورین پر مبنی عمل)
زندگی کا عرصہ 1500-2000 وافرز
تھرمل چالکتا
149 ڈبلیو/ایم · K (تیز رفتار گرمی کی کھپت ، ΔT اتار چڑھاؤ ± 2 ℃)
1.4W /M · K (ΔT اتار چڑھاؤ ± 10 ℃)
تھرمل توسیع کا قابلیت
2.6 × 10⁻⁶/K (ویفر مماثل ، صفر اخترتی)
0.55 × 10⁻⁶/K (آسان نقل مکانی)
ڈائی الیکٹرک نقصان
TANΔ <0.001 (درست الیکٹرک فیلڈ کنٹرول)
TANδ ~ 0.0001 (برقی فیلڈ مسخ)
سطح کی کھردری
RA <0.1μm (کلاس 10 صفائی کا معیار)
RA <0.5μm (اعلی ذرہ خطرہ)


پروڈکٹ کور ایڈونٹگe


1. جوہری سطح کے عمل کی درستگی

مزاحمیت کی اصلاح + الٹرا-پریسیزن پالش (RA <0.1μm) نیم F47 معیارات کو پورا کرنے کے لئے مائکرو خارج ہونے والے اور ذرہ آلودگی کو ختم کرتی ہے۔

ڈائی الیکٹرک نقصان (TANΔ <0.001) ویفر ڈائی الیکٹرک ماحول سے انتہائی مماثل ہے ، جس سے ایج الیکٹرک فیلڈ مسخ سے گریز کیا گیا ہے اور 3D نینڈ 89.5 ± ± 0.3 ° عمودی گہری ہول اینچنگ کی حمایت کی گئی ہے۔


2. ذہین نظام کی مطابقت

وغیرہ ایج ٹمپریچر کنٹرول ماڈیول کے ساتھ مربوط ، ٹھنڈک ہوا کا بہاؤ متحرک طور پر تھرموکوپل اور اے آئی الگورتھم کے ذریعہ ایڈجسٹ کیا جاتا ہے تاکہ چیمبر تھرمل بڑھے کو معاوضہ دیا جاسکے۔

اپنی مرضی کے مطابق آر ایف مماثل نیٹ ورک کی حمایت کریں ، جو مرکزی دھارے میں شامل مشینوں کے لئے موزوں ہیں جیسے امات سینٹورا ، لام ریسرچ کیو اور آئی سی پی/سی سی پی پلازما ذرائع۔


3. جامع لاگت تاثیر

مونوکریسٹل لائن سلیکن کی زندگی کوارٹج کے مقابلے میں 275 ٪ لمبی ہے ، بحالی کا چکر 3،000 گھنٹے سے زیادہ ہے ، اور ملکیت کی جامع لاگت (ٹی سی او) میں 30 فیصد کمی واقع ہوئی ہے۔

مزاحمتی تدریجی تدوین کی خدمت (5-100Ω · سینٹی میٹر) ، کسٹمر پروسیس ونڈو (جیسے GAN/SIC وسیع بینڈ گیپ میٹریل اینچنگ) سے عین مطابق مماثل ہے۔


مزاحمیت کا اثر


پروجیکٹ
مونوکریسٹل لائن سلیکن فوکسنگ رنگ (10-20 ω · سینٹی میٹر)
اعلی مزاحمت monocrystalline سلیکن (> 50 ω · · سینٹی میٹر)
کوارٹج فوکسنگ رنگ
طہارت
> 99.9999 ٪
> 99.9999 ٪
> 99.99 ٪
سنکنرن زندگی (ویفر گنتی)
5000-8000
3000-5000
1500-2000
تھرمل جھٹکا استحکام
ΔT> 500 ℃/s
ΔT> 300 ℃/s
ΔT <200 ℃/s
رساو موجودہ کثافت
<1 μA/CM²
/ /
ویفر کی پیداوار میں اضافہ کیا گیا ہے
+1.2 ٪ ~ 1.8 ٪
+0.3 ٪ ~ 0.7 ٪
بیس ویلیو

پروڈکٹ تجارتی شرائط


کم سے کم آرڈر کی مقدار
1 سیٹ
قیمت
اپنی مرضی کے مطابق کوٹیشن کے لئے رابطہ کریں
پیکیجنگ کی تفصیلات
معیاری برآمد پیکیج
ترسیل کا وقت
ترسیل کا وقت: آرڈر کی تصدیق کے 30-35 دن
ادائیگی کی شرائط
t/t
فراہمی کی اہلیت
600 سیٹ/مہینہ


Focus ring for etching working diagram

ہاٹ ٹیگز: اینچنگ کے لئے فوکس رنگ
انکوائری بھیجیں۔
رابطہ کی معلومات
  • پتہ

    وانگڈا روڈ ، زیانگ اسٹریٹ ، ووئی کاؤنٹی ، جنہوا سٹی ، صوبہ جیانگ ، چین ، چین

  • ٹیلی فون

    +86-18069220752

  • ای میل

    anny@veteksemi.com

سیلیکون کاربائیڈ کوٹنگ، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ، خصوصی گریفائٹ یا قیمت کی فہرست کے بارے میں پوچھ گچھ کے لیے، براہ کرم ہمیں اپنا ای میل بھیجیں اور ہم 24 گھنٹوں کے اندر رابطے میں رہیں گے۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept