پلازما اینچنگ فوکس رنگ

ویفر مینوفیکچرنگ کے میدان میں ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر کی فوکس رنگ کلیدی کردار ادا کرتا ہے۔ یہ صرف ایک سادہ جزو نہیں ہے ، بلکہ پلازما اینچنگ کے عمل میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ سب سے پہلے ، پلازما ایٹچگ فوکس رنگ کو یہ یقینی بنانے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے کہ ویفر کو مطلوبہ پوزیشن میں مضبوطی سے رکھا گیا ہے ، اس طرح اینچنگ کے عمل کی درستگی اور استحکام کو یقینی بناتا ہے۔ ویفر کو جگہ پر رکھنے سے ، توجہ مرکوز رنگ پلازما کثافت کی یکسانیت کو مؤثر طریقے سے برقرار رکھتا ہے ، جو کی کامیابی کے لئے ضروری ہےاینچنگ کا عمل.

اس کے علاوہ ، فوکس رنگ بھی ویفر کی طرف سے آلودگی کو روکنے میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے۔ چپ مینوفیکچرنگ کے لئے ویفرز کی معیار اور پاکیزگی اہم ہے ، لہذا اس بات کو یقینی بنانے کے لئے تمام ضروری اقدامات اٹھائے جائیں گے کہ اینچنگ کے پورے عمل میں ویفر صاف رہیں۔ فوکس کی انگوٹھی بیرونی نجاستوں اور آلودگیوں کو مؤثر طریقے سے ویفر سطح کے اطراف میں داخل ہونے سے روکتی ہے ، اس طرح حتمی مصنوع کے معیار اور کارکردگی کو یقینی بناتی ہے۔

ماضی میں ،بجنے پر توجہ مرکوز کرنابنیادی طور پر کوارٹج اور سلیکن سے بنے تھے۔ تاہم ، اعلی درجے کی ویفر مینوفیکچرنگ میں خشک اینچنگ میں اضافے کے ساتھ ، سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) سے بنی انگوٹھیوں پر توجہ دینے کی طلب بھی بڑھ رہی ہے۔ خالص سلیکن کی انگوٹھیوں کے مقابلے میں ، ایس آئی سی کی انگوٹھی زیادہ پائیدار ہوتی ہے اور اس کی طویل خدمت زندگی ہوتی ہے ، اس طرح پیداواری لاگت میں کمی آتی ہے۔ سلیکن کی انگوٹھیوں کو ہر 10 سے 12 دن میں تبدیل کرنے کی ضرورت ہوتی ہے ، جبکہ ہر 15 سے 20 دن میں ایس آئی سی کی انگوٹھی تبدیل کردی جاتی ہے۔ اس وقت ، کچھ بڑی کمپنیاں جیسے سیمسنگ ایس آئی سی کے بجائے بوران کاربائڈ سیرامکس (بی 4 سی) کے استعمال کا مطالعہ کر رہی ہیں۔ B4C میں اعلی سختی ہوتی ہے ، لہذا یونٹ طویل عرصے تک چلتا ہے۔

پلازما اینچنگ آلات میں ، علاج کے برتن میں اڈے پر سبسٹریٹ سطح کی پلازما اینچنگ کے لئے فوکس رنگ کی تنصیب ضروری ہے۔ توجہ مرکوز کی انگوٹھی اس کی سطح کے اندرونی پہلو پر پہلے خطے کے ساتھ سبسٹریٹ کے چاروں طرف ہے جس کی سطح کی ایک چھوٹی سی اوسط کھردری ہوتی ہے جس سے اینچنگ کے دوران پیدا ہونے والی رد عمل کی مصنوعات کو پکڑے جانے اور جمع ہونے سے روکا جاتا ہے۔ 

ایک ہی وقت میں ، پہلے خطے سے باہر کا دوسرا خطہ ایک بڑی اوسط سطح کی کھردری ہے جس میں اینچنگ کے عمل کے دوران پیدا ہونے والی رد عمل کی مصنوعات کی حوصلہ افزائی کی جاسکتی ہے اور اس کو پکڑ کر جمع کیا جاسکتا ہے۔ پہلے خطے اور دوسرے خطے کے درمیان حد وہ حصہ ہے جہاں اینچنگ کی مقدار نسبتا significant اہم ہے ، جو پلازما اینچنگ ڈیوائس میں فوکسنگ رنگ سے لیس ہے ، اور پلازما اینچنگ سبسٹریٹ پر انجام دی جاتی ہے۔

ویٹیکسیکن مصنوعات کی دکانیں: