آئن بیم سپٹر سورس گرڈ

آئن بیم کا ذریعہ ایک پلازما ذریعہ ہے جو گرڈ کے ساتھ نصب ہوتا ہے اور آئنوں کو نکالنے کے قابل ہوتا ہے۔ OIPT (Oxford Instruments Plasma Technology) آئن بیم سورس تین اہم اجزاء پر مشتمل ہے: ایک ڈسچارج چیمبر، ایک گرڈ، اور ایک نیوٹرلائزر۔

آئن بیم اسپٹر سورس گرڈ کا اسکیمیٹک ڈایاگرام کام کر رہا ہے۔

● ڈسچارج چیمبرایک کوارٹج یا ایلومینیم چیمبر ہے جو ریڈیو فریکوئنسی اینٹینا سے گھرا ہوا ہے۔ اس کا اثر ریڈیو فریکوئنسی فیلڈ کے ذریعے گیس (عام طور پر آرگن) کو آئنائز کرنا ہے، جس سے پلازما پیدا ہوتا ہے۔ ریڈیو فریکوئنسی فیلڈ مفت الیکٹرانوں کو اکساتی ہے، جس کی وجہ سے گیس کے ایٹم آئنوں اور الیکٹرانوں میں تقسیم ہو جاتے ہیں، جس کے نتیجے میں پلازما بنتا ہے۔ ڈسچارج چیمبر میں آر ایف اینٹینا کا اینڈ ٹو اینڈ وولٹیج بہت زیادہ ہے، جس کا آئنوں پر الیکٹرو سٹیٹک اثر پڑتا ہے، جس سے وہ ہائی انرجی آئن بنتے ہیں۔

gr گرڈ کا کردارآئن میں ذریعہ آئنوں کو جدا کرنا اور انہیں مطلوبہ توانائی میں تیز کرنا ہے۔ او آئی پی ٹی آئن بیم کے ذریعہ کا گرڈ 2 ~ 3 گرڈوں پر مشتمل ہے جس میں ایک مخصوص ترتیب کے نمونے ہیں ، جو ایک وسیع آئن بیم تشکیل دے سکتے ہیں۔ گرڈ کی ڈیزائن خصوصیات میں وقفہ کاری اور گھماؤ شامل ہے ، جسے آئنوں کی توانائی کو کنٹرول کرنے کے لئے درخواست کی ضروریات کے مطابق ایڈجسٹ کیا جاسکتا ہے۔

● ایک نیوٹرلائزرآئن بیم میں آئنک چارج کو غیر موثر بنانے ، آئن بیم کے موڑ کو کم کرنے ، اور چپ یا پھیلنے والے ہدف کی سطح پر چارج کرنے سے بچنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔ مطلوبہ نتائج کے ل the مختلف پیرامیٹرز کو متوازن کرنے کے لئے نیوٹرلائزر اور دیگر پیرامیٹرز کے مابین تعامل کو بہتر بنائیں۔ آئن بیم کا انحراف کئی پیرامیٹرز سے متاثر ہوتا ہے ، جس میں گیس بکھرنے اور مختلف وولٹیج اور موجودہ پیرامیٹرز شامل ہیں۔

کوارٹج چیمبر میں الیکٹرو اسٹاٹک اسکرین رکھ کر اور تین گرڈ ڈھانچے کو اپنانے سے او آئی پی ٹی آئن بیم کے ماخذ کے عمل کو بہتر بنایا گیا ہے۔ الیکٹرو اسٹاٹک اسکرین الیکٹرو اسٹاٹک فیلڈ کو آئن کے ذریعہ میں داخل ہونے سے روکتی ہے اور داخلی کوندکٹو پرت کو جمع کرنے سے مؤثر طریقے سے روکتی ہے۔ تھری گرڈ ڈھانچے میں شیلڈنگ گرڈ ، تیز رفتار گرڈ اور گرڈ گرڈ شامل ہے ، جو توانائی کی واضح طور پر وضاحت کرسکتا ہے اور آئنوں کو آئنوں کو بہتر بنانے کے لئے آئنوں کو چلا سکتا ہے۔.

چترا 1۔م وولٹیج میں پلازما کے اندر منبع

شکل 2 بیم وولٹیج میں منبع کے اندر پلازما

چترا 3۔ آئن بیم اینچنگ اور جمع کرنے کے نظام کا اسکیمیٹک آریگرام

اینچنگ تکنیک بنیادی طور پر دو قسموں میں آتی ہے:

● آئن بیم اینچنگ مع انیرٹ گیسز (IBE): اس طریقہ کار میں اینٹ گیسوں جیسے ارگون ، زینون ، نیین ، یا کرپٹن کو اینچنگ کے لئے استعمال کرنا شامل ہے۔ IBE جسمانی اینچنگ مہیا کرتا ہے اور سونے ، پلاٹینم اور پیلاڈیم جیسے دھاتوں کی پروسیسنگ کی اجازت دیتا ہے ، جو عام طور پر رد عمل آئن اینچنگ کے لئے مناسب نہیں ہیں۔ ملٹی لیئر مواد کے ل I ، IBE اس کی سادگی اور کارکردگی کی وجہ سے ترجیحی طریقہ ہے ، جیسا کہ مقناطیسی بے ترتیب رسائی میموری (ایم آر اے ایم) جیسے آلات کی تیاری میں دیکھا گیا ہے۔

● ری ایکٹیو آئن بیم ایچنگ (RIBE): آربن جیسے کیمیائی رد عمل گیسوں جیسے SF6 ، CHF3 ، CF4 ، O2 ، یا CL2 کو ارگون جیسی گیسوں میں شامل کرتا ہے۔ یہ تکنیک کیمیائی رد عمل کو متعارف کراتے ہوئے اینچنگ کی شرح اور مادی انتخاب میں اضافہ کرتی ہے۔ رِب کو یا تو اینچنگ ماخذ کے ذریعے یا سبسٹریٹ پلیٹ فارم پر چپ کے آس پاس کے ماحول کے ذریعے متعارف کرایا جاسکتا ہے۔ مؤخر الذکر طریقہ ، جسے کیمیائی طور پر اسسٹڈ آئن بیم اینچنگ (کیبیب) کے نام سے جانا جاتا ہے ، اعلی کارکردگی فراہم کرتا ہے اور کنٹرول شدہ اینچنگ خصوصیات کی اجازت دیتا ہے۔

آئن بیم اینچنگ مادی پروسیسنگ کے دائرے میں بہت سے فوائد کی پیش کش کرتی ہے۔ یہ متنوع مادوں کو دور کرنے کی صلاحیت میں سبقت لے جاتا ہے ، یہاں تک کہ پلازما اینچنگ تکنیک کے ل challengely روایتی طور پر چیلنج کرنے والوں تک بھی اس میں توسیع کرتا ہے۔ مزید برآں ، اس طریقہ کار سے نمونے کی جھکاؤ کے ذریعہ سائیڈ وال پروفائلز کی تشکیل کی اجازت ملتی ہے ، جس سے اینچنگ کے عمل کی صحت سے متعلق اضافہ ہوتا ہے۔ کیمیائی رد عمل گیسوں کو متعارف کرانے سے ، آئن بیم اینچنگ ETCH کی شرحوں کو نمایاں طور پر بڑھا سکتی ہے ، جس سے مواد کو ہٹانے میں تیزی لانے کا ایک ذریعہ فراہم ہوتا ہے۔ 

یہ ٹیکنالوجی اہم پیرامیٹرز جیسے آئن بیم کرنٹ اور انرجی پر خود مختار کنٹرول بھی دیتی ہے، موزوں اور درست اینچنگ کے عمل میں سہولت فراہم کرتی ہے۔ خاص طور پر، آئن بیم اینچنگ غیر معمولی آپریشنل ریپیٹ ایبلٹی کا حامل ہے، مستقل اور قابل اعتماد نتائج کو یقینی بناتا ہے۔ مزید برآں، یہ نمایاں اینچ یکسانیت کو ظاہر کرتا ہے، جو سطحوں پر مسلسل مواد کو ہٹانے کے لیے اہم ہے۔ اپنے وسیع عمل کی لچک کے ساتھ، آئن بیم اینچنگ مادی ساخت اور مائیکرو فیبریکیشن ایپلی کیشنز میں ایک ورسٹائل اور طاقتور ٹول کے طور پر کھڑا ہے۔

وٹیک سیمی کنڈکٹر گریفائٹ مواد آئن بیم گرڈ بنانے کے لیے کیوں موزوں ہے؟

● چالکتا: گریفائٹ بہترین چالکتا کی نمائش کرتا ہے، جو آئن بیم گرڈز کے لیے آئن بیم کی سرعت یا کمی کے لیے مؤثر طریقے سے رہنمائی کرنے کے لیے اہم ہے۔

● کیمیائی استحکام: گریفائٹ کیمیائی طور پر مستحکم ہے ، جو کیمیائی کٹاؤ اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت کرنے کی صلاحیت رکھتا ہے ، اس طرح ساختی سالمیت اور کارکردگی کے استحکام کو برقرار رکھتا ہے۔

● مکینیکل طاقت: گریفائٹ میں آئن بیم کے ایکسلریشن کے دوران پیدا ہونے والی قوتوں اور دباؤ کا مقابلہ کرنے کے لئے کافی میکانکی طاقت اور استحکام ہے۔

● درجہ حرارت کا استحکام: گریفائٹ اعلی درجہ حرارت پر اچھے استحکام کا مظاہرہ کرتا ہے ، جس سے اسے بغیر کسی ناکامی یا اخترتی کے آئن بیم کے سامان میں اعلی درجہ حرارت کے ماحول کا مقابلہ کرنے کے قابل بناتا ہے۔

ویٹیک سیمیکمڈکٹر آئن بیم اسپٹر ذرائع گرڈ مصنوعات: