سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ

ویٹیک سیمیکمڈکٹر سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ بنیادی طور پر ایس آئی سی سے بنا ہے۔ سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں ، سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ کا مرکزی کام ایک یکساں فلم کی تشکیل کو یقینی بنانے کے لئے یکساں طور پر رد عمل گیس تقسیم کرنا ہے۔کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی)یاجسمانی بخارات جمع (پی وی ڈی)عمل اعلی تھرمل چالکتا اور کیمیائی استحکام جیسے ایس آئی سی کی عمدہ خصوصیات کی وجہ سے ، ایس آئی سی شاور ہیڈ اعلی درجہ حرارت پر موثر انداز میں کام کرسکتا ہے ، اس کے دوران گیس کے بہاؤ کی عدم مساوات کو کم کرسکتا ہے۔جمع کرنے کا عمل، اور اس طرح فلمی پرت کے معیار کو بہتر بنائیں۔

سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ یکساں طور پر ایک ہی یپرچر کے ساتھ متعدد نوزلز کے ذریعہ رد عمل گیس کو یکساں طور پر تقسیم کرسکتا ہے ، گیس کے یکساں بہاؤ کو یقینی بنا سکتا ہے ، مقامی حراستی سے بچ سکتا ہے جو بہت زیادہ یا بہت کم ہیں ، اور اس طرح فلم کے معیار کو بہتر بنا سکتے ہیں۔ اعلی درجہ حرارت کی بہترین مزاحمت اور کیمیائی استحکام کے ساتھ مل کرCVD sic، کے دوران کوئی ذرات یا آلودگی جاری نہیں کی جاتی ہےفلم جمع کرنے کا عمل، جو فلم جمع کرنے کی پاکیزگی کو برقرار رکھنے کے لئے اہم ہے۔

بنیادی کارکردگی میٹرکس

کلیدی اشارے تکنیکی وضاحتیں ٹیسٹ کے معیارات

بیس مواد

تھرمل چالکتا (25 ℃) 330 W/(M · K) ± 5 ٪ ASTM E1461

آپریٹنگ درجہ حرارت کی حد -196 ℃ ~ 1650 ℃ سائیکل استحکام مل- STD-883 طریقہ

یپرچر مشینی درستگی ± 0.005 ملی میٹر (لیزر مائکرو ہول مشینی ٹیکنالوجی) آئی ایس او 286-2

سطح کی کھردری RA ≤0.05μm (آئینہ گریڈ ٹریٹمنٹ) JIS B 0601: 2013

ٹرپل عمل جدت طرازی کا فائدہ

نانوسکل ایئر فلو کنٹرول

1080 ہول میٹرکس ڈیزائن: 95.7 ٪ گیس کی تقسیم کی یکسانیت (ماپا ڈیٹا) حاصل کرنے کے لئے غیر متناسب شہد کی ساخت کو اپناتا ہے

تدریجی یپرچر ٹکنالوجی: 0.35 ملی میٹر بیرونی رنگ → 0.2 ملی میٹر سینٹر پروگریسو لے آؤٹ ، ایج اثر کو ختم کرنا

صفر آلودگی جمع کروانے سے تحفظ

الٹرا کلین سطح کا علاج:

آئن بیم اینچنگ نے سب سطح کو خراب شدہ پرت کو ہٹا دیا

جوہری پرت جمع (ALD) Al₂o₃ حفاظتی فلم (اختیاری)

تھرمل مکینیکل استحکام

تھرمل اخترتی کے گتانک: ≤0.8μm/m · ℃ (روایتی مواد سے 73 ٪ کم)

3000 تھرمل جھٹکا ٹیسٹ (RT↔1450 ℃ سائیکل) پاس کیا

SEM ڈیٹاسی وی ڈی ایس آئی سی فلم کرسٹل ڈھانچہ：

سی وی ڈی کی بنیادی جسمانی خصوصیات sic کوٹنگ：

ویٹیک سیمیکمڈکٹر سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ شاپس ：