Epitaxy کے لئے sic لیپت سگ ماہی کی انگوٹھی

ⅰ. sic لیپت مہر کی انگوٹھی کیا ہے؟

ایس آئی سی لیپت مہر رنگ (سلیکن کاربائڈ لیپت مہر رنگ) ایک صحت سے متعلق سگ ماہی جز ہے جو اعلی درجہ حرارت ، انتہائی سنکنرن سیمیکمڈکٹر عمل کے ماحول کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس کا بنیادی کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) یا جسمانی بخار جمع (پی وی ڈی) عمل ، گریفائٹ یا کاربن کمپوزٹ میٹریل سبسٹریٹ سطح کے ذریعے اعلی طہارت سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کوٹنگ کی ایک پرت کے ساتھ یکساں طور پر احاطہ کرتا ہے ، سبسٹریٹ کی میکانکی طاقت کی تشکیل اور اعلی پرفارمنس سیلنگ پراپرٹیز کی کوٹنگ۔  

ⅱ. مصنوعات کی تشکیل اور بنیادی ٹکنالوجی  

1. سبسٹریٹ مواد:

گریفائٹ یا کاربن کاربن جامع مواد: بیس میٹریل میں گرمی کی مزاحمت (2000 سے زیادہ کا مقابلہ کر سکتی ہے) اور تھرمل توسیع کے کم گتانک کا فائدہ ہے ، اس طرح اعلی درجہ حرارت جیسے انتہائی حالات کے تحت جہتی استحکام کو یقینی بنایا جاتا ہے۔  

صحت سے متعلق مشینی ڈھانچہ: صحت سے متعلق رنگ کے ڈیزائن کو سیمیکمڈکٹر آلات کی گہا کے ساتھ بالکل موافقت بخشا جاسکتا ہے ، اس طرح سگ ماہی کی سطح اور اچھ air ی ہوا کی روشنی کو یقینی بناتا ہے۔  

2. فنکشنل کوٹنگ:  

اعلی طہارت SIC کوٹنگ (طہارت ≥99.99 ٪): CVD عمل کے ذریعے کوئنگ کی موٹائی عام طور پر 10-50μm ہوتی ہے ، تاکہ گھنے غیر غیر محفوظ سطح کے ڈھانچے کی ایک پرت تشکیل دی جاسکے ، جس سے سگ ماہی رنگ کی سطح کو بہترین کیمیائی جڑت اور مکینیکل خصوصیات ملتی ہیں۔

ⅲ. بنیادی جسمانی خصوصیات اور فوائد

ویٹیکسیمن کی ایس آئی سی لیپت سگ ماہی کی حلقے سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کے ل ideal مثالی ہیں کیونکہ انتہائی حالات میں ان کی عمدہ کارکردگی کی وجہ سے۔ ذیل میں مصنوعات کی مخصوص جسمانی خصوصیات ہیں:

iv. سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسی پروسیسنگ میں بنیادی ایپلی کیشنز  

ایس آئی سی لیپت سگ ماہی کی انگوٹی بنیادی طور پر ایم او سی وی ڈی (دھات کے نامیاتی کیمیائی بخارات جمع) اور ایم بی ای (سالماتی بیم ایپیٹیکسی) اور دیگر عمل کے سازوسامان میں استعمال ہوتی ہے ، مخصوص افعال میں شامل ہیں:  

1. سیمیکمڈکٹر آلات کا رد عمل چیمبر ایئر سختی سے تحفظ

ہماری ایس آئی سی لیپت سگ ماہی کی انگوٹھی اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ آلات چیمبر (جیسے فلانج ، بیس شافٹ) کے ساتھ انٹرفیس کے جہتی رواداری (عام طور پر ± 0.01 ملی میٹر کے اندر) رنگ کی ساخت کو اپنی مرضی کے مطابق بنا کر جتنا ممکن ہو سکے۔ 

ایک ہی وقت میں ، سگ ماہی کی انگوٹھی سی این سی مشین ٹولز کا استعمال کرتے ہوئے صحت سے متعلق مشینی ہے تاکہ رابطے کی سطح کے پورے فریم کے آس پاس یکساں فٹ کو یقینی بنایا جاسکے ، جس سے مائکروسکوپک خلیجوں کو ختم کیا جاسکے۔ اس سے عمل گیسوں (جیسے H₂ ، NH₃) کے رساو کو مؤثر طریقے سے روکتا ہے ، Epitaxial پرت کی نشوونما کے ماحول کی پاکیزگی کو یقینی بناتا ہے ، اور ویفر کی پیداوار کو بہتر بناتا ہے۔  

دوسری طرف ، اچھی گیس کی جکڑن بیرونی آلودگیوں (O₂ ، H₂O) کے دخل کو بھی روک سکتی ہے ، اس طرح مؤثر طریقے سے ایپیٹیکسیل پرت (جیسے سندچیوتیوں ، نجاستوں کی ناہموار ڈوپنگ) میں نقائص سے بچ سکتی ہے۔  

2. اعلی درجہ حرارت متحرک سگ ماہی سپورٹ  

سبسٹریٹ کوٹنگ کے اصول کو اپنانا ہم آہنگی سے متعلق انسداد افادیت: تھرمل توسیع کے گریفائٹ سبسٹریٹ کے کم گتانک کی وجہ سے (CTE ≈ 4.5 × 10-⁶/° C) بہت چھوٹا ہے ، اور انتہائی اعلی درجہ حرارت سے بچنے کے لئے انتہائی اعلی درجہ حرارت (＞ 1000 ℃) دھات کے مہروں کی مقدار کا صرف 1/5 ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ (HV2500 یا اس سے زیادہ) کی الٹرا اونچی سختی کے ساتھ مل کر ، یہ میکانکی کمپن یا ذرات کے اثرات کی وجہ سے سگ ماہی کی سطح پر کھرچوں کا مؤثر طریقے سے مزاحمت کرسکتا ہے ، اور خوردبین چپٹا برقرار رکھتا ہے۔

V. بحالی کی سفارشات

1. اچانک ناکامی سے بچنے کے لئے سگ ماہی کی سطح کے لباس (سہ ماہی آپٹیکل مائکروسکوپ معائنہ کی سفارش کی جاتی ہے) کو دوبارہ چیک کریں۔  

2. خصوصی کلینر (جیسے اینہائڈروس ایتھنول) کو ذخائر کو دور کرنے کے لئے ، ایس آئی سی کوٹنگ کو پہنچنے والے نقصان کو روکنے کے لئے مکینیکل پیسنے کی ممانعت کریں۔