مصنوعات
CVD SiC کوٹنگ گریفائٹ حصوں کی صفائی کی خدمت
  • CVD SiC کوٹنگ گریفائٹ حصوں کی صفائی کی خدمتCVD SiC کوٹنگ گریفائٹ حصوں کی صفائی کی خدمت

CVD SiC کوٹنگ گریفائٹ حصوں کی صفائی کی خدمت

VETEK پروفیشنل کلیننگ سروس برائے CVD SiC Coated Graphite Parts ایک خصوصی تکنیکی خدمت ہے جو Aixtron / Veeco MOCVD آلات کے سسیپٹرز اور گریفٹ کے اجزاء کے لیے ڈیزائن کی گئی ہے جو GaN / AlN / AlGaN ایپیٹیکسیل پروسیس میں استعمال ہوتی ہے۔ ہمارا ملکیتی صفائی کا عمل سطح کی یادداشت کے اثر کو مکمل طور پر ختم کرتا ہے، ری ایکٹر میں گیس کے مستحکم بہاؤ کو بحال کرتا ہے، اور 100 µm CVD SiC کوٹنگ کو مکمل صفر موٹائی کے نقصان اور صفر دھات کی باقیات کے ساتھ سختی سے تحفظ فراہم کرتا ہے۔

1. وہ چیلنجز جن کا آپ کو سامنا ہو سکتا ہے۔

• ایل این پرت کو ہٹانا مشکل ہے:1300°C تھرمل کلین اب بھی مؤثر طریقے سے بقایا AlN پرت کو نہیں کھینچ سکتا۔

• بار بار چلنے والا میموری اثر:سطح کی یادداشت کا اثر ری ایکٹر میں گیس کے غیر مستحکم بہاؤ کا سبب بنتا ہے، جس سے عمل کی مستقل مزاجی متاثر ہوتی ہے۔

• سائیکل امپیک کی صفائیts تھرو پٹ:عام طور پر ہر 16 عمل کے چکروں (4-5 susceptors) کو بیرونی صفائی کی ضرورت ہوتی ہے۔

• مہنگی کوٹنگ کو نقصان پہنچانے کے بارے میں تشویش:اندرون خانہ کیمیائی صفائی کے تجربے کی کمی آپریٹرز کو جارحانہ صفائی کی کوشش کرنے میں ہچکچاتے ہیں۔

2. ہمارا حل - GaN / AlN / AlGaN کے عمل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔

پیشہ ورانہ صفائی:اپنی مرضی کے عمل کو خاص طور پر CVD SiC لیپت گریفائٹ حصوں کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ کسٹمر سے کسی کیمیائی فارمولے کی ضرورت نہیں ہے۔

کوٹنگ کی حفاظت:100 µm CVD SiC کوٹنگ کی سختی سے حفاظت کرتا ہے۔ صفائی کے بعد بالکل صفر موٹائی کا نقصان۔

• قابل تصدیق نتائج:تجزیہ کا مکمل سرٹیفکیٹ (COA) پانچ بنیادی جہتوں کا احاطہ کرتا ہے۔ ڈیٹا آرکائیو اور کوالٹی آڈٹ کے لیے تیار ہے۔

3. قبولیت کے پانچ بنیادی معیار

سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی صارفین کی اہم ضروریات کے ساتھ سختی سے منسلک:

1. زیرو کوٹنگ کا نقصان- صفائی کے بعد SiC کوٹنگ کی موٹائی کبھی کم نہیں ہوتی (موٹائی سے پہلے کے مقابلے کی تصدیق)۔

2. کوئی سطحی اخترتی نہیں۔- ہمواری اور ہندسی درستگی کا سختی سے معائنہ کیا جاتا ہے تاکہ اس بات کو یقینی بنایا جا سکے کہ جسمانی خرابی نہ ہو۔

3. میموری اثر کو ختم کریں۔- Al/Ga بقایا کے لیے XPS تجزیہ میموری اثر کے ذرائع کو مکمل طور پر ہٹانے کی تصدیق کرتا ہے۔

4. صفر دھات کی باقیات– Fe, Cu, Ni اور دیگر دھاتوں کے لیے ICP-MS ٹیسٹنگ صفر بقایا دھاتی نجاست کی تصدیق کرتی ہے۔

5. کوئی اضافی ذرات نہیں۔- QIII پارٹیکل ٹیسٹ کے علاوہ صفائی کی تصدیق بقایا ذرات کی وجہ سے گیس کے بہاؤ کی عدم استحکام کو روکتی ہے۔

4. ڈلیوری معائنہ اور COA رپورٹ

ہر بیچ کو پانچ بنیادی جہتوں میں مکمل تصدیقی ڈیٹا کے ساتھ ڈیلیور کیا جاتا ہے:

معائنہ آئٹم
تصدیق کا طریقہ اور مقصد
ذرات اور صفائی
QIII پارٹیکل ٹیسٹ + صفائی کی توثیق - اس بات کو یقینی بنائیں کہ زیادہ ذرات نہ ہوں۔
صفر SiC کوٹنگ نقصان
موٹائی سے پہلے/بعد کا موازنہ - CVD SiC کوٹنگ میں قطعی کوئی کمی نہ ہونے کی تصدیق کریں۔
Al / Ga بقایا
XPS کی توثیق - میموری اثر کو مکمل طور پر ختم کرنے کی تصدیق کریں۔
دھاتی نجاست
Fe / Cu / Ni وغیرہ کے لیے ICP-MS - صفر بقایا دھاتیں۔
چپٹا پن / اخترتی
ہندسی درستگی کا معائنہ - کسی جسمانی خرابی کی ضمانت نہیں دیتا ہے۔

5. قابل اطلاق مصنوعات اور عمل کا پس منظر

پروڈکٹ کے پیرامیٹرز

آئٹم
تفصیلات
سروس کی قسم
Aixtron / Veeco CVD SiC کوٹنگ گریفائٹ پارٹس
سائز
6 انچ / 8 انچ اور دیگر حسب ضرورت سائز
سبسٹریٹ اور کوٹنگ
گریفائٹ بیس + 100 µm CVD SiC کوٹنگ
نمو کا مواد
GaN / AlN / AlGaN (عام: AlN ≈ 100 nm، GaN ≈ 2 µm فی نمو)

سروس کا عمل

1. استفسار- جانچ کے لیے حصہ کی تصاویر/ماڈل/مقدار بھیجیں۔

2. اقتباس- تکنیکی تشخیص اور کوٹیشن کے ساتھ صفائی کی تفصیلی تجویز۔

3. شپنگ- ہمارے پاس پرزے بھیجیں یا پک اپ سروس کا بندوبست کریں۔

4. صفائی- پیشہ ورانہ صفائی + مکمل کثیر جہتی معائنہ۔

5. رپورٹ- COA رپورٹ جاری کی گئی اور صاف کیے گئے حصے واپس کر دیے گئے۔

6. فالو اپ- اثر سے باخبر رہنا اور جاری تکنیکی مدد۔

6. VETEK کلیننگ سروس کا انتخاب کیوں کریں؟

VETEK CVD SiC کوٹنگ ٹکنالوجی میں گہری مہارت کو اعلی قیمت والے گریفائٹ سسپٹرز کے لیے خصوصی صفائی کی صلاحیتوں کے ساتھ جوڑتا ہے۔ ہم GaN/AlN ایپیٹیکسی میں کوٹنگ کی سالمیت، ذرہ کنٹرول، اور عمل کی پاکیزگی کی اہم اہمیت کو سمجھتے ہیں۔ ہماری سروس ان صارفین کے لیے بنائی گئی ہے جنہیں میموری اثر اور گیس کے بہاؤ کے عدم استحکام کے مسائل کو مکمل طور پر حل کرتے ہوئے مہنگی CVD SiC کوٹنگز کے لیے مکمل حفاظت کی ضرورت ہوتی ہے۔

· چھوٹے بیچ کی تصدیق کے لیے آزمائشی صفائی دستیاب ہے۔

· ہر ڈیلیوری کے ساتھ مکمل COA رپورٹ فراہم کی جاتی ہے۔

· کوٹنگ کے نقصان یا نئی آلودگی کا صفر خطرہ

· پیشہ ورانہ · محفوظ · قابل تصدیق

ہاٹ ٹیگز: CVD SiC لیپت گریفائٹ کی صفائی، SiC کوٹنگ کی صفائی کی خدمت، میموری اثر کو ہٹانا، Aixtron susceptor کی صفائی، Veeco گریفائٹ حصوں کی صفائی، GaN AlN AlGaN صفائی، صفر کوٹنگ نقصان کی صفائی، پیشہ ورانہ گریفائٹ سسپٹر کی صفائی، CVD SiC صفائی کی خدمت، VETEK تکنیکی خدمت
انکوائری بھیجیں۔
رابطہ کی معلومات
  • پتہ

    وانگڈا روڈ، زیانگ اسٹریٹ، ووئی کاؤنٹی، جنہوا سٹی، ژیجیانگ صوبہ، چین

  • ٹیلی فون

    +86-18069220752

  • ای میل

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
ہم آپ کو براؤزنگ کا بہتر تجربہ پیش کرنے ، سائٹ ٹریفک کا تجزیہ کرنے اور مواد کو ذاتی نوعیت دینے کے لئے کوکیز کا استعمال کرتے ہیں۔ اس سائٹ کا استعمال کرکے ، آپ کوکیز کے ہمارے استعمال سے اتفاق کرتے ہیں۔رازداری کی پالیسی