سلیکن کاربائڈ سیرامکس کیا ہیں؟

آج کی عروج پر سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں ، سیمیکمڈکٹر سیرامک ​​اجزاء نے اپنی منفرد خصوصیات کی وجہ سے سیمیکمڈکٹر آلات میں ایک اہم پوزیشن حاصل کی ہے۔ آئیے ان اہم اجزاء کو تلاش کریں۔

ⅰ.سیمیکمڈکٹر سیرامک ​​اجزاء میں کون سے مواد استعمال ہوتے ہیں؟

(1) ایلومینا سیرامکس (ال₂و ₃) ‌

ایلومینا سیرامکس سیرامک ​​اجزاء کی تیاری کے لئے "ورک ہارس" ہیں۔ وہ عمدہ مکینیکل خصوصیات ، انتہائی اعلی پگھلنے والے مقامات اور سختی ، سنکنرن مزاحمت ، مضبوط کیمیائی استحکام ، اعلی مزاحمتی اور اعلی برقی موصلیت کا مظاہرہ کرتے ہیں۔ وہ عام طور پر پالش پلیٹوں ، ویکیوم چکس ، سیرامک ​​بازوؤں اور اسی طرح کے حصوں کو گھڑنے کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔

(2) ایلومینیم نائٹریڈ سیرامکس (ALN) ‌

ایلومینیم نائٹرائڈ سیرامکس میں اعلی تھرمل چالکتا ، سلیکن سے ملنے والی تھرمل توسیع گتانک ، اور کم ڈائی الیکٹرک مستقل اور نقصان کی خصوصیت ہے۔ اعلی پگھلنے والے مقام ، سختی ، تھرمل چالکتا ، اور موصلیت جیسے فوائد کے ساتھ ، وہ بنیادی طور پر حرارت سے محروم ہونے والے سبسٹریٹس ، سیرامک ​​نوزلز اور الیکٹرو اسٹاٹک چکس میں استعمال ہوتے ہیں۔

(3) atttria سیرامکس (y₂o₃) ‌

یٹرایا سیرامکس ایک اعلی پگھلنے والے مقام ، عمدہ کیمیائی اور فوٹو کیمیکل استحکام ، کم فونن انرجی ، اعلی تھرمل چالکتا ، اور اچھی شفافیت پر فخر کرتا ہے۔ سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں ، وہ اکثر ایلومینا سیرامکس کے ساتھ مل جاتے ہیں example مثال کے طور پر ، سیرامک ​​ونڈوز تیار کرنے کے لئے ایلومینا سیرامکس پر یٹیریا کوٹنگز لگائی جاتی ہیں۔

(4) ‌ سائلیکن نائٹرائڈ سیرامکس (si₃n₄) ‌

سلیکن نائٹرائڈ سیرامکس ایک اعلی پگھلنے والے مقام ، غیر معمولی سختی ، کیمیائی استحکام ، کم تھرمل توسیع گتانک ، اعلی تھرمل چالکتا ، اور مضبوط تھرمل جھٹکا مزاحمت کی خصوصیت رکھتے ہیں۔ وہ 1200 ° C سے کم اثر کے خلاف مزاحمت اور طاقت کو برقرار رکھتے ہیں ، جس سے وہ سیرامک ​​سبسٹریٹس ، بوجھ اٹھانے والے ہکس ، پوزیشننگ پنوں اور سیرامک ​​ٹیوبوں کے لئے مثالی ہیں۔

(5) sl سلیکن کاربائڈ سیرامکس (sic) ‌

سلیکن کاربائڈ سیرامکس ، جائیدادوں میں ہیرا سے مشابہت کرنے والے ، ہلکا پھلکا ، انتہائی سخت اور اعلی طاقت والے مواد ہیں۔ غیر معمولی جامع کارکردگی ، پہننے کے خلاف مزاحمت ، اور سنکنرن مزاحمت کے ساتھ ، وہ والو سیٹوں ، سلائیڈنگ بیئرنگ ، برنرز ، نوزلز اور ہیٹ ایکسچینجرز میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔

(6) ‌ zirconia سیرامکس (Zro₂) ‌

زرکونیا سیرامکس اعلی مکینیکل طاقت ، حرارت کی مزاحمت ، تیزاب/الکالی مزاحمت ، اور عمدہ موصلیت پیش کرتے ہیں۔ زرکونیا کے مواد کی بنیاد پر ، ان کی درجہ بندی کی گئی ہے:

● صحت سے متعلق سیرامکس ‌ (انٹیگریٹڈ سرکٹ سبسٹریٹس اور اعلی تعدد موصلیت والے مواد کے لئے استعمال ہونے والا مواد 99.9 ٪ سے زیادہ ہے)۔

● عام سیرامکس‌ (عام مقصد کے سیرامک ​​مصنوعات کے لئے)۔

ⅱ.سیمیکمڈکٹر سیرامک ​​اجزاء کی ساختی خصوصیات

(1) densedense سیرامکس‌

سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں گھنے سیرامکس بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔ وہ چھیدوں کو کم سے کم کرکے کثافت حاصل کرتے ہیں اور ایسے طریقوں کے ذریعہ تیار ہوتے ہیں جیسے رد عمل sintering ، دباؤ کے بغیر sintering ، مائع فیز سائنٹرنگ ، گرم دبانے ، اور گرم isostatic دباؤ۔

)

گھنے سیرامکس کے برعکس ، غیر محفوظ سیرامکس میں ویوڈس کا کنٹرول شدہ حجم ہوتا ہے۔ ان کو تاکنا سائز کے ذریعہ مائکروپورس ، میسوپورس اور میکروپورس سیرامکس میں درجہ بندی کیا گیا ہے۔ کم بلک کثافت ، ہلکا پھلکا ساخت ، بڑے مخصوص سطح کے علاقے ، موثر فلٹریشن/تھرمل موصلیت/صوتی ڈیمپنگ خصوصیات ، اور مستحکم کیمیائی/جسمانی کارکردگی کے ساتھ ، وہ سیمیکمڈکٹر آلات میں مختلف اجزاء تیار کرنے کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔

ⅲ.سیمیکمڈکٹر سیرامکس کیسے تشکیل پاتے ہیں؟

سیرامک ​​مصنوعات کے لئے مولڈنگ کے مختلف طریقے ہیں ، اور سیمیکمڈکٹر سیرامک ​​حصوں کے لئے عام طور پر استعمال ہونے والے مولڈنگ کے طریقے مندرجہ ذیل ہیں:

ⅳ.سیمیکمڈکٹر سیرامک ​​جزو sintering کے طریقے

1.‌solid-state sintering‌

بڑے پیمانے پر نقل و حمل کے ذریعہ کثافت حاصل کرتا ہے ، بغیر مائع مراحل ، جو اعلی طہارت سیرامکس کے لئے موزوں ہے۔

2. الکواڈ فیز سائنٹرنگ ‌

کثافت کو بڑھانے کے لئے عارضی مائع مراحل کا استعمال کرتا ہے لیکن اناج کی حد کے شیشے کے مراحل کو خطرہ بناتا ہے جو اعلی درجہ حرارت کی کارکردگی کو کم کرتے ہیں۔

3. اعلی درجہ حرارت کی ترکیب (ایس ایچ ایس) ‌

Relies on exothermic reactions for rapid synthesis, particularly effective for non-stoichiometric compounds‌.

4.‌microwave sintering‌

یکساں حرارتی اور تیز رفتار پروسیسنگ کو قابل بناتا ہے ، جس سے سبکرون اسکیل سیرامکس میں مکینیکل خصوصیات کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

5.‌spark پلازما sintering (sps) ‌

اعلی کارکردگی والے مواد کے ل ideal مثالی ، الٹرا فاسٹ کثافت کے لئے نبض برقی دھارے اور دباؤ کو جوڑتا ہے۔

6.‌ فلش sintering‌

دبے ہوئے اناج کی نشوونما کے ساتھ کم درجہ حرارت کی کثافت حاصل کرنے کے لئے برقی شعبوں کا اطلاق ہوتا ہے۔

7.‌ کولڈ سائنٹرنگ ‌

درجہ حرارت سے حساس مواد کے لئے اہم ، کم درجہ حرارت استحکام کے لئے عارضی سالوینٹس اور دباؤ کا استعمال کرتا ہے۔

8. ‌ سکلیٹری پریشر sintering‌

متحرک دباؤ کے ذریعے کثافت اور انٹرفیسیل طاقت میں اضافہ کرتا ہے ، جس سے بقایا پوروسٹی کو کم کیا جاتا ہے