سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ بیرل حساسین

ایپیٹیکسی کی نمو ایک ہی کرسٹل سبسٹریٹ (سبسٹریٹ) پر ایک ہی کرسٹل فلم (سنگل کرسٹل پرت) کو اگانے کا عمل ہے۔ اس سنگل کرسٹل فلم کو ایک ایپلیئر کہا جاتا ہے۔ جب ایپلیئر اور سبسٹریٹ ایک ہی مادے سے بنے ہوتے ہیں تو ، اسے ہوموپیٹیکسیل نمو کہا جاتا ہے۔ جب وہ مختلف مواد سے بنے ہوتے ہیں تو ، اسے heteroepitaxial نمو کہا جاتا ہے۔

epitaxial رد عمل چیمبر کی ساخت کے مطابق ، دو قسمیں ہیں: افقی اور عمودی۔ عمودی epitaxial بھٹی کا حساسٹر آپریشن کے دوران مسلسل گھومتا ہے ، لہذا اس میں اچھی یکسانیت اور بڑی پیداوار کا حجم ہوتا ہے ، اور وہ مرکزی دھارے میں شامل Epitaxial نمو حل بن گیا ہے۔ CVD SIC کوٹنگ بیرل حساسین بیرل قسم کے ایپیٹیکسیل فرنس کا بنیادی جزو ہے۔ اور ویٹیک سیمیکمڈکٹر ای پی آئی کے لئے ایس آئی سی لیپت گریفائٹ بیرل حساسپٹر کا پروڈکشن ماہر ہے۔

ایم او سی وی ڈی اور ایچ وی پی ای جیسے ایپیٹاکسیل نمو کے سامان میں ، ایس آئی سی لیپت گریفائٹ بیرل حساسین کا استعمال ویفر کو ٹھیک کرنے کے لئے کیا جاتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ ترقی کے عمل کے دوران یہ مستحکم رہے۔ ویفر کو بیرل قسم کے حساسپٹر پر رکھا گیا ہے۔ جیسے جیسے پیداوار کا عمل آگے بڑھتا ہے ، حساسیت کا حامل ویفر کو یکساں طور پر گرم کرنے کے لئے مسلسل گھومتا ہے ، جبکہ ویفر کی سطح رد عمل گیس کے بہاؤ کے سامنے آتی ہے ، بالآخر یکساں ایپیٹاکسل نمو کو حاصل کرتی ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ بیرل کی قسم کے حساسپٹر اسکیمیٹک

ایپیٹیکسیئل گروتھ فرنس ایک اعلی درجہ حرارت کا ماحول ہے جو سنکنرن گیسوں سے بھرا ہوا ہے۔ اس طرح کے سخت ماحول پر قابو پانے کے لئے ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر نے سی وی ڈی کے طریقہ کار کے ذریعہ گریفائٹ بیرل حساسیت میں ایس آئی سی کوٹنگ کی ایک پرت شامل کی ، اس طرح ایک ایس آئی سی لیپت گریفائٹ بیرل حساسیت حاصل کیا۔

ساختی خصوصیات:

●  یکساں درجہ حرارت کی تقسیم: بیرل کے سائز کا ڈھانچہ گرمی کو زیادہ یکساں طور پر تقسیم کرسکتا ہے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی یا ٹھنڈک کی وجہ سے تناؤ یا ویفر کی خرابی سے بچ سکتا ہے۔

●  ہوا کے بہاؤ کی خلل کو کم کریں: بیرل کے سائز والے حساسپٹر کا ڈیزائن رد عمل چیمبر میں ہوا کے بہاؤ کی تقسیم کو بہتر بنا سکتا ہے ، جس سے گیس کو ویفر کی سطح پر آسانی سے بہنے کی اجازت ملتی ہے ، جو فلیٹ اور یکساں ایپیٹیکسیل پرت پیدا کرنے میں مدد کرتا ہے۔

●  گردش کا طریقہ کار: بیرل کے سائز والے حساسیت کے گردش کا طریقہ کار موٹائی میں مستقل مزاجی اور ایپیٹاکسیل پرت کی مادی خصوصیات کو بہتر بناتا ہے۔

●  بڑے پیمانے پر پیداوار: بیرل کے سائز کا حساسپٹر اپنے ساختی استحکام کو برقرار رکھ سکتا ہے جبکہ بڑے وفرز کو لے کر 200 ملی میٹر یا 300 ملی میٹر وافرز ، جو بڑے پیمانے پر بڑے پیمانے پر پیداوار کے لئے موزوں ہے۔

ویٹیک سیمیکمڈکٹر سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ بیرل قسم کا حساسپٹر اعلی طہارت گریفائٹ اور سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ پر مشتمل ہے ، جو حساسیت کو قابل بناتا ہے کہ وہ ایک سنجیدہ گیس ماحول میں طویل عرصے تک کام کرسکے اور اس میں اچھی تھرمل چالکتا اور مستحکم میکانکی مدد حاصل ہے۔ اس بات کو یقینی بنائیں کہ ویفر کو یکساں طور پر گرم کیا جائے اور عین مطابق ایپیٹیکسیل نمو حاصل کی جائے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات
جائیداد	عام قیمت
کرسٹل ڈھانچہ	ایف سی سی β فیز پولی کرسٹل لائن ، بنیادی طور پر (111) پر مبنی
کثافت	3.21 جی/سینٹی میٹر
سختی	2500 وکرز سختی （500 گرام بوجھ）
اناج کا سائز	2 ~ 10 ملی میٹر
کیمیائی پاکیزگی	99.99995 ٪
گرمی کی گنجائش	640 J · کلوگرام-1· کے-1
عظمت کا درجہ حرارت	2700 ℃
لچکدار طاقت	415 ایم پی اے آر ٹی 4 پوائنٹ
ینگ کا ماڈیولس	430 جی پی اے 4pt موڑ ، 1300 ℃
تھرمل چالکتا	300W · m-1· کے-1
تھرمل توسیع (سی ٹی ای)	4.5 × 10-6K-1

ویٹیک سیمیکمڈکٹر سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ بیرل کی قسم کا حساسین