MOCVD ٹیکنالوجی

VeTek Semiconductor MOCVD ٹیکنالوجی کے اسپیئر پارٹس میں فائدہ اور تجربہ رکھتا ہے۔

MOCVD، Metal-organic Chemical Vapor Deposition (metal-organic Chemical Vapor Deposition) کا پورا نام، دھاتی-نامیاتی بخارات کا مرحلہ بھی کہا جا سکتا ہے۔ آرگنومیٹالک مرکبات دھات کاربن بانڈ کے ساتھ مرکبات کی ایک کلاس ہیں۔ ان مرکبات میں دھات اور کاربن ایٹم کے درمیان کم از کم ایک کیمیائی بانڈ ہوتا ہے۔ دھاتی-نامیاتی مرکبات اکثر پیشگی کے طور پر استعمال ہوتے ہیں اور جمع کرنے کی مختلف تکنیکوں کے ذریعے سبسٹریٹ پر پتلی فلمیں یا نانو اسٹرکچر بنا سکتے ہیں۔

دھاتی-نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنا (MOCVD ٹیکنالوجی) ایک عام ایپیٹیکسیل ترقی کی ٹیکنالوجی ہے، MOCVD ٹیکنالوجی بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر لیزرز اور ایل ای ڈیز کی تیاری میں استعمال ہوتی ہے۔ خاص طور پر جب ایل ای ڈیز تیار کرتے ہیں، MOCVD گیلیم نائٹرائڈ (GaN) اور متعلقہ مواد کی تیاری کے لیے ایک کلیدی ٹیکنالوجی ہے۔

Epitaxy کی دو اہم شکلیں ہیں: Liquid Phase Epitaxy (LPE) اور Vapor Phase Epitaxy (VPE)۔ گیس فیز ایپیٹیکسی کو مزید دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) اور مالیکیولر بیم ایپیٹیکسی (MBE) میں تقسیم کیا جاسکتا ہے۔

غیر ملکی سازوسامان مینوفیکچررز کی نمائندگی بنیادی طور پر Aixtron اور Veeco کرتے ہیں۔ ایم او سی وی ڈی سسٹم لیزرز، ایل ای ڈیز، فوٹو الیکٹرک پرزوں، پاور، آر ایف ڈیوائسز اور سولر سیلز کی تیاری کے لیے کلیدی آلات میں سے ایک ہے۔

ہماری کمپنی کے تیار کردہ MOCVD ٹیکنالوجی کے اسپیئر پارٹس کی اہم خصوصیات:

1) اعلی کثافت اور مکمل انکیپسولیشن: مجموعی طور پر گریفائٹ کی بنیاد ایک اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں ہے، سطح کو مکمل طور پر لپیٹا جانا چاہیے، اور کوٹنگ میں اچھا حفاظتی کردار ادا کرنے کے لیے اچھی کثافت ہونی چاہیے۔

2) اچھی سطح کا چپٹا پن: چونکہ سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے استعمال ہونے والے گریفائٹ بیس کو بہت زیادہ سطح کی ہمواری کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ تیار ہونے کے بعد بیس کی اصل ہمواری برقرار رکھی جانی چاہیے، یعنی کوٹنگ کی تہہ یکساں ہونی چاہیے۔

3) اچھی بانڈنگ طاقت: گریفائٹ بیس اور کوٹنگ میٹریل کے درمیان تھرمل توسیع کے گتانک میں فرق کو کم کریں، جو دونوں کے درمیان بانڈنگ کی مضبوطی کو مؤثر طریقے سے بہتر بنا سکتا ہے، اور اعلی اور کم درجہ حرارت کی گرمی کا سامنا کرنے کے بعد کوٹنگ کا ٹوٹنا آسان نہیں ہے۔ سائیکل

4) اعلی تھرمل چالکتا: اعلی معیار کی چپ کی نشوونما کے لیے تیز رفتار اور یکساں حرارت فراہم کرنے کے لیے گریفائٹ بیس کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ کے مواد میں اعلی تھرمل چالکتا ہونا چاہیے۔

5) ہائی پگھلنے کا نقطہ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت، سنکنرن مزاحمت: کوٹنگ کو اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں مستحکم طور پر کام کرنے کے قابل ہونا چاہئے۔

4 انچ سبسٹریٹ رکھیں
ایل ای ڈی کو اگانے کے لیے نیلے سبز رنگ کی ایپیٹکسی
ری ایکشن چیمبر میں رکھا
ویفر کے ساتھ براہ راست رابطہ 4 انچ سبسٹریٹ رکھیں
UV LED epitaxial فلم کو اگانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔
ری ایکشن چیمبر میں رکھا
ویفر کے ساتھ براہ راست رابطہ Veeco K868/Veeco K700 مشین
سفید ایل ای ڈی ایپیٹیکسی / بلیو گرین ایل ای ڈی ایپیٹیکسی VEECO آلات میں استعمال کیا جاتا ہے۔
MOCVD Epitaxy کے لیے
SiC کوٹنگ سسیپٹر ایکسٹرون ٹی ایس کا سامان
ڈیپ الٹرا وائلٹ ایپیٹیکسی
2 انچ سبسٹریٹ ویکو کا سامان
سرخ پیلے ایل ای ڈی ایپیٹیکسی
4 انچ ویفر سبسٹریٹ ٹی اے سی لیپت سسیپٹر
(SiC Epi/UV LED رسیور) سی سی لیپت سسپٹر
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD Susceptor)