ٹھوس سی سی فوکس رِنگز

1. مصنوعات کی خصوصیات

● پاکیزگی (GDMS تصدیق شدہ): > 99.99995% (6N-7N تک) | چیمبر کو ٹریس میٹل کے خطرات سے پاک رکھتا ہے۔

● ساختی ٹھوس پن: ≥3.21  g/cm3 | نظریاتی کثافت تک پہنچتا ہے؛ آؤٹ گیسنگ یا مائیکرو پارٹیکلز کو چھپانے کے لیے کوئی خلا نہیں چھوڑتا۔

● تھرمل ریگولیشن: 200 - 300W/m·K | ویفر رم کے درجہ حرارت کو بالکل برابر رکھنے کے لیے گرمی کو تیزی سے پھیلاتا ہے۔

● الیکٹریکل رینج: 0.01 - 10 Ωcm | پلازما میان کو مستحکم کرنے اور RF کنکشن کو بہتر بنانے کے لیے قابل موافقت مزاحمت۔ سطح کی سختی: ≥2500 HV | مسلسل خشک اینچنگ سائیکل کے دوران کھرچنے والے لباس کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔

2. درخواستیں 

● اعلی درجے کی عمل پلازما اینچنگ

● پتلی فلم جمع کرنے کے عمل (PECVD/ALD)

● سالڈ SiC ایچنگ رِنگز ایڈوانس چپ مینوفیکچرنگ میں اہم استعمال کی اشیاء ہیں، جو ویفر ایج کے عمل کی یکسانیت کو یقینی بنانے، پیداوار کو بہتر بنانے اور پلازما اینچنگ اور جمع کرنے کے عمل میں اجزاء کی زندگی کو بڑھانے کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔

3. فیب کمزوریوں کو حل کرنا

● مسئلہ: تیزی سے حصہ کٹاؤ سے مہنگا بیکار وقت

درستی:  Vetek کا CVD سے تیار کردہ ڈھانچہ کٹاؤ کی رفتار کوارٹز سے 10 سے 20 گنا اور بلک سلکان سے 3 سے 5 گنا سست دکھاتا ہے۔ Fabs کو طویل پیداوار اور بہت کم ایمرجنسی چیمبر وینٹ ملتے ہیں۔

● مسئلہ: Edge Yield Collapse ("The Edge Effect")

درستگی: رنگ کے چہرے پر آہستہ، پیش گوئی کرنے والا لباس پلازما شیتھ کو وقت کے ساتھ جھکنے سے روکتا ہے۔ یہ سخت کریٹیکل ڈائمینشن (CD) کی حدود کو ویفر کے دائرے میں محفوظ رکھتا ہے۔

● مسئلہ: سنٹرڈ پارٹ شیڈنگ سے اسپائکس کی خرابی۔

درست کریں: ہمارے گیس فیز کی ترکیب صفر اناج کی باؤنڈری بائنڈر یا دھاتی فلرز کو پیچھے چھوڑ دیتی ہے۔ ان کمزور دھبوں کے بغیر، انگوٹھی نہیں پھٹے گی اور نہ ہی ویفر کی سطح پر مائیکرو ماسکنگ کے نقائص پیدا کرے گی۔

4. ٹیلرڈ انجینئرنگ سپورٹ

● ٹول ڈراپ ان انٹیگریشن: لام، AMAT، اور TEL جیسے عالمی ایچر برانڈز کے سخت وقفہ کاری کے چشموں سے ملنے کے لیے حسب ضرورت مشین۔

● مزاحمتی مماثلت: ہم ہر بیچ کے الیکٹریکل پروفائل کو آپ کے مخصوص ترکیب کے پیرامیٹرز کے ساتھ بالکل ٹھیک ترتیب دیتے ہیں۔

● اعلی درجے کی تکمیل: کھردری سطحوں کو ہموار کرنے کے لیے الٹرا کلین کیمیکل مکینیکل پلانرائزیشن (CMP) کا استعمال کرتا ہے، ابتدائی ٹول سیزننگ کے دوران ذرات کی تعداد کو کم کرتا ہے۔

● پیچیدہ شکل کے عوامل: ہم مشکل، ملٹی سٹیپڈ ایج رِنگز اور انٹر لاکنگ رِنگ سیٹ اپ پر سخت رواداری (±0.01mm) رکھتے ہیں۔

ویٹیک سیمی کنڈکٹر گودام: