ایس آئی سی ویفر کیریئر ٹکنالوجی پر تحقیق

sic وافر کیریئرز، تیسری نسل کے سیمیکمڈکٹر انڈسٹری چین میں کلیدی استعمال کے سامان کی حیثیت سے ، ان کی تکنیکی خصوصیات براہ راست ایپیٹاکسیل نمو اور ڈیوائس مینوفیکچرنگ کی پیداوار کو متاثر کرتی ہیں۔ 5 جی بیس اسٹیشنوں اور نئی توانائی کی گاڑیاں جیسے صنعتوں میں اعلی وولٹیج اور اعلی درجہ حرارت والے آلات کی بڑھتی ہوئی طلب کے ساتھ ، ایس آئی سی ویفر کیریئرز کی تحقیق اور اطلاق کو اب ترقی کے اہم مواقع کا سامنا ہے۔

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں ، سلیکن کاربائڈ ویفر کیریئر بنیادی طور پر ایپیٹاکسیل آلات میں ویفروں کو لے جانے اور منتقل کرنے کا اہم کام انجام دیتے ہیں۔ روایتی کوارٹج کیریئرز کے مقابلے میں ، ایس آئی سی کیریئرز تین بنیادی فوائد کی نمائش کرتے ہیں: سب سے پہلے ، ان کے تھرمل توسیع (4.0 × 10^-6/℃) کا قابلیت ایس آئی سی وافر (4.2 × 10^-6/℃) کے ساتھ انتہائی مماثل ہے ، جس سے مؤثر طریقے سے اعلی عارضی عمل میں تھرمل تناؤ کو کم کیا جاتا ہے۔ دوم ، کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے طریقہ کار کے ذریعہ تیار کردہ اعلی طہارت والے ایس آئی سی کیریئرز کی پاکیزگی 99.9995 ٪ تک پہنچ سکتی ہے ، جس سے کوارٹج کیریئرز کے عام سوڈیم آئن آلودگی کے مسئلے سے گریز کیا جاسکتا ہے۔ مزید برآں ، 2830 پر ایس آئی سی مواد کا پگھلنے والا نقطہ اسے ایم او سی وی ڈی آلات میں 1600 سے اوپر کے طویل مدتی کام کرنے والے ماحول کے مطابق ڈھالنے کے قابل بناتا ہے۔

فی الحال ، مرکزی دھارے میں شامل مصنوعات 6 انچ کی تصریح کو اپناتی ہیں ، جس کی موٹائی 20-30 ملی میٹر کی حد میں ہوتی ہے اور سطح کی کھردری کی ضرورت 0.5μm سے بھی کم ہوتی ہے۔ ایپیٹیکسیل یکسانیت کو بڑھانے کے لئے ، معروف مینوفیکچررز CNC مشینی کے ذریعہ کیریئر کی سطح پر مخصوص ٹوپولوجیکل ڈھانچے تیار کرتے ہیں۔ مثال کے طور پر ، سیمیمری کے ذریعہ تیار کردہ ہنی کامب کے سائز کا نالی ڈیزائن ± 3 ٪ کے اندر ایپیٹاکسیل پرت کی موٹائی کے اتار چڑھاو کو کنٹرول کرسکتا ہے۔ کوٹنگ ٹکنالوجی کے معاملے میں ، TAC/TASI2 جامع کوٹنگ کیریئر کی خدمت زندگی کو 800 سے زیادہ مرتبہ بڑھا سکتی ہے ، جو غیر تیار شدہ مصنوعات سے تین گنا زیادہ لمبی ہے۔

صنعتی اطلاق کی سطح پر ، ایس آئی سی کیریئرز نے آہستہ آہستہ سلیکن کاربائڈ پاور ڈیوائسز کے مینوفیکچرنگ کے پورے عمل کو گھیر لیا ہے۔ ایس بی ڈی ڈایڈس کی تیاری میں ، ایس آئی سی کیریئرز کا استعمال ایپیٹاکسیل عیب کثافت کو 0.5 سینٹی میٹر سے بھی کم کر سکتا ہے۔ MOSFET آلات کے ل their ، ان کی بہترین درجہ حرارت کی یکسانیت چینل کی نقل و حرکت کو 15 ٪ سے 20 ٪ تک بڑھانے میں مدد کرتی ہے۔ صنعت کے اعدادوشمار کے مطابق ، 2024 میں عالمی ایس آئی سی کیریئر مارکیٹ کا سائز 230 ملین امریکی ڈالر سے تجاوز کر گیا ، جس میں ایک کمپاؤنڈ سالانہ شرح نمو تقریبا 28 28 فیصد برقرار ہے۔

تاہم ، تکنیکی رکاوٹیں اب بھی موجود ہیں۔ بڑے سائز کے کیریئروں کا وار پیج کنٹرول ایک چیلنج بنی ہوئی ہے-8 انچ کیریئر کی چپٹی رواداری کو 50μm کے اندر اندر دبانے کی ضرورت ہے۔ اس وقت ، سیمیکرا ان چند گھریلو کمپنیوں میں سے ایک ہے جو وارپنگ کو کنٹرول کرسکتی ہیں۔ گھریلو کاروباری اداروں جیسے تیانکے ہیڈا نے 6 انچ کیریئرز کی بڑے پیمانے پر پیداوار حاصل کی ہے۔ سیمیکرا فی الحال تیانکے ہیڈا کو ان کے لئے ایس آئی سی کیریئرز کو اپنی مرضی کے مطابق بنانے میں مدد کررہی ہے۔ فی الحال ، اس نے کوٹنگ کے عمل اور عیب کنٹرول کے معاملے میں بین الاقوامی جنات سے رجوع کیا ہے۔ مستقبل میں ، heteroepitaxy ٹکنالوجی کی پختگی کے ساتھ ، GAN-SIC ایپلی کیشنز کے لئے سرشار کیریئر ایک نئی تحقیق اور ترقی کی سمت بن جائیں گے۔