ٹی اے سی کوٹنگ گردش حساسیت

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ٹی اے سی کوٹنگ گردش حساسپٹر سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں ویفر ہینڈلنگ کے لئے ایک کلیدی جزو ہے۔ اس کیtac کیاہمارااعلی درجہ حرارت رواداری (3880 ° C تک پگھلنے کا نقطہ) ، کیمیائی استحکام اور سنکنرن مزاحمت ہے ، جو ویفر پروسیسنگ میں اعلی صحت سے متعلق اور اعلی معیار کو یقینی بناتے ہیں۔

ٹی اے سی کوٹنگ گھماؤ سوسپٹر (ٹینٹلم کاربن کوٹنگ گردش سوسسیپٹر) سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں استعمال ہونے والا ایک اہم سامان جزو ہے۔ یہ عام طور پر انسٹال ہوتا ہےکیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی)اور یکساں مادی جمع اور موثر رد عمل کو یقینی بنانے کے لئے ویفروں کی مدد اور گھومنے کے لئے مالیکیولر بیم ایپیٹیکسی (ایم بی ای) کا سامان۔ اس قسم کی مصنوعات اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں سامان کی خدمت کی زندگی اور کارکردگی کو نمایاں طور پر بہتر کرتی ہے جس کے ساتھ سبسٹریٹ کوٹنگ کرکےٹینٹلم کاربن (ٹی اے سی) کوٹنگ.

ٹی اے سی کوٹنگ گردش کا حساسپٹر عام طور پر ٹی اے سی کوٹنگ اور گریفائٹ یا سلیکن کاربائڈ پر مشتمل ہوتا ہے جس میں سبسٹریٹ مواد ہوتا ہے۔ ٹی اے سی ایک انتہائی اعلی درجہ حرارت کا سیرامک ​​مواد ہے جس میں انتہائی اعلی پگھلنے والے مقام (پگھلنے کا نقطہ 3880 ° C تک) ہے ، سختی (وکرز سختی تقریبا 2000 HK ہے) اور بہترین کیمیائی سنکنرن مزاحمت۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر سی وی ڈی ٹکنالوجی کے ذریعہ سبسٹریٹ مواد پر ٹینٹلم کاربن کی کوٹنگ کو مؤثر اور یکساں طور پر کور کرسکتا ہے۔

گردش کا حامل عام طور پر اعلی تھرمل چالکتا اور اعلی طاقت کے مواد (گریفائٹ یا سے بنا ہوتا ہےسلیکن کاربائڈ) ، جو اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں اچھی میکانکی مدد اور تھرمل استحکام فراہم کرسکتا ہے۔ ان دونوں کا کامل امتزاج ٹی اے سی کوٹنگ گردش کے حساسپٹر کی بہترین کارکردگی کا تعین کرتا ہے جو وافرز کی حمایت اور گھومنے میں ہے۔

ٹی اے سی کوٹنگ گردش کا حساسپٹر سی وی ڈی کے عمل میں ویفر کی حمایت اور گھومتا ہے۔ ٹی اے سی کی ویکرز سختی تقریبا 2000 HK ہے ، جو اسے مادے کی بار بار رگڑ کے خلاف مزاحمت کرنے اور ایک اچھا معاون کردار ادا کرنے کے قابل بناتا ہے ، اس طرح اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ رد عمل گیس یکساں طور پر ویفر سطح پر تقسیم کی جائے اور مادے کو یکساں طور پر جمع کیا جائے۔ ایک ہی وقت میں ، ٹی اے سی کی کوٹنگ کی اعلی درجہ حرارت رواداری اور سنکنرن مزاحمت اسے اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں طویل عرصے تک استعمال کرنے کے قابل بناتی ہے ، جو ویفر اور کیریئر کی آلودگی سے مؤثر طریقے سے بچتی ہے۔

مزید یہ کہ ، ٹی اے سی کی تھرمل چالکتا 21 ڈبلیو/ایم · K ہے ، جس میں گرمی کی منتقلی اچھی ہے۔ لہذا ، ٹی اے سی کوٹنگ گردش کا حساسپٹر اعلی درجہ حرارت کے حالات میں یکساں طور پر ویفر کو گرم کرسکتا ہے اور گھماؤ حرکت کے ذریعہ گیس جمع کرنے کے عمل کی یکسانیت کو یقینی بناتا ہے ، اس طرح مستقل مزاجی اور اعلی معیار کو برقرار رکھتا ہےویفر نمو.

مائکروسکوپک کراس سیکشن پر ٹینٹلم کاربائڈ (ٹی اے سی) کوٹنگ：

ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات：

ٹی اے سی کوٹنگ گردش حساسیت کی دکانیں: