ALD جوہری تہہ جمع کرنے کی ترکیب

مقامی ALD, مقامی طور پر الگ تھلگ جوہری پرت جمع. ویفر مختلف پوزیشنوں کے مابین حرکت کرتا ہے اور ہر پوزیشن پر مختلف پیش خیموں کے سامنے آتا ہے۔ ذیل میں اعداد و شمار روایتی ALD اور مقامی طور پر الگ تھلگ ALD کے مابین موازنہ ہے۔

عارضی ALD,عارضی طور پر الگ تھلگ جوہری تہہ جمع. ویفر کو طے کیا جاتا ہے اور پیشگی کو باری باری متعارف کرایا جاتا ہے اور چیمبر میں ہٹا دیا جاتا ہے۔ یہ طریقہ زیادہ متوازن ماحول میں ویفر پر کارروائی کر سکتا ہے، اس طرح نتائج کو بہتر بناتا ہے، جیسے کہ اہم جہتوں کی حد کا بہتر کنٹرول۔ نیچے دی گئی تصویر ٹیمپورل ALD کا اسکیمیٹک ڈایاگرام ہے۔

والو کو روکیں ، قریبی والو۔ عام طور پر میں استعمال ہوتا ہے，ترکیبیں ، جو ویکیوم پمپ پر والو کو بند کرنے کے لئے استعمال ہوتی ہیں ، یا ویکیوم پمپ پر اسٹاپ والو کھولتی ہیں۔

پیشگی، پیشگی۔ دو یا دو سے زیادہ، ہر ایک مطلوبہ جمع شدہ فلم کے عناصر پر مشتمل ہے، باری باری سبسٹریٹ سطح پر جذب کیے جاتے ہیں، ایک وقت میں صرف ایک پیش خیمہ کے ساتھ، ایک دوسرے سے آزاد۔ ہر پیشگی ایک monolayer بنانے کے لیے سبسٹریٹ کی سطح کو سیر کرتا ہے۔ پیشگی شکل نیچے دی گئی تصویر میں دیکھی جا سکتی ہے۔

صاف کریں ، جسے طہارت بھی کہا جاتا ہے۔ عام صاف گیس ، صاف گیس۔جوہری تہہ جمعہر ایک ری ایکٹنٹ کے سڑن اور جذب کے ذریعہ پتلی فلم بنانے کے لئے دو یا زیادہ ری ایکٹنٹس کو ایک رد عمل چیمبر میں ترتیب سے جوہری پرتوں میں پتلی فلموں کو جمع کرنے کا ایک طریقہ ہے۔ یعنی ، چیمبر کے اندر کیمیائی طور پر جمع کرنے کے لئے پہلی رد عمل گیس کو نبض انداز میں فراہم کیا جاتا ہے ، اور جسمانی طور پر بانڈڈ بقایا پہلی رد عمل گیس کو صاف کرکے ہٹا دیا جاتا ہے۔ اس کے بعد ، دوسرا رد عمل گیس بھی پلس اور پرج کے عمل کے ذریعہ پہلی رد عمل گیس کے ساتھ ایک کیمیائی بانڈ تشکیل دیتا ہے ، اس طرح مطلوبہ فلم کو سبسٹریٹ پر جمع کرتا ہے۔ پرج کو نیچے دیئے گئے اعداد و شمار میں دیکھا جاسکتا ہے۔

سائیکل جوہری پرت جمع کرنے کے عمل میں ، ہر رد عمل گیس کے لئے ایک بار نبض اور صاف ہونے کا وقت ایک سائیکل کہا جاتا ہے۔

جوہری پرت ایپیٹیکسی.جوہری پرت جمع کرنے کے لئے ایک اور اصطلاح۔

Trimethylaluminum، مختصراً TMA، trimethylaluminum۔ جوہری تہہ جمع کرنے میں، TMA اکثر Al2O3 بنانے کے لیے پیشگی کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ عام طور پر، TMA اور H2O Al2O3 بنتے ہیں۔ اس کے علاوہ TMA اور O3 Al2O3 بنتے ہیں۔ ذیل کی تصویر Al2O3 جوہری تہہ کے جمع ہونے کا ایک اسکیمیٹک خاکہ ہے، TMA اور H2O کو پیشگی کے طور پر استعمال کرتے ہوئے۔

3-Aminopropyltriethoxysilane، جسے APTES، 3-aminopropyltrimethoxysilane کہا جاتا ہے۔ میںجوہری پرت جمع، آپٹیس اکثر SIO2 بنانے کے پیشگی کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ عام طور پر ، آپٹیس ، O3 اور H2O SIO2 تشکیل دیتے ہیں۔ نیچے دیئے گئے اعداد و شمار APTES کا ایک اسکیمیٹک آریھ ہے۔