سی وی ڈی ایس آئی سی لیپت ویفر حساسپٹر

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، ایپیٹیکسی چپ کی تیاری کا ایک اہم اقدام ہے ، اور وافر حساسپٹر ، ایپیٹاکسیل آلات کے ایک کلیدی جزو کے طور پر ، براہ راست یکسانیت ، عیب کی شرح اور ایپیٹاسیل پرت کی نشوونما کی کارکردگی کو متاثر کرتا ہے۔ اعلی طہارت ، اعلی استحکام کے مواد کی بڑھتی ہوئی طلب کو حل کرنے کے لئے ، ویٹیکسیمن نے سی وی ڈی ایس آئی سی لیپت ویفر حساسپٹر کا تعارف کرایا ، جس میں الٹرا ہائی پیورٹی (≤100 پی پی بی ، آئی سی پی-ای 10 مصدقہ) اور مکمل سائز کی مطابقت (6 "، 8" ، 12 ") کی خاصیت ہے ، جس میں اعلی درجے کی ایپٹیکسیل عمل کے لئے ایک اہم حل ہے۔

ⅰ. بنیادی فوائد

1. صنعت کی معروف پاکیزگی

کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے ذریعے جمع کردہ سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کوٹنگ ، ICP-MS (حوصلہ افزائی کے ساتھ مل کر پلازما ماس اسپیکٹومیٹری) کے ذریعہ تصدیق شدہ ≤100PPB (E10 معیار) کی ناپاک سطح کو حاصل کرتی ہے۔ یہ انتہائی اعلی طہارت Epitaxial نمو کے دوران آلودگی کے خطرات کو کم سے کم کرتی ہے ، جس سے گیلیم نائٹریڈ (GAN) اور سلیکن کاربائڈ (SIC) وسیع بینڈ گیپ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ جیسے اہم ایپلی کیشنز کے لئے اعلی کرسٹل معیار کو یقینی بنایا جاتا ہے۔

2. غیر معمولی اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور کیمیائی استحکام

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ بقایا جسمانی اور کیمیائی استحکام فراہم کرتی ہے:

اعلی درجہ حرارت برداشت: بغیر کسی تعی .ن یا اخترتی کے 1600 ° C تک مستحکم آپریشن ؛

سنکنرن کے خلاف مزاحمت: جارحانہ ایپیٹاکسیل پروسیس گیسوں (جیسے ، HCl ، H₂) کا مقابلہ کرتا ہے ، خدمت کی زندگی کو بڑھانا ؛

کم تھرمل تناؤ: ایس آئی سی ویفرز کے تھرمل توسیع کے گتانک سے میل کھاتا ہے ، جس سے وار پیج کے خطرات کو کم کیا جاتا ہے۔

3. مرکزی دھارے میں شامل پروڈکشن لائنوں کے لئے مکمل سائز کی مطابقت

6 انچ ، 8 انچ ، اور 12 انچ کنفیگریشن میں دستیاب ، سوسیسٹر متنوع ایپلی کیشنز کی حمایت کرتا ہے ، جس میں تیسری نسل کے سیمیکمڈکٹرز ، پاور ڈیوائسز اور آر ایف چپس شامل ہیں۔ اس کی صحت سے متعلق انجینئرڈ سطح AMTA اور دیگر مرکزی دھارے میں شامل Epitaxial ری ایکٹرز کے ساتھ ہموار انضمام کو یقینی بناتی ہے ، جس سے تیزی سے پیداواری لائن اپ گریڈ کو قابل بناتا ہے۔

4. مقامی پیداوار کی پیشرفت

ملکیتی سی وی ڈی اور پوسٹ پروسیسنگ ٹیکنالوجیز کا فائدہ اٹھاتے ہوئے ، ہم نے اعلی طہارت والے ایس آئی سی لیپت حساسیتوں پر بیرون ملک اجارہ داری کو توڑ دیا ہے ، گھریلو اور عالمی صارفین کو ایک لاگت سے موثر ، تیز رفتار ترسیل ، اور مقامی طور پر تائید شدہ متبادل کی پیش کش کی ہے۔

ⅱ. تکنیکی فضیلت

● صحت سے متعلق سی وی ڈی عمل: مرضی کے مطابق جمع کرنے والے پیرامیٹرز (درجہ حرارت ، گیس کا بہاؤ) گھنے ، یکساں موٹائی (انحراف ≤3 ٪) کے ساتھ تاکنا سے پاک ملعمع کاری کو یقینی بناتے ہیں ، ذرہ آلودگی کو ختم کرتے ہیں۔

● کلین روم مینوفیکچرنگ: سبسٹریٹ تیاری سے لے کر کوٹنگ تک ، پیداوار کا پورا عمل ، کلاس 100 کلین رومز میں کیا جاتا ہے ، جس میں سیمی کنڈکٹر گریڈ کی صفائی کے معیارات کو پورا کیا جاتا ہے۔

● حسب ضرورت: سامان کمیشننگ کو تیز کرنے کے لئے تیار کردہ کوٹنگ کی موٹائی ، سطح کی کھردری (RA ≤0.5μm) ، اور پہلے سے لیپت عمر بڑھنے کے علاج۔

ⅲ. درخواستیں اور صارفین کے فوائد

● تیسری نسل کے سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسی: SIC اور GAN کی MOCVD/MBE نمو ، آلہ کی خرابی وولٹیج کو بڑھانا اور سوئچنگ کی کارکردگی کے لئے مثالی۔

● سلیکن پر مبنی ایپیٹیکسی: اعلی وولٹیج آئی جی بی ٹی ایس ، سینسر اور دیگر سلکان آلات کے لئے پرت کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے۔

● قیمت فراہم کی گئی:

Epitaxial نقائص کو کم کرتا ہے ، جس سے چپ کی پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔

بحالی کی تعدد اور ملکیت کی کل لاگت کو کم کرتا ہے۔

سیمیکمڈکٹر آلات اور مواد کے لئے سپلائی چین کی آزادی کو تیز کرتا ہے۔

چین میں اعلی طہارت کے سی وی ڈی ایس آئی سی-لیپت ویفر حساسیتوں کے علمبردار ہونے کے ناطے ، ہم جدید ٹیکنالوجی کے ذریعہ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کو آگے بڑھانے کے لئے پرعزم ہیں۔ ہمارے حل نئی پروڈکشن لائنوں اور میراثی سازوسامان دونوں کے لئے قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بناتے ہیں ، جس سے بے مثال معیار اور کارکردگی کے ساتھ ایپیٹاکسیل عمل کو بااختیار بنایا جاتا ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات