اینچنگ کے لئے sic لیپت ویفر کیریئر

اینچنگ کے عمل کے لئے ایس آئی سی لیپت ویفر کیریئر کا بنیادی اطلاق

1. گان فلم کی نمو اور ایل ای ڈی مینوفیکچرنگ میں اینچنگ

ایل ای ڈی پروڈکشن میں نیلم نائٹرائڈ (جی اے این) فلموں کی ایل ای ڈی پروڈکشن میں نیلم سبسٹریٹس (نمونہ دار نیلم سبسٹریٹ ، پی ایس ایس) کی حمایت کرنے اور اعلی درجہ حرارت پر گیلیم نائٹرائڈ (جی اے این) فلموں کی کیمیکل وانپ جمع (ایم او سی وی ڈی) کی حمایت کرنے کے لئے ایس آئی سی لیپت کیریئر (جیسے پی ایس ایس اینچنگ کیریئر) کا استعمال کیا جاتا ہے۔ اس کے بعد کیریئر کو گیلے اینچنگ کے عمل سے ہٹا دیا جاتا ہے تاکہ روشنی کو نکالنے کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے ل surface سطح کے مائکرو اسٹرکچر کی تشکیل کی جاسکے۔

کلیدی کردار: ویفر کیریئر کو پلازما اینچنگ ماحول میں 1600 ° C تک درجہ حرارت اور کیمیائی سنکنرن کا مقابلہ کرنے کی ضرورت ہے۔ اعلی طہارت (99.99995 ٪) اور ایس آئی سی کوٹنگ کی کثافت دھات کی آلودگی کو روکتی ہے اور GAN فلم کی یکسانیت کو یقینی بناتی ہے۔

2. سیمیکمڈکٹر پلازما/خشک اینچنگ عمل

میںآئی سی پی (حوصلہ افزائی کے ساتھ مل کر پلازما) اینچنگ، ایس آئی سی لیپت کیریئر بہتر ہوا کے بہاؤ کے ڈیزائن (جیسے لیمینر فلو موڈ) کے ذریعہ گرمی کی یکساں تقسیم حاصل کرتے ہیں ، ناپاک بازی سے بچیں ، اور اینچنگ کی درستگی کو بہتر بنائیں۔ مثال کے طور پر ، ویٹیکسیمن کا ایس آئی سی لیپت آئی سی پی اینچنگ کیریئر 2700 ° C کے اعلی درجہ حرارت کا مقابلہ کرسکتا ہے اور یہ اعلی توانائی کے پلازما ماحول کے لئے موزوں ہے۔

3. شمسی سیل اور پاور ڈیوائس مینوفیکچرنگ

ایس آئی سی کیریئر فوٹو وولٹک فیلڈ میں اعلی درجہ حرارت بازی اور سلیکن ویفروں کی اینچنگ میں اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔ ان کا کم تھرمل توسیع گتانک (4.5 × 10⁻⁶/K) تھرمل تناؤ کی وجہ سے ہونے والی خرابی کو کم کرتا ہے اور خدمت کی زندگی کو بڑھاتا ہے۔

جسمانی خصوصیات اور ایس آئی سی لیپت ویفر کیریئر کے فوائد

1. انتہائی ماحول کو رواداری:

اعلی درجہ حرارت کا استحکام:سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگایک طویل وقت کے لئے 1600 ° C ہوا یا 2200 ° C ویکیوم ماحول میں کام کرسکتا ہے ، جو روایتی کوارٹج یا گریفائٹ کیریئر سے کہیں زیادہ ہے۔

سنکنرن مزاحمت: ایس آئی سی میں تیزاب ، الکلیس ، نمکیات اور نامیاتی سالوینٹس کے خلاف بہترین مزاحمت ہوتی ہے ، اور بار بار کیمیائی صفائی کے ساتھ سیمیکمڈکٹر پروڈکشن لائنوں کے لئے موزوں ہے۔

2. تھرمل اور مکینیکل خصوصیات:

اعلی تھرمل چالکتا (300 ڈبلیو/ایم کے): تیز رفتار گرمی کی کھپت تھرمل میلان کو کم کرتی ہے ، درجہ حرارت کی یکسانیت کو یقینی بناتی ہے ، اور فلم کی موٹائی کے انحراف سے بچتی ہے۔

اعلی مکینیکل طاقت: لچکدار طاقت 415 MPa (کمرے کا درجہ حرارت) تک پہنچ جاتی ہے ، اور یہ اب بھی اعلی درجہ حرارت پر 90 ٪ سے زیادہ طاقت کو برقرار رکھتا ہے ، جو کیریئر کریکنگ یا تباہی سے بچتا ہے۔

سطح کی تکمیل: ایس ایس آئی سی (پریشر سائنٹرڈ سلیکن کاربائڈ) میں سطح کی کھردری (<0.1μm) کم ہے ، جس سے ذرہ آلودگی کو کم کیا جاتا ہے اور ویفر کی پیداوار میں بہتری آتی ہے۔

3. مادی ملاپ کی اصلاح:

گریفائٹ سبسٹریٹ اور ایس آئی سی کوٹنگ کے مابین کم تھرمل توسیع کا فرق: کوٹنگ کے عمل کو ایڈجسٹ کرکے (جیسے تدریجی جمع) ، انٹرفیس کا تناؤ کم ہوجاتا ہے اور کوٹنگ کو چھیلنے سے روکا جاتا ہے۔

اعلی طہارت اور کم نقائص: سی وی ڈی عمل کوٹنگ طہارت کو یقینی بناتا ہے> 99.9999 ٪ ، حساس عمل (جیسے ایس آئی سی پاور ڈیوائس مینوفیکچرنگ) کے دھات آئن آلودگی سے گریز کرتے ہیں۔

پھرسی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ فلم کرسٹل ڈھانچہ

ویٹ سیکسیکن کی دکانیں