غیر محفوظ SIC سیرامک ​​پلیٹ

غیر محفوظ SIC سیرامک ​​پلیٹ ایک غیر محفوظ ڈھانچہ سیرامک ​​مواد ہے جس سے بنا ہوا ہےسلیکن کاربائڈمرکزی جزو کے طور پر اور ایک خاص sintering عمل کے ساتھ مل کر. اس کا پوروسٹی ایڈجسٹ ہے (عام طور پر 30 ٪ -70 ٪) ، تاکنا سائز کی تقسیم یکساں ہے ، اس میں درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت ، کیمیائی استحکام اور بہترین گیس پارگمیتا ہے ، اور سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ ، کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) ، اعلی درجہ حرارت گیس فلٹریشن اور دیگر شعبوں میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔

اور غیر محفوظ SIC سیرامک ​​پلیٹ کے بارے میں مزید معلومات کے ل please ، براہ کرم اس بلاگ کو دیکھیں۔

غیر محفوظ SIC سیرامک ​​ڈسکعمدہ جسمانی خصوصیات

temperature انتہائی اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت:

ایس آئی سی سیرامکس کا پگھلنے والا نقطہ 2700 ° C تک زیادہ ہے ، اور یہ اب بھی 1600 ° C سے زیادہ ساختی استحکام برقرار رکھ سکتا ہے ، جو روایتی الومینا سیرامکس (تقریبا 2000 ° C) سے کہیں زیادہ ہے ، خاص طور پر سیمیکمڈکٹر اعلی درجہ حرارت کے عمل کے لئے موزوں ہے۔

th تھرمل مینجمنٹ کی عمدہ کارکردگی:

ther اعلی تھرمل چالکتا: گھنے sic کی تھرمل چالکتا تقریبا 120 W/(M · K) ہے۔ اگرچہ غیر محفوظ ڈھانچہ تھرمل چالکتا کو قدرے کم کرتا ہے ، لیکن یہ اب بھی زیادہ تر سیرامکس سے نمایاں طور پر بہتر ہے اور گرمی کی موثر کھپت کی حمایت کرتا ہے۔

ther کم تھرمل توسیع گتانک (4.0 × 10⁻⁶/° C): اعلی درجہ حرارت پر تقریبا کوئی خرابی نہیں ، تھرمل تناؤ کی وجہ سے آلے کی ناکامی سے گریز کرتے ہیں۔

chemical بہترین کیمیائی استحکام

تیزاب اور الکلی سنکنرن مزاحمت (خاص طور پر HF ماحول میں بقایا) ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت ، سخت ماحول جیسے اینچنگ اور صفائی کے لئے موزوں ہے۔

● بقایا مکینیکل خصوصیات

✔ اعلی سختی (محتہ سختی 9.2 ، ڈائمنڈ کے بعد دوسرا) ، مضبوط لباس مزاحمت۔

✔ موڑنے کی طاقت 300-400 MPa تک پہنچ سکتی ہے ، اور تاکنا ساخت کا ڈیزائن ہلکے وزن اور مکینیکل طاقت دونوں کو مدنظر رکھتا ہے۔

● فنکشنلائزڈ غیر محفوظ ڈھانچہ

surface اعلی سطح کا رقبہ: گیس کے بازی کی کارکردگی کو بہتر بنائیں ، جو رد عمل گیس کی تقسیم پلیٹ کے طور پر موزوں ہیں۔

control قابل کنٹرول پوروسٹی: سی وی ڈی کے عمل میں یکساں فلم کی تشکیل جیسے سیال دخول اور فلٹریشن کی کارکردگی کو بہتر بنائیں۔

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں مخصوص کردار

temperature درجہ حرارت کے اعلی عمل کی حمایت اور گرمی کی موصلیت

ویفر سپورٹ پلیٹ کے طور پر ، یہ اعلی درجہ حرارت کے سازوسامان (> 1200 ° C) میں استعمال ہوتا ہے جیسے دھات کی آلودگی سے بچنے کے لئے بازی بھٹی اور اینیلنگ فرنس۔

غیر محفوظ ڈھانچے میں موصلیت اور معاون دونوں کام ہوتے ہیں ، جس سے گرمی میں کمی واقع ہوتی ہے۔

gas یکساں گیس کی تقسیم اور رد عمل کا کنٹرول

کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) کے سامان میں ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ کی حیثیت سے ، چھیدوں کو یکساں طور پر رد عمل والی گیسوں (جیسے سیہ ، NH₃) کو پتلی فلم جمع کرنے کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔

خشک اینچنگ میں ، غیر محفوظ ڈھانچہ پلازما کی تقسیم کو بہتر بناتا ہے اور اینچنگ کی درستگی کو بہتر بناتا ہے۔

● الیکٹرو اسٹاٹک چک (ESC) بنیادی اجزاء

غیر محفوظ ایس آئی سی کو الیکٹرو اسٹاٹک چک سبسٹریٹ کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے ، جو مائکروپورس کے ذریعہ ویکیوم جذب کو حاصل کرتا ہے ، ویفر کو درست طریقے سے ٹھیک کرتا ہے ، اور پلازما بمباری کے خلاف مزاحم ہے اور اس کی طویل خدمت زندگی ہے۔

● سنکنرن مزاحم اجزاء

گیلے اینچنگ اور صفائی ستھرائی کے سامان کی گہا استر کے لئے استعمال کیا جاتا ہے ، یہ مضبوط تیزاب (جیسے H₂so₄ ، Hno₃) اور مضبوط الکلیس (جیسے KOH) کے ذریعہ سنکنرن کی مزاحمت کرتا ہے۔

ther تھرمل فیلڈ یکسانیت کا کنٹرول

سنگل کرسٹل سلیکن نمو کی بھٹیوں (جیسے زیوکرالسکی طریقہ) میں ، گرمی کی ڈھال یا مدد کے طور پر ، اس کی اعلی تھرمل استحکام یکساں تھرمل کھیتوں کو برقرار رکھنے اور جعلی نقائص کو کم کرنے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔

● فلٹریشن اور طہارت

غیر محفوظ ڈھانچہ آلودگیوں کو جزوی طور پر روک سکتا ہے اور عمل کی صفائی کو یقینی بنانے کے لئے الٹرا پیور گیس/مائع کی ترسیل کے نظام میں استعمال ہوتا ہے۔

روایتی مواد سے زیادہ فوائد