sic کنارے کی انگوٹھی

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں ، ویفر پروسیسنگ آلات کے بنیادی اجزاء کی حیثیت سے ، ایس آئی سی ایج کی انگوٹھی اپنی مادی خصوصیات کے ساتھ صنعتی زمین کی تزئین کی انقلاب لے رہی ہے۔ سلیکن کاربائڈ سنگل کرسٹل سے بنے اس صحت سے متعلق جزو کی قدر نہ صرف اس کے ہائی ٹیک مواد میں ہے ، بلکہ آپریٹنگ اخراجات کی پیداوار اور اصلاح میں بھی نمایاں بہتری میں ہے جو یہ چپ مینوفیکچررز کو لاسکتی ہے۔

sic کنارے کی ساختی خصوصیات

سلیکن کاربائڈ ایج کی انگوٹھی سیمیکمڈکٹر اینچنگ آلات میں کلیدی قابل استعمال اجزاء ہیں اور یہ کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) کے طریقہ کار کے ذریعہ تیار کردہ اعلی طہارت سلیکن کاربائڈ مواد سے بنی ہیں۔ اس کے کنڈولر ڈھانچے کا قطر عام طور پر 200-450 ملی میٹر ہوتا ہے ، اور موٹائی کو 5-15 ملی میٹر کے اندر کنٹرول کیا جاتا ہے ، جس میں مندرجہ ذیل خصوصیات شامل ہیں۔

1. ایکسٹریم رواداری: 1500 ℃ کے اعلی درجہ حرارت والے ماحول کا مقابلہ کرسکتا ہے

2. پلازما استحکام: ڈائی الیکٹرک مستقل 9.7 ، خرابی وولٹیج 3MV/سینٹی میٹر

3. ہندسی درستگی: گول پن کی خرابی ≤0.05 ملی میٹر ، سطح کی کھردری RA <0.2μm

مینوفیکچرنگ کے عمل میں پیشرفت

جدید تیاری کا عمل تین مرحلے کا طریقہ اپناتا ہے:

1. میٹرکس تشکیل دینا: isostatic دباؤ کی تشکیل یکساں کثافت کو یقینی بناتی ہے

2. اعلی درجہ حرارت sintering: 2100 at پر غیر فعال ماحول میں کثافت کا علاج

3. سطح میں ترمیم: نانوسکل حفاظتی پرتیں رد عمل آئن اینچنگ (RIE) کے ذریعے تشکیل دی جاتی ہیں۔ تازہ ترین تحقیق سے پتہ چلتا ہے کہ سلیکن کاربائڈ ایج کی انگوٹھیوں کی خدمت زندگی میں 3 bon بوران کے ساتھ ڈوپ 40 ٪ اضافہ ہوا ہے ، اور وافر آلودگی کی شرح کو 0.01 پی پی ایم کی سطح تک کم کردیا گیا ہے۔

درخواست کے منظرنامے

یہ 5nm سے نیچے کے عمل میں ناقابل تلافی کو ظاہر کرتا ہے:

2. اینچنگ یکسانیت: یہ ویفر کنارے پر ± 1.5 ٪ کی اینچنگ ریٹ کی انحراف کو برقرار رکھ سکتا ہے

3. آلودگی پر قابو پانے: روایتی کوارٹج مواد کے مقابلے میں دھات کی آلودگی میں 92 ٪ کمی واقع ہوتی ہے

4. بحالی کا چکر: یہ CF4/O2 پلازما میں 1500 گھنٹوں تک مسلسل چل سکتا ہے

ویٹیکسیمن نے ایس آئی سی ایج رنگوں کی گھریلو پیداوار میں ایک پیشرفت حاصل کی ہے ، جو لاگت کے بہت سارے اخراجات کو بچاسکتی ہے۔ کسی بھی وقت ہم سے رابطہ کرنے میں خوش آمدید!