MOCVD SiC لیپت Susceptor

تکنیکی پیرامیٹرز

CVD SIC فلم کرسٹل ڈھانچہ

مصنوعات کی تعریف اور ساخت

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor ایک پریمیم ویفر لے جانے والا جزو ہے جو خاص طور پر تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹرز، جیسے GaN اور SiC کی ایپیٹیکسیل پروسیسنگ کے لیے بنایا گیا ہے۔ یہ پروڈکٹ دو اعلیٰ کارکردگی والے مواد کی اعلیٰ جسمانی خصوصیات کو مربوط کرتی ہے:

ہائی پیوریٹی گریفائٹ سبسٹریٹ: بنیادی مواد غیر معمولی ساختی سالمیت، اعلی کثافت، اور تھرمل پروسیسنگ استحکام کو یقینی بنانے کے لیے isostatic پریسنگ ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔

سی وی ڈی سی سی کوٹنگ: ایک گھنی، تناؤ سے پاک سلکان کاربائیڈ (SiC) حفاظتی تہہ گریفائٹ کی سطح پر جدید کیمیائی بخارات جمع (CVD) ٹیکنالوجی کے ذریعے اگائی جاتی ہے۔

VETEK آپ کی پیداوار کی ضمانت کیوں ہے۔

تھرمل یونیفارمٹی کنٹرول میں حتمی درستگی: روایتی کیریئرز کے برعکس، VETEK susceptors کوٹنگ کی موٹائی اور تھرمل مزاحمت کے نینو میٹر پیمانے پر درستگی کے کنٹرول کے ذریعے پوری سطح پر انتہائی مطابقت پذیر حرارت کی منتقلی حاصل ہوتی ہے۔ یہ نفیس تھرمل مینجمنٹ ویفر سطح پر ویفر لینتھ معیاری انحراف (STD) کو مؤثر طریقے سے کم کرتا ہے، جس سے سنگل ویفر کے معیار اور مجموعی بیچ کی مستقل مزاجی دونوں میں نمایاں اضافہ ہوتا ہے۔

زیرو پارٹیکل آلودگی کے ساتھ طویل مدتی تحفظ: ایم او سی وی ڈی ری ایکشن چیمبرز میں جن میں انتہائی سنکنرن گیسیں ہوتی ہیں، عام گریفائٹ پیڈسٹل ذرّہ پھٹنے کا شکار ہوتے ہیں۔ VETEK کی CVD SiC کوٹنگ غیر معمولی کیمیائی جڑت کی حامل ہے، ایک ناقابل تسخیر ڈھال کے طور پر کام کرتی ہے جو گریفائٹ مائکروپورس کو سیل کرتی ہے۔ یہ سبسٹریٹ کی نجاستوں کی مکمل تنہائی کو یقینی بناتا ہے، GaN یا SiC epitaxial تہوں کی کسی بھی آلودگی کو روکتا ہے۔

غیر معمولی تھکاوٹ مزاحمت اور خدمت زندگی:VETEK کے ملکیتی انٹرفیس کے علاج کے عمل کی بدولت، ہماری SiC کوٹنگ گریفائٹ سبسٹریٹ کے ساتھ ایک بہترین تھرمل ایکسپینشن میچ حاصل کرتی ہے۔ انتہائی درجہ حرارت کے درمیان ہائی فریکوئنسی تھرمل سائیکلنگ کے دوران بھی، کوٹنگ چھلکے یا مائیکرو شگافوں کو تیار کیے بغیر اعلی آسنجن کو برقرار رکھتی ہے۔ یہ اسپیئر پارٹس کی دیکھ بھال کی فریکوئنسی کو نمایاں طور پر کم کرتا ہے اور آپ کی ملکیت کی کل لاگت کو کم کرتا ہے۔

ہماری ورکشاپ